Agilent Technologies X3502-64170 User manual

TwisTorr 74 FS
Pump models: X3502-64170, X3502-64171,
X3502-64172, X3502-64173
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-053-01
07/2018

TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Notices
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-053-01
Edition
Edition 07/2018
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
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DOD Departments and Agencies of the
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TwisTorr 74 FS Pump
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 3/342
TwisTorr 74 FS Pump

TwisTorr 74 FS Pump
4/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01

Contents
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 5/342
Contents
1
Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 26
Uso della TwisTorr 74 FS27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
2
Gebrauchsanleitung31
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32
Allgemeine Informationen 33
Lagerung 36
Vor der Installation 37
Installation 39
Befestigung der Pumpe 43
Verwendung TwisTorr 74 FS 44
Wartung 46

Contents
6/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Entsorgung 47
3
Mode d’emploi 49
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 50
Indications générales 51
Stockage 54
Préparation pour l’installation 55
Installation 57
Fixation de la pompe60
Utilisation de la TwisTorr 74 FS 61
Entretien 63
Mise au rebut 64
4
Manual de istrucciones 65
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66
Información general 67
Almacenamiento 70
Preparación para la instalación 71
Instalación 73
Fijación de la bomba76
Uso de la TwisTorr 74 FS77
Mantenimiento 79
Eliminación 80

Contents
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 7/342
5
Manual de Istruções 81
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 82
Informações gerais 83
Armazenagem 86
Preparação para a instalação87
Instalação 89
Fixação da bomba 92
Utilização do TwisTorr 74 FS 93
Manutenção 95
Eliminação 96
6
Bedrijfshandleiding 97
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98
Algemene informatie 99
Opslag 102
Uitpakken 103
Installatie 105
Bevestiging van de pomp 109
Gebruik van de TwisTorr 74 FS 110
Onderhoud 112
Afvalverwerking 113
7
Istruktionsbog 115
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 116

Contents
8/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Generel information 117
Opbevaring 120
Forberedelser før installation 121
Installation 123
Fastgøring af pumpen 126
Anvendelse af TwisTorr 74 FS 127
Vedligeholdelse 129
Bortskaffelse 130
8
Bruksanvisning 131
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar132
Allmän information 133
Förvaring 136
Förberedelser för installation 137
Installation 139
Fastsättning av pumpen 142
Användning av TwisTorr 74 FS 144
Underhåll 146
Bortskaffning 147
9
Instruksjon Manual 149
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 150
Generell informasjon151
Lagring 154

Contents
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 9/342
Klargjøre til installasjon 155
Installasjon 157
Festing av pumpen 160
Bruk av TwisTorr 74 FS 161
Vedlikehold 163
Eliminering 164
10
Ohjekäsikirja 165
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 166
Yleisiä tietoja 167
Varastointi 170
Valmistelut asennusta varten171
Asennus 173
Pumpun kiinnitys 176
TwisTorr 74 FS käyttö 177
Huolto 179
Hävittäminen 180
11
Felhasználói Kézikönyv 181
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 182
Általános informáicó183
Tárolás 186
Előkészítés telepítésre 187
Telepítés 189

Contents
10/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
A szivattyú rögzítése192
A TwisTorr 74 FS használata 193
Karbantartás 195
Megsemmisítés 196
12
Podrecznik Instrukcji 197
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 198
Ogólne Informacje 199
Magazynowanie 202
Przygotowanie do instalacji 203
Instalacja 205
Mocowanie pompy 209
Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS 210
Konserwacja 212
Przetworstwo odpadow 213
13
Návod k Použití 215
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 216
Všeobecné informace 217
Uskladnění 220
Příprava k instalaci 221
Instalace 223
Upevnění vývěvy226
Použití vývěvy TwisTorr 74 FS 227

Contents
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 11/342
Údržba 229
Likvidace 230
14
Návod na Obsluhu 231
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 232
Všeobecné informácie 233
Uchovávanie 236
Príprava na inštaláciu 237
Inštalácia 239
Upevnenie vývevy 242
Použitie vývevy TwisTorr 74 FS 243
Údržba 245
Likvidácia 246
15
Priročnik za Navodila 247
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 248
Splošne informacije 249
Shranjevanje 252
Priprava za montažo 253
Montaža 255
Pritrditev črpalke 258
Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS 259
Vzdrževanje 261
Odlaganje opadkov 262

Contents
12/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
16
Instructions for Use 263
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 264
General Information 265
Storage 268
Preparation for installation 269
Installation 271
Pump Fixing274
Use of TwisTorr 74 FS 275
Maintenance 277
Disposal 278
17
Technical Information 279
Description of the TwisTorr 74 FS281
Technical Specification 285
TwisTorr 74 FS Outline 288
Interconnections 305
Soft Start 307
Inlet screen installation 308
Air Cooling Kit Installation 312
Water Cooling Kit Connection 314
Vent Accessories 317
Vibration Isolator Installation319
Purge Valve Installation 320

Contents
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 13/342
TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation 321
Connection of the High Vacuum Flange 324
Connection of the Fore-Vacuum Pump 331
Pump Used with Corrosive Gases332
Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases)
– Manual Venting 334
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 335
Accessories and Spare Parts 336

Contents
14/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01

TwisTorr 74 FS User Manual
15/342
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Simboli di Sicurezza 19
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 26
Uso della TwisTorr 74 FS 27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 17/342
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
La TwisTorr 74 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni di
alto e ultra alto vuoto, capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatta per il pompaggio di liquidi o di
particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (70000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. La TwisTorr 74 FS è totalmente priva di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 19/342
Simboli di Sicurezza
SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare
riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e
per proteggere l’apparato da eventuali danni.
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare
lontano durante il funzionamento dell'apparato.
L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere
a massa l'apparato.

1 Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
20/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –40 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 90 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.