Agilent Technologies 8698928 User manual

TV 401/301/21 NSF
Pump Models
8698928
Controller model: 9698979M005
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-900-995-01 (D)
12/2017

TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
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© Agilent Technologies, Inc. 2016
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-995-01 (D)
Edition
Edition 12/2017
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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1995), or as a “commercial item” as
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or any equivalent agency regulation or
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TV 401/301/21 NSF
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 3/294
TV 401/301/21 NSF

TV 401/301/21 NSF
4/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 5/294
Contents
1
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso21
Manutenzione 24
Smaltimento 25
2
Gebrauchsanleitung27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Lagerung 31
Vor der Installation 32
Installation 33
Gebrauch 35
Wartung 38
Entsorgung 39

Contents
6/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
3
Mode d’emploi 41
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 42
Indications générales 43
Stockage 45
Preparation pour l’installation 46
Installation 47
Utilization 49
Entretien 52
Mise au rebut 53
4
Manual de istrucciones 55
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56
Información general 57
Almacenamiento 59
Preparación para la instalación 60
Instalación 61
Uso63
Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF 64
Mantenimiento 66
Eliminación 67
5
Manual de Istruções 69
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70
Informações gerais 71

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 7/294
Armazenagem 73
Preparação para a instalação74
Instalação 75
Utilização 77
Manutenção 80
6
Bedrijfshandleiding 83
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84
Algemene informatie 85
Opslag 87
Uitpakken 88
Installatie 89
Gebruik 91
Onderhoud 94
Afvalverwerking 95
7
Istruktionsbog 97
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 98
Generel information 99
Opbevaring 101
Forberedelser før installation 102
Installation 103
Anvendelse 105
Vedligeholdelse 108

Contents
8/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Bortskaffelse 109
8
Bruksanvisning 111
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar112
Allmän information 113
Förvaring 115
Förberedelser för installation 116
Installation 117
Användning 119
Underhåll 122
Bortskaffning 123
9
Instruksjon Manual 125
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 126
Generell informasjon127
Lagring 129
Klargjøre til installasjon 130
Installasjon 131
Bruk 133
Vedlikehold 136
Eliminering 137
10
Ohjekäsikirja 139
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140
Yleisiä tietoja 141

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 9/294
Varastointi 143
Valmistelut asennusta varten144
Asennus 145
Käyttö 147
Huolto 150
Hävittäminen 151
11
Felhasználói Kézikönyv 153
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154
Általános informáicó155
Tárolás 157
Előkészítés telepítésre 158
Telepítés 159
Használat 161
Karbantartás 164
Megsemmisítés 165
12
Podrecznik Instrukcji 167
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 168
Ogólne Informacje 169
Magazynowanie 171
Przygotowanie do instalacji 172
Instalacja 173
Użytkowanie 175

Contents
10/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Konserwacja 178
Przetworstwo odpadow 179
13
Návod k Použití 181
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182
Všeobecné informace 183
Uskladnění 185
Příprava k instalaci 186
Instalace 187
Použití 189
Údržba 192
Likvidace 193
14
Návod na Obsluhu 195
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 196
Všeobecné informácie 197
Uchovávanie 199
Príprava na inštaláciu 200
Inštalácia 201
Použitie 203
Údržba 206
Likvidácia 207
15
Priročnik za Navodila 209
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 11/294
Splošne informacije 211
Shranjevanje 213
Priprava za montažo 214
Montaža 215
Uporaba 217
Vzdrževanje 220
Odlaganje opadkov 221
16
Instructions for Use 223
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224
General Information 225
Storage 227
Preparation for Installation 228
Installation 229
Use 231
Maintenance 234
Disposal 235
17
Technical Information 237
Description of the TV 401/301/21 NSF 239
Technical Specification 242
TV 401/301/21 NSF Outline 244
Interconnections 248
RS 232/RS 485 Communication Description 260

Contents
12/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Water Cooling Kit Installation 270
Purge Valve Installation 273
Serial Cable Installation 274
TV 401/301/21 NSF Controller Installation 275
Connection of the Fore Vacuum Pump 275
Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction 276
Connection of the Electrical Connector 284
Pump Used with Corrosive Gases285
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 287
Accessories and Spare Parts 288

TV 401/301/21 NSF User Manual
13/294
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 21
Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF 22
Arresto del TV 401/301/21 NSF 23
Arresto di Emergenza 23
Manutenzione 24
Smaltimento 25
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 15/294
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 401/301/21 NSF è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (60000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
asincrono. Il TV 401/301/21 NSF è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 17/294
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1 Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
18/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Preparazione per l’installazione
Il TV 401/301/21 NSF viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301/21 NSF e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo
nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare
sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA Il TV 401/301/21 NSF non può essere danneggiato rimanendo semplicemente
esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento del-l'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D) 19/294
Installazione
ATTENZIONE!
Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della
turbopompa al sistema. Non alimentare la Turbopompa se non è fissata
adeguatamente al sistema da vuoto.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 –95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli. Il TV 401/301/21 NSF deve essere
collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical
Information").

1 Istruzioni per l’uso
Installazione
20/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (D)
Il TV 401/301/21 NSF può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TV 401/301/21 NSF in posizione stabile collegando la
flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
La seguente tabella mostra le viti da utilizzare per il fissaggio della
turbopompa, il loro numero e con quale coppia di serraggio
stringerle.
Tab. 1
FISSAGGIO ALLA CAMERA N. COPPIA DI SERRAGGIO
Viti con filettatura M6,
Classe di resistenza >= 10,9 6 10 Nm
AVVERTENZA!
La camera da vuoto che contiene la pompa deve avere uno spessore adeguato
ai fini della sicurezza. Ad esempio, per camere di Anticorodal temprato
(σy=275 MPa) uno spessore di 5 mm risulta adeguato.
ATTENZIONE!
Il TV 401/301/21 NSF appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV
401/301/21 NSF ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al TV 401/301/21 NSF abbia un isolamento adeguato anche in
condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".