Agilent Technologies VacIon Plus 20 User manual

V
acIon Plus 20 pumps
Models
919-1115/919-1125/919-1145
919-1146/919-1114/919-1124
919-1144
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
87-900-106-01 (E)
05/2011

Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-106-01 (E)
Edition
Edition 05/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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defined in FAR 2.101(a) or as
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defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
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DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
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1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
CAUTION
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
WARNING
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
VacIon Plus 20 pumps User Manual / 87-900-106-01 (E)

VacIon Plus 20
VacIon Plus 20
VacIon Plus 20 pumps User Manual / 87-900-106-01 (E) 3/90

VacIon Plus 20
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Contents
Contents
1Procedura per l’installazione 9
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso14
Procedure di uso 15
Manutenzione 17
Smaltimento 17
2Anleitung zur Installation 19
Allgemeine Hinweise 20
Vor der Installation 21
Installation 23
Gebrauch 24
Bedienungsschritte 25
Wartung 26
Entsorgung 27
3Procédure pour l’installation 29
Indications Generales 30
Préparation de l'installation 31
VacIon Plus 20 pumps User Manual / 87-900-106-01 (E) 5/90

Contents
Installation 33
Utilisation 34
Procédure d’utilisation 35
Maintenance 37
Mise au rebut 37
4Installation Procedure 39
General Information 40
Preparation for Installation 41
Installation 43
Use 44
Operating Procedure 45
Maintenance 47
Disposal 47
5Technical Information 49
VacIon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 50
Description of the VacIon Pump 51
Technical Specification 53
Vaclon Plus 20 Starcell 55
Vaclon Plus 20 Noble Diode 57
Vaclon Plus 20 Diode 59
Outline Drawing 60
Stray Magnetic Field 61
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Contents
VacIon Plus Pump Installation 63
Typical Installation 66
Inlet Flange Connection 68
Control Unit Connection 71
Safety Interlock 72
Heater Installation 72
Heater Replacement 74
Bakeout Operation 74
Operating Procedure 76
Maintenance 77
Exchange of the High Voltage Feedthrough 78
Pump Troubleshooting 81
VacIon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 82
VacIon Plus Pump Controllers 83
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Contents
8/90 VacIon Plus 20 pumps User Manual / 87-900-106-01 (E)

VacIon Plus 20 pumps User Manual
1
Procedura per l’installazione
Informazioni Generali 10
Preparazione per l’installazione 11
Installazione 13
Uso 14
Procedure di uso 15
Manutenzione 17
Smaltimento 17
Traduzione delle istruzioni originali
9/90

1Procedura per l’installazione
Informazioni Generali
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie VacIon Plus sono pompe ioniche utilizzate
comunemente per applicazioni di ultra alto vuoto, grazie alla loro
pulizia, capacità di pompare qualsiasi tipo di gas, e del loro
funzionamento senza vibrazioni e necessità di manutenzione.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
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Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
1
Preparazione per l’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la
pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e
risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
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1Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
Figura 1
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Procedura per l’installazione
Installazione
1
Installazione
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento,
per ottenere le specifiche tecniche dichiarate, la temperatura
ambiente deve essere compresa tra 0 °C e +85 °C.
ATTENZIONE!
La pompa deve essere tenuta sigillata con il suo tubo di ingresso schiacciato
finchè non è pronta per essere collegata al sistema.
A
VVERTENZA!
Per evitare lesioni alla persona, non collegare l’alta tensione alla pompa
prima che sia installata nel sistema e che tutte le flange di ingresso siano
adeguatamente collegate o chiuse.
Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle
apposite unità di controllo Agilent (Dual, MidiVac o MiniVac).
NO!
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1Procedura per l’installazione
Uso
ATTENZIONE!
Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è garantito solo con
l’uso delle unità di controllo Agilent.
La pompa VacIon Plus può essere installata in qualsiasi posizione.
Per convenienza normalmente viene montata in posizione verticale
con la flangia di ingresso in alto.
Le pompe possono anche essere mantenute sospese in ogni posizione
tramite la loro flangia di ingresso. Per informazioni dettagliate
sull’installazione della pompa, ve-dere l’appendice "Technical
Information".
Uso
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento delle pompe VacIon
Plus sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere
attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Si raccomanda di
portare la pompa ad una pressione di 1x10-4 Torr (mbar) in modo da
ottenere un avvio più rapido. A questo scopo è meglio non utilizzare
una pompa meccanica sigillata con olio, ma se deve essere utilizzata
una tale pompa, si raccomanda di inserire una trappola lungo la linea
di vuoto per ridurre la pressio-ne causata dai vapori di acqua e di
olio provenienti dalla pompa meccanica. Cercare di ridurre al
minimo il tempo in cui la pompa meccanica è aperta verso il sistema
e verso la pompa ionica, poiché i suoi vapori si diffondono nel
sistema a pressioni inferiori a 1x10-1 Torr (mbar) causando una
contaminazione dello stesso. Nei sistemi in cui l’olio deve essere
completamente assente, è meglio utilizzare pompe Turbo per la
suddetta operazione. Depositi igroscopici e l’assorbimento
dell’idrogeno all’interno del composto di titanio possono provocare
l’allungamento del tempo di avvio con l’invecchiamento della pompa.
Durante l’esposizione all’aria, il deposito del composto di titanio
assorbe vapore acqueo; in conseguenza di ciò, al successivo avvio, il
riscaldamento della pompa provoca il rilascio del vapore e di parte
dell’idrogeno pompato precedentemente, con l’effetto
dell’allungamento del tempo di avvio.
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Procedura per l’installazione
Procedure di uso
1
Procedure di uso
Controllare che la polarità dell’unità di controllo sia corretta per la
pompa: polarità positiva per le pompe Diode e negativa per le
StarCell. Fare riferimento al relativo manuale ed osservare la
seguente procedura per l’uso della pompa:
1Tramite una pompa di pre-vuoto portare il sistema da vuoto ad
una pressione minima di avvio in accordo alla tabella di pagina 9
ed a seconda del tipo di pompa ionica.
2Collegare l’unità di controllo ad una apposita fonte di
alimentazione ed accenderla.
3Osservare la tensione, la corrente e la pressione. Se l’avvio è
avvenuto ad una pressione di 5x10-2 Torr (mbar), è tipica una
tensione di circa 300 - 400 V. Un valore di corrente prossimo alla
corrente di corto circuito dell’unità di controllo è indice
dell’esistenza di una perdita nella pompa e nel sistema. Un
temporaneo incremento della pressione di pre-vuoto è normale
durante la fase di avvio.
4Lasciare la valvola di pre-vuoto aperta durante l’avvio della
pompa ionica finchè non si raggiunge una adeguata pressione di
avvio. Se la tensione della pompa ionica scende dopo la chiusura
della valvola, riaprirla per un pre-pompaggio aggiuntivo. Appena
la pressione diminuisce, la tensione cresce nuovamente e la
valvola di pre-vuoto può essere chiusa.
5Quando la tensione ha raggiunto i 2 – 3 kV, mettere l’unità di
controllo nello stato PROTECT. Il sistema sarà così autoprotetto
dall’incremento della pressione oltre 1x10-4 Torr (mbar) quando
la pompa non è controllata. Nel caso in cui ci fosse un tale
incremento, l’unità di controllo viene spenta automaticamente.
6La pressione nella pompa può anche essere calcolata leggendo la
corrente e convertendo la lettura in pressione tramite l’apposito
diagramma pressione-corrente illustrato nell’appendice
“Technical Information” di questo manuale.
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1Procedura per l’installazione
Procedure di uso
NOTA I gradini nei diagrammi pressione - corrente sono una caratteristica del modo di
funzionamento del Dual. Quando la corrente assorbita dalla pompa raggiunge
determinati valori, l'unità di controllo cambia il valore dell'alta tensione in uscita
ad un valore più basso.
7Quando si porta la pompa alla pressione atmosferica, usare azoto
secco in modo da evitare l’assorbimento di vapore acqueo da
parte delle pareti della pompa.
A
VVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici,
infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di
ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
A
VVERTENZA!
Quando è installato il riscaldatore, non toccare la pompa durante le
operazioni di riscaldamento e di raffreddamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa. Il campo magnetico attorno ad
essa può provocare dei malfunzionamenti dei dispositivi stessi.
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Procedura per l’installazione
Manutenzione
1
Manutenzione
Le pompe della serie VacIon Plus non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
A
VVERTENZA!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla pompa scollegarla dall’alta
tensione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva
CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
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1Procedura per l’installazione
Smaltimento
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VacIon Plus 20 pumps User Manual
2
Anleitung zur Installation
Allgemeine Hinweise 20
Vor der Installation 21
Installation 23
Gebrauch 24
Bedienungsschritte 25
Wartung 26
Entsorgung 27
Übersetzung der Originalanleitungen
19/90

2Anleitung zur Installation
Allgemeine Hinweise
Allgemeine Hinweise
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem
Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von
Agilent mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen
Bestimmungen übernimmt Firma Agilent keinerlei Haftung. Die
Pumpen der Serie VacIon Plus sind Ionenpumpen, die aufgrund ihrer
Reinheit, ihrer Fähigkeit, alle Arten von Gas zu pumpen, und ihres
vibrations- und wartungsfreien Betriebes, allgemein für
Ultrahochvakuumanwendungen zum Einsatz kommen.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
WARNUNG!
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine
spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere
Verletzungen hervorrufen könnte.
VORSICHT! Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf
aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden am Gerät entstehen können.
HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben
werden.
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