Agilent Technologies TV 1001 SEM User manual

TV 1001 SEM
Pump models: 7698931,
8698932, 8698946
Controller model: 9698978
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-900-973-01 (H)
12/2017

TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-973-01 (H)
Edition
Edition 12/2017
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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the maximum extent permitted by
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If software is for use in the
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TV 1001 SEM
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 3/296
TV 1001 SEM

TV 1001 SEM
4/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)

Contents
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 5/296
Contents
1
Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Manutenzione 27
Smaltimento 28
2
Gebrauchsanleitung29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung 33
Vor der Installation 34
Installation 35
Befestigung der pumpe 36
Gebrauch 38
Wartung 41

Contents
6/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Entsorgung 42
3
Mode d’emploi 43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage 47
Preparation pour l’installation 48
Installation 49
Fixation de la pompe50
Utilisation 52
Entretien 55
Mise au rebut 56
4
Manual de istrucciones 57
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 58
Información general 59
Almacenamiento 61
Preparación para la instalación 62
Instalación 63
Fijación de la bomba 64
Uso 66
Mantenimiento 69
Eliminación 70

Contents
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 7/296
5
Manual de Istruções 71
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72
Informações gerais 73
Armazenagem 75
Preparação para a instalação76
Instalação 77
Fixação da bomba 78
Utilização 80
Manutenção 83
Eliminação 84
6
Bedrijfshandleiding 85
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86
Algemene informatie 87
Opslag 89
Uitpakken 90
Installatie 91
Bevestiging van de pomp 92
Gebruik 94
Onderhoud 97
Afvalverwerking 98
7
Istruktionsbog 99
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 100

Contents
8/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Generel information 101
Opbevaring 103
Forberedelser før installation 104
Installation 105
Fastgørelse af pumpe 106
Anvendelse 108
Nødstop 110
Vedligeholdelse 111
Bortskaffelse 112
8
Bruksanvisning 113
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar114
Allmän information 115
Förvaring 117
Förberedelser för installation 118
Installation 119
Fastsättning av pump 120
Användning 122
Underhåll 125
Bortskaffning 126
9
Instruksjon Manual 127
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 128
Generell informasjon129

Contents
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 9/296
Lagring 131
Klargjøre til installasjon 132
Installasjon 133
Festing av pumpen 134
Bruk 136
Vedlikehold 139
Eliminering 140
10
Ohjekäsikirja 141
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142
Yleisiä tietoja 143
Varastointi 145
Valmistelut asennusta varten146
Asennus 147
Pumpun kiinnitys 148
Käyttö 150
Huolto 153
Hävittäminen 154
11
Felhasználói Kézikönyv 155
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 156
Általános informáicó157
Tárolás 159
Előkészítés telepítésre 160

Contents
10/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Telepítés 161
A szivattyú rögzítése162
Használat 164
Karbantartás 167
Megsemmisítés 168
12
Podrecznik Instrukcji 169
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
170
Ogólne Informacje 171
Magazynowanie 173
Przygotowanie do instalacji 174
Instalacja 175
Mocowanie pompy 176
Użytkowanie 178
Konserwacja 181
Przetworstwo odpadow 182
13
Návod k Použití 183
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184
Všeobecné informace 185
Uskladnění 187
Příprava k instalaci 188
Instalace 189
Montáž vývěvy 190

Contents
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 11/296
Použití 192
Údržba 195
Likvidace 196
14
Návod na Obsluhu 197
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 198
Všeobecné informácie 199
Uchovávanie 201
Príprava na inštaláciu 202
Inštalácia 203
Upevnenie vývevy 204
Použitie 206
Údržba 209
Likvidácia 210
15
Priročnik za Navodila 211
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212
Splošne informacije 213
Shranjevanje 215
Priprava za montažo 216
Montaža 217
Pritrjevanje črpalke 218
Uporaba 220
Vzdrževanje 223

Contents
12/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Odlaganje opadkov 224
16
Instructions for Use 225
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226
General Information 227
Storage 229
Preparation for installation 230
Installation 231
Pump fixing 232
Use 234
Maintenance 237
Disposal 238
17
Technical Information 239
Description of the TV 1001 SEM 241
Technical Specification 245
TV 1001 SEM Outline 248
Interconnections 251
How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller 257
RS 232/RS 485 Communication Description 261
Inlet Screen Installation 271
Water Cooling Kit Installation 273
Vent Accessories 276
Vibration Isolator Installation279

Contents
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 13/296
Purge Valve Installation 280
Serial Cable Installation 281
TV 1001 SEM Controller Installation 281
Connection C - Electrical 286
Pump Used with Corrosive Gases287
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 288
Accessories and Spare Parts 289

Contents
14/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)

TV 1001 SEM User Manual
15/296
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 16
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Accensione ed uso della TV1001 SEM 25
Arresto della TV1001 SEM 26
Arresto di Emergenza 26
Manutenzione 27
Smaltimento 28
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 17/296
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni
ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da
eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serieTV 1001 SEM sono pompe turbomolecolari per
applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi
tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio
di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. LaTV 1001 SEM è totalmente priva di agenti
contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile ali-
mentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarla da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 19/296
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Preparazione per l’installazione
LaTV 1001 SEM viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere
laTV 1001 SEM e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non
disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA
LaTV 1001 SEM non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.