Agilent Technologies TwisTorr 305-ICQ User manual

Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF
User Manual

2 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Notices
Manual Part Number
D0007035
Edition A.00, December 2020
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© Agilent Technologies, Inc. 2020
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Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Apertura 26
Fissaggio della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 28
Installazione della flangia ISO-K 29
Installazione della flangia ConFlat 30
Collegamento della pompa di pre-vuoto 31
Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 32
Arresto della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 35
Arresto di emergenza 35

Contents
4 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Manutenzione 36
Vita del rotore 36
Soft Start 37
Pulizia 37
Smaltimento 38
Servizio Post Vendita 39
2Betriebsanleitung 40
Informationen über diese Betriebsanleitung 41
Gültigkeit 41
Definitionen und Terminologie 42
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 42
Warnsymbole 43
Sicherheit 45
Sachgemäße Verwendung 45
Unsachgemäße Anwendung 46
Schutzausrüstung 47
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 48
Transport und Lagerung 49
Produktbeschreibung 50
Installation 51
Vorbereitung zum Einbau 51
Einrichten 53
Montage von TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 54
Anschluss des Hochvakuumflansches 55
Installation des ISO-K-Flansches 56
Installation des ConFlat-Flansches 57

Contents
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 5
Anschluss der Vorvakuumpumpe 58
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 59
Stoppen des TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 62
Notausschaltung 62
Wartung 63
Rotordauer 63
Sanftanlauf 64
Reinigung 64
Entsorgung 65
Service 66
3Mode d’emploi 67
À propos de ce manuel 68
Validité 68
Définitions et terminologie 69
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 69
Symboles d'avertissement 70
Sécurité 72
Utilisation appropriée 72
Utilisation inappropriée 73
Équipements de protection individuelle 74
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaire 75
Transport et entreposage 76
Description du produit 77
Installation 78
Préparation pour l’installation 78
Configuration 80

Contents
6 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Montage de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 81
Raccordement de la bride à vide élevé 82
Installation de la bride ISO-K 83
Installation de la bride ConFlat 84
Raccordement de la bride à vide préliminaire 85
Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 86
Arrêt de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 89
Arrêt d’urgence 89
Entretien 90
Durée de vie du rotor 90
Démarrage progressif 91
Nettoyage 91
Élimination 92
Service 93
4Instrucciones de uso 94
Acerca del manual 95
Validez 95
Definiciones y terminología 96
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 96
Símbolos de advertencia 97
Seguridad 99
Uso correcto 99
Uso incorrecto 100
Equipo de protección 101
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 102
Transporte y almacenamiento 103

Contents
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 7
Descripción del producto 104
Instalación 105
Preparación para instalación 105
Puesta en marcha 107
Montaje de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 108
Conexión de la brida de alto vaciado 109
Instalación de la brida ISO-K 110
Instalación de la brida ConFlat 111
Conexión de la bomba pre-vaciado 112
Puesta en marcha y funcionamiento de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF
113
Parada de la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 116
Parada de emergencia 116
Mantenimiento 117
Vida del rotor 117
Arranque suave (“Soft Start”) 118
Limpieza 118
Eliminación 119
Servicio 120
5使用说明121
关于本手册 122
有效性 122
定义与术语 123
小心、警告和注意的定义123
警告符号 124

Contents
8 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
安全 126
正确使用 126
使用不当 127
防护设备 128
涡轮分子泵安全指南 129
运输及存储130
产品描述 131
安装 132
安装准备132
设置134
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 的安装 135
高真空法兰的连接136
ISO-K 法兰的安装 137
ConFlat 法兰的安装 138
前真空泵的连接139
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 的启动和运行 140
停止 TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 143
紧急停止 143
维护 144
转子寿命 144
慢启动145
清洗 145

Contents
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 9
处置146
服务147
6取扱説明書 148
この説明書について 149
有効期 149
定義と用語 150
警告・注意・注の定義 150
警告の記号 151
安全性 153
適切な使用 153
不適切な使用 154
保護用装備 155
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 156
移送＆保管 157
製品説明 158
取り付け 159
取り付けの準備 159
セットアップ 161
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 実装 162
高真空フランジの接続 163
ISO-K フランジの取り付け 164
ConFlat フランジの取り付け 165
フォア真空ポンプの接続 166
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF の起動開始と操作 167

Contents
10 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF を停止する 170
緊急停止 170
メンテナンス 171
ローターの寿命 171
ソフトスタート 172
クリーニング 172
処分 173
サービス 174
7Instructions for Use 175
About this manual 176
Validity 176
Definitions and terminology 177
Definition of Caution, Warning and Note 177
Warning Symbols 178
Safety 180
Proper use 180
Improper use 181
Protective equipment 182
Safety guideline for Turbomolecular Pumps 183
Transport & Storage 184
Product description 185
Installation 186
Preparation for installation 186
Set-up 188
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF Mounting 189

Contents
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 11
Connection of the High Vacuum Flange 190
Installation of ISO-K Flange 191
Installation of ConFlat Flange 192
Connection of the Fore-Vacuum Pump 193
Startup and Operation of the TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 194
Stopping the TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 197
Emergency stop 197
Maintenance 198
Rotor life 198
Soft Start 199
Cleaning 199
Disposal 200
Service 201
8Technical Information 202
Description of the TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 203
Technical specification 210
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF Outline 214
Pump Operations 225
Inlet screen installation 225
Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) 228
Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 229
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) 233
Vent Accessories 236
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases 239
Purge Valve Installation 241

Contents
12 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 242
Vibration Isolator Installation 242
Controller Operations 243
Interconnections 243
1 - Vent 244
2 - External Fan 244
3 - IN/OUT and Power Supply 244
Signal Description 246
How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 250
How to Connect the Controller Outputs 251
RS485 Communication Description 252
Windows Protocol 253
Example (it refers to an RS485 address equal to 3) 255
Window Description 257
NFC Function 263
Screenshot APP 265
Connection through USB plug 266
Error messages 267
Warning messages 269
Accessories and Spare Parts 271

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 13
1Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Apertura 26
Fissaggio della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 28
Installazione della flangia ISO-K 29
Installazione della flangia ConFlat 30
Collegamento della pompa di pre-vuoto 31
Avvio e funzionamento della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 32
Arresto della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 35
Arresto di emergenza 35
Manutenzione 36
Vita del rotore 36
Soft Start 37
Pulizia 37
Smaltimento 38
Servizio Post Vendita 39

Istruzioni per l’uso
14 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF,
con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e
manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui
l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA
1Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza la TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF possa utilizzarla in sicurezza e
garantire la perfetta efficienza, per tutta la sua durata.
2
Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 15
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
16 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF. Viene mostrato anche il pericolo che
descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Corrente continua
Non toccare
Dichiarazione
Europea
di Conformità
Pericolo generico
Sito di produzione Spegnimento
Accensione
Messa a terra protettiva

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 17
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
I
Accensione principale
Se rosso, significa malfunzionamento
Se giallo, significa avvertenza
Porta USB
Messa a terra protettiva
Non toccare
J1
Connettore principale
NFC Near Field Communication (antenna dello
smartphone)
Certificazione CE
Certificazione CSA
Limitazione della Certificazione delle Sostante
Pericolose
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche

Istruzioni per l’uso
18 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni, prescritte dalla Direttiva Macchine
2006/42/CE, che sono essenziali per la conformità e il rispetto delle norme di
sicurezza sia in generale che in relazione all'uso specifico della macchina.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 19
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio della
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF.
L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità
e garanzie. L’uso improprio è definito come:
installazione della pompa con materiale di montaggio non
specificato
pompaggio di gas corrosivi e ossidanti senza flusso di spurgo
adeguato (vedere la sezione “Pompa utilizzata con gas corrosivi e
ossidanti”)
pompaggio di gas esplosivi
pompaggio di vapori di condensazione
pompaggio di liquidi
pompaggio di polvere
funzionamento con flusso di gas elevato improprio
funzionamento con pressioni inadeguate per l'alto vuoto
funzionamento con modalità gas selezionata diversa dal gas
effettivamente utilizzato
funzionamento con elevati livelli impropri di apporto termico isolato
funzionamento in campi magnetici elevati impropri
ventilazione con alte velocità di ventilazione inadeguate
utilizzo della pompa del vuoto per generare pressione
funzionamento del dispositivo in aree con radiazioni ionizzanti
funzionamento in aree potenzialmente esplosive
utilizzo del dispositivo in sistemi in cui stress e vibrazioni simili a
impatti o forze periodiche influiscono sul dispositivo.

Istruzioni per l’uso
20 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
Attrezzatura di protezione
L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la
manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di
operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della
legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la
manipolazione della TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF e durante l'installazione.
AVVERTENZA
Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la
manutenzione o l’installazione.
•
A seconda della peculiarità del processo, le pompe per vuoto, i componenti o
i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze tossiche,
reattive o radioattive.
•
Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le
riparazioni o in caso di reinstallazione.
AVVERTENZA
Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti
Durante il trasporto manuale delle pompe per vuoto, sussiste il pericolo che
i carichi scivolino e cadano.
•
Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani.
•
Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata
utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto.
•
Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la
direttiva EN 347.