Agilent Technologies TwisTorr 404 FS User manual

TwisTorr 404 FS
Pump models:
X3511-64004, X3511-64005, X3511-64006,
X3511-64019, X3511-64020, X3511-64021
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-048-01
03/2018

TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-901-048-01
Edition
Edition 03/2018
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
CAUTION
WARNING

TwisTorr 404 FS Pump
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 3/328
TwisTorr 404 FS Pump

TwisTorr 404 FS Pump
4/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01

Contents
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 5/328
Contents
1
Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 25
Uso della TwisTorr 404 FS 27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
2
Gebrauchsanleitung31
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32
Allgemeine Informationen 33
Lagerung 36
Vor der Installation 37
Installation 39
Befestigung der Pumpe 41
Verwendung der TwisTorr 404 FS43
Wartung 45

Contents
6/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Entsorgung 46
3
Mode d’emploi 47
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 48
Indications générales 49
Stockage 52
Préparation pour l’installation 53
Installation 55
Fixation de la pompe57
Utilisation de la TwisTorr 404 FS 59
Entretien 61
Mise au rebut 62
4
Manual de istrucciones 63
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 64
Información general 65
Almacenamiento 68
Preparación para la instalación 69
Instalación 71
Fijación de la bomba 73
Uso de la TwisTorr 404 FS 75
Mantenimiento 77
Eliminación 78

Contents
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 7/328
5
Manual de Istruções 79
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80
Informações gerais 81
Armazenagem 84
Preparação para a instalação85
Instalação 87
Fixação da bomba 89
Utilização do TwisTorr 404 FS 91
Manutenção 93
Eliminação 94
6
Bedrijfshandleiding 95
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 96
Algemene informatie 97
Opslag 100
Uitpakken 101
Installatie 103
Bevestiging van de pomp 105
Gebruik van de TwisTorr 404 FS 107
Onderhoud 109
Afvalverwerking 110
7
Istruktionsbog 111
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 112

Contents
8/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Generel information 113
Opbevaring 116
Forberedelser før installation 117
Installation 119
Fastgøring af pumpen 121
Anvendelse af TwisTorr 404 FS 123
Vedligeholdelse 125
Bortskaffelse 126
8
Bruksanvisning 127
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar128
Allmän information 129
Förvaring 132
Förberedelser för installation 133
Installation 135
Fastsättning av pumpen 137
Användning av TwisTorr 404 FS 139
Underhåll 141
Bortskaffning 142
9
Instruksjon Manual 143
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 144
Generell informasjon145
Lagring 148

Contents
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 9/328
Klargjøre til installasjon 149
Installasjon 151
Festing av pumpen 153
Bruk av TwisTorr 404 FS 155
Vedlikehold 157
Eliminering 158
10
Ohjekäsikirja 159
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 160
Yleisiä tietoja 161
Varastointi 164
Valmistelut asennusta varten165
Asennus 167
Pumpun kiinnitys 169
TwisTorr 404 FS käyttö 171
Huolto 173
Hävittäminen 174
11
Felhasználói Kézikönyv 175
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 176
Általános informáicó177
Tárolás 180
Előkészítés telepítésre 181
Telepítés 183

Contents
10/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
A szivattyú rögzítése185
A TwisTorr 404 FS használata 187
Karbantartás 189
Megsemmisítés 190
12
Podrecznik Instrukcji 191
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 192
Ogólne Informacje 193
Magazynowanie 196
Przygotowanie do instalacji 197
Instalacja 199
Mocowanie pompy 201
Użytkowanie pompy TwisTorr 404 FS 203
Konserwacja 205
Przetworstwo odpadow 206
13
Návod k Použití 207
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 208
Všeobecné informace 209
Uskladnění 212
Příprava k instalaci 213
Instalace 215
Upevnění vývěvy217
Použití vývěvy TwisTorr 404 FS 219

Contents
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 11/328
Údržba 221
Likvidace 222
14
Návod na Obsluhu 223
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 224
Všeobecné informácie 225
Uchovávanie 228
Príprava na inštaláciu 229
Inštalácia 231
Upevnenie vývevy 233
Použitie vývevy TwisTorr 404 FS 235
Údržba 237
Likvidácia 238
15
Priročnik za Navodila 239
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 240
Splošne informacije 241
Shranjevanje 243
Priprava za montažo 244
Montaža 246
Pritrditev črpalke 248
Uporaba črpalke TwisTorr 404 FS 250
Vzdrževanje 252
Odlaganje opadkov 253

Contents
12/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
16
Instructions for Use 255
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 256
General Information 257
Storage 260
Preparation for installation 261
Installation 263
Pump Fixing 265
Use of TwisTorr 404 FS 267
Maintenance 269
Disposal 270
17
Technical Information 271
Description of the TwisTorr 404 FS 273
Technical Specification 279
TwisTorr 404 FS Outline 282
Output Power during High Termperature Condition (derating) 288
Interconnections 290
Soft Start 292
Inlet screen installation 293
Air Cooling Kit Installation TwisTorr 404 FS with TMP Rack
Controller 295
TwisTorr 404 FS with On Board Controller297
Water Cooling Kit Connection 299
Vent Accessories 302

Contents
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 13/328
Purge Valve Installation 305
Serial Cable Installation 306
TwisTorr 404 FS On Board Controller Installation 308
Connection of the High Vacuum Flange 311
Connection of the Fore-Vacuum Pump 316
Pump Used with Corrosive Gases317
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 319
Cleaning 320
Accessories and Spare Parts 321

Contents
14/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01

TwisTorr 404 FS User Manual
15/328
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Simboli di Sicurezza 19
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 25
Uso della TwisTorr 404 FS 27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 17/328
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
La TwisTorr 404 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni di
alto e ultra alto vuoto, capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatta per il pompaggio di liquidi o di
particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (49500 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. La TwisTorr 404 FS è totalmente priva di agenti
contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01 19/328
Simboli di Sicurezza
SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare
riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e
per proteggere l’apparato da eventuali danni.
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare
lontano durante il funzionamento dell'apparato.
L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere
a massa l'apparato.

1 Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
20/328 TwisTorr 404 FS User Manual / 87-901-048-01
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –40 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 90 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.