Agilent Technologies 9191610 User manual

VacIon Plus 300 pumps
Models
9191610/1620/1640
9191611/1621/1641
9191612/1622/1642
9191650/1660/1680
9191651/1661/1681
9191652/1662/1682
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
87-900-103-01 (H)
02/2016

VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
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© Agilent Technologies, Inc. 2016
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-103-01 (H)
Edition
Edition 02/2016
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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the maximum extent permitted by
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
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commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

VacIon Plus 300
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 3/98
VacIon Plus 300

VacIon Plus 300
4/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)

Contents
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 5/98
Contents
1
Procedura per l’installazione 9
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso15
Procedure di uso 16
Manutenzione 18
Smaltimento 19
2
Anleitung zur Installation 21
Allgemeine Hinweise 22
Vor der Installation 23
Installation 25
Gebrauch 27
Bedienungsschritte 28
Wartung 30
Entsorgung 31
3
Procédure pour l’installation 33
Indications Générales 34
Préparation de l'installation 35

Contents
6/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Installation 37
Utilisation 39
Procédure d’utilisation 40
Maintenance 42
Mise au rebut 43
4
Installation Procedure 45
General Information 46
Preparation for Installation 47
Installation 49
Use 51
Operating Procedure52
Maintenance 54
Disposal 55
5
Technical Information 57
Vaclon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 58
Description of the VacIon Pump 59
Technical Specification 61
Vaclon Plus 300 Starcell 63
Vaclon Plus 300 Diode 65
Vaclon Plus 300 Noble Diode66
Outline Drawing 68
Stray Magnetic Field69

Contents
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 7/98
VacIon Plus Pump Installation 72
Typical Installation 75
Inlet Flange Connection 76
Control Unit Connection 79
Safety Interlock 80
Heater Installation 80
Heater Replacement 82
Bakeout Operation 82
Operating Procedure84
Maintenance 85
Exchange of the High Voltage Feedthrough 87
Pump Troubleshooting 90
Vaclon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 91
Vaclon Plus Pump Controllers 92

Contents
8/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)

VacIon Plus 300 pumps User Manual
9/98
1
Procedura per l’installazione
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso 15
Procedure di uso 16
Manutenzione 18
Smaltimento 19
Traduzione delle istruzioni originali

1 Procedura per l’installazione
Informazioni Generali
10/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie VacIon Plus sono pompe ioniche utilizzate
comunemente per applicazioni di ultra alto vuoto, grazie alla loro
pulizia, capacità di pompare qualsiasi tipo di gas, e del loro
funzionamento senza vibrazioni e necessità di manutenzione.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 11/98
Preparazione per l’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.
ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

1 Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
12/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Figura 1

Procedura per l’installazione
Installazione
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 13/98
Installazione
AVVERTENZA
!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi
attrezzi di sollevamento e spostamento.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento,
per ottenere le specifiche tecniche dichiarate, la temperatura
ambiente deve essere compresa tra 0 °C e +85 °C.
ATTENZIONE!
La pompa deve essere tenuta sigillata con il suo tubo di ingresso schiacciato
finchè non è pronta per essere collegata al sistema.

1 Procedura per l’installazione
Installazione
14/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
AVVERTENZA!
Per evitare lesioni alla persona, non collegare l’alta tensione alla pompa
prima che sia installata nel sistema e che tutte le flange di ingresso siano
adeguatamente collegate o chiuse.
Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle
apposite unità di controllo Agilent.
ATTENZIONE!
Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è garantito solo con
l’uso delle unità di controllo Agilent.
NO!

Procedura per l’installazione
Uso
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 15/98
La pompa VacIon Plus può essere installata in qualsiasi posizione.
Per convenienza normalmente viene montata in posizione verticale
con la flangia di ingresso in alto.
Per installazioni con posizione diversa dalla verticale, la pompa deve
essere sostenuta tramite i piedini di montaggio posti sul suo fondo.
Per informazioni dettagliate sull’installazione della pompa, vedere
l’appendice "Technical Information".
Uso
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento delle pompe VacIon
Plus sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Si raccomanda di portare la pompa ad una pressione di 1x10-4 Torr
(mbar) in modo da ottenere un avvio più rapido. A questo scopo è
meglio non utilizzare una pompa meccanica sigillata con olio, ma se
deve essere utilizzata una tale pompa, si raccomanda di inserire una
trappola lungo la linea di vuoto per ridurre la pressione causata dai
vapori di acqua e di olio provenienti dalla pompa meccanica. Cercare
di ridurre al minimo il tempo in cui la pompa meccanica è aperta
verso il sistema e verso la pompa ionica, poiché i suoi vapori si
diffondono nel sistema a pressioni inferiori a 1x10-1 Torr (mbar)
causando una contaminazione dello stesso. Nei sistemi in cui l’olio
deve essere completamente assente, è meglio utilizzare pompe Turbo
per la suddetta operazione.
Depositi igroscopici e l’assorbimento dell’idrogeno all’interno del
composto di titanio possono provocare l’allungamento del tempo di
avvio con l’invecchiamento della pompa. Durante l’esposizione
all’aria, il deposito del composto di titanio assorbe vapore acqueo; in
conseguenza di ciò, al successivo avvio, il riscaldamento della pompa
provoca il rilascio del vapore e di parte dell’idrogeno pompato
precedentemente, con l’effetto dell’allungamento del tempo di avvio.

1 Procedura per l’installazione
Procedure di uso
16/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Procedure di uso
Controllare che la polarità dell’unità di controllo sia corretta per la
pompa: polarità positiva per le pompe Diode e negativa per le
StarCell e le Triode. Fare riferimento al relativo manuale ed
osservare la seguente procedura per l’uso della pompa:
1Tramite una pompa di pre-vuoto portare il sistema da vuoto ad
una pressione minima di avvio in accordo alla tabella di pagina 9
ed a seconda del tipo di pompa ionica.
2Collegare l’unità di controllo ad una apposita fonte di
alimentazione ed accenderla.
3Osservare la tensione, la corrente e la pressione. Se l’avvio è
avvenuto ad una pressione di 5x10-2 Torr (mbar), è tipica una
tensione di circa 300 - 400 V. Un valore di corrente prossimo alla
corrente di corto circuito dell’unità di controllo è indice
dell’esistenza di una perdita nella pompa e nel sistema. Un
temporaneo incremento della pressione di pre-vuoto è normale
durante la fase di avvio.
4Lasciare la valvola di pre-vuoto aperta durante l’avvio della
pompa ionica finchè non si raggiunge una adeguata pressione di
avvio. Se la tensione della pompa ionica scende dopo la chiusura
della valvola, riaprirla per un pre-pompaggio aggiuntivo. Appena
la pressione diminuisce, la tensione cresce nuovamente e la
valvola di pre-vuoto può essere chiusa.
5Quando la tensione ha raggiunto i 2 – 3 kV, mettere l’unità di
controllo nello stato PROTECT. Il sistema sarà così autoprotetto
dall’incremento della pressione oltre 1x10-4 Torr (mbar) quando
la pompa non è controllata. Nel caso in cui ci fosse un tale
incremento, l’unità di controllo viene spenta automaticamente.
6La pressione nella pompa può anche essere calcolata leggendo la
corrente e convertendo la lettura in pressione tramite l’apposito
diagramma pressione-corrente illustrato nell’appendice
“Technical Information” di questo manuale.

Procedura per l’installazione
Procedure di uso
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 17/98
NOTA I gradini nei diagrammi pressione - corrente sono una caratteristica del modo di
funzionamento dei controller Agilent con funzione “step mode”. Quando la
corrente assorbita dalla pompa raggiunge determinati valori, l'unità di controllo
cambia il valore dell'alta tensione in uscita ad un valore più basso.
7Quando si porta la pompa alla pressione atmosferica, usare azoto
secco in modo da evitare l’assorbimento di vapore acqueo da
parte delle pareti della pompa.
AVVERTENZA
!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici,
infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di
ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
AVVERTENZA
!
Quando è installato il riscaldatore, non toccare la pompa durante le
operazioni di riscaldamento e di raffreddamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa. Il campo magnetico attorno ad
essa può provocare dei malfunzionamenti dei dispositivi stessi.

1 Procedura per l’installazione
Manutenzione
18/98 VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H)
Manutenzione
Le pompe della serie VacIon Plus non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
AVVERTENZA!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla pompa scollegarla dall’alta
tensione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.

Procedura per l’installazione
Smaltimento
1
VacIon Plus 300 pumps User Manual / 87-900-103-01 (H) 19/98
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva
CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
Per maggiori informazioni riferirsi a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

1 Procedura per l’installazione
Smaltimento
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