Agilent Technologies TwisTorr 704 FS User manual

TwisTorr 704 FS
Pump models:
X3511-64015, X3511-64016, X3511-64017
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-051-01 (B.00)
07/2021

TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-051-01 (B.00)
Edition
Edition 07/2021
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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or any equivalent agency regulation or
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DOD Departments and Agencies of the
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
CAUTION
WARNING

TwisTorr 704 FS Pump
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 3/334
TwisTorr 704 FS Pump

TwisTorr 704 FS Pump
4/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)

Contents
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 5/334
Contents
1 Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 25
Uso della TwisTorr 704 FS 27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
2 Gebrauchsanleitung 31
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32
Allgemeine Informationen 33
Lagerung 36
Vor der Installation 37
Installation 39
Befestigung der Pumpe 41
Verwendung der TwisTorr 704 FS 43
Wartung 45
Entsorgung 46

Contents
6/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
3 Mode d’emploi 47
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 48
Indications générales 49
Stockage 52
Préparation pour l’installation 53
Installation 55
Fixation de la pompe 57
Utilisation de la TwisTorr 704 FS 59
Entretien 61
Mise au rebut 62
4 Manual de istrucciones 63
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 64
Información general 65
Almacenamiento 68
Preparación para la instalación 69
Instalación 71
Fijación de la bomba 73
Uso de la TwisTorr 704 FS 75
Mantenimiento 77
Eliminación 78

Contents
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 7/334
5 Manual de Istruções 79
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80
Informações gerais 81
Armazenagem 84
Preparação para a instalação 85
Instalação 87
Fixação da bomba 89
Utilização do TwisTorr 704 FS 91
Manutenção 93
Eliminação 94
6 Bedrijfshandleiding 95
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 96
Algemene informatie 97
Opslag 100
Uitpakken 101
Installatie 103
Bevestiging van de pomp 105
Gebruik van de TwisTorr 704 FS 107
Onderhoud 109
Afvalverwerking 110

Contents
8/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
7 Istruktionsbog 111
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 112
Generel information 113
Opbevaring 116
Forberedelser før installation 117
Installation 119
Fastgøring af pumpen 121
Anvendelse af TwisTorr 704 FS 123
Vedligeholdelse 125
Bortskaffelse 126
8 Bruksanvisning 127
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 128
Allmän information 129
Förvaring 132
Förberedelser för installation 133
Installation 135
Fastsättning av pumpen 137
Användning av TwisTorr 704 FS 139
Underhåll 141
Bortskaffning 142

Contents
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 9/334
9 Instruksjon Manual 143
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 144
Generell informasjon 145
Lagring 148
Klargjøre til installasjon 149
Installasjon 151
Festing av pumpen 153
Bruk av TwisTorr 704 FS 155
Vedlikehold 157
Eliminering 158
10 Ohjekäsikirja 159
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 160
Yleisiä tietoja 161
Varastointi 164
Valmistelut asennusta varten 165
Asennus 167
Pumpun kiinnitys 169
TwisTorr 704 FS käyttö 171
Huolto 173
Hävittäminen 174

Contents
10/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
11 Felhasználói Kézikönyv 175
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 176
Általános informáicó 177
Tárolás 180
Előkészítés telepítésre 181
Telepítés 183
A szivattyú rögzítése 185
A TwisTorr 704 FS használata 187
Karbantartás 189
Megsemmisítés 190
12 Podrecznik Instrukcji 191
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 192
Ogólne Informacje 193
Magazynowanie 196
Przygotowanie do instalacji 197
Instalacja 199
Mocowanie pompy 201
Użytkowanie pompy TwisTorr 704 FS 203
Konserwacja 205
Przetworstwo odpadow 206

Contents
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 11/334
13 Návod k Použití 207
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 208
Všeobecné informace 209
Uskladnění 212
Příprava k instalaci 213
Instalace 215
Upevnění vývěvy 217
Použití vývěvy TwisTorr 704 FS 219
Údržba 221
Likvidace 222
14 Návod na Obsluhu 223
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 224
Všeobecné informácie 225
Uchovávanie 228
Príprava na inštaláciu 229
Inštalácia 231
Upevnenie vývevy 233
Použitie vývevy TwisTorr 704 FS 235
Údržba 237
Likvidácia 238

Contents
12/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
15 Priročnik za Navodila 239
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 240
Splošne informacije 241
Shranjevanje 243
Priprava za montažo 244
Montaža 246
Pritrditev črpalke 248
Uporaba črpalke TwisTorr 704 FS 250
Vzdrževanje 252
Odlaganje opadkov 253
16 Instructions for Use 255
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 256
General Information 257
Storage 260
Preparation for installation 261
Installation 263
Pump Fixing 265
Use of TwisTorr 704 FS 267
Maintenance 269
Disposal 270

Contents
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 13/334
17 Technical Information 271
Description of the TwisTorr 704 FS 273
Technical Specification 278
TwisTorr 704 FS Outline 281
Output Power during High Temperature Condition (derating) 293
Interconnections 295
Soft Start 297
Inlet screen installation 298
Air Cooling Kit Installation TwisTorr 704 FS
with TMP Rack Controller 300
TwisTorr 704 FS with On Board Controller 302
Water Cooling Kit Connection 304
Vent Accessories 307
Purge Valve Installation 310
Serial Cable Installation 311
TwisTorr 704 FS On Board Controller Installation 313
Connection of the High Vacuum Flange 316
Connection of the Fore-Vacuum Pump 321
Pump Used with Corrosive Gases 322
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 324
Cleaning 325
Accessories and Spare Parts 326

Contents
14/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)

TwisTorr 704 FS User Manual
15/334
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16
Informazioni Generali
17
Simboli di Sicurezza 19
Immagazzinamento
20
Preparazione per l’installazione
21
Installazione
23
Fissaggio della pompa
25
Uso della
TwisTorr 704 FS 27
Manutenzione
29
Smaltimento
30
Traduzione delle istruzioni originali

1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 17/334
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
La TwisTorr 704 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni di
alto e ultra alto vuoto, capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatta per il pompaggio di liquidi o di
particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (49500 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. La TwisTorr 704 FS è totalmente priva di agenti
contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
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TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00) 19/334
Simboli di Sicurezza
SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare
riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e
per proteggere l’apparato da eventuali danni.
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare
lontano durante il funzionamento dell'apparato.
L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere
a massa l'apparato.

1
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
20/334 TwisTorr 704 FS User Manual / 87-901-051-01 (B.00)
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –40 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 90 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.