Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User manual

TwisTorr 305-IC
Pump models: X3513-64000, X3513-64001, X3513-64002,
X3513-64003, X3513-64004, X3513-64005, X3513-64006,
X3513-64007, X3513-64016, X3513-64017, X3513-64018,
X3513-64019, X3513-64020, X3513-64021, X3513-64022,
X3513-64023, X3513-64024, X3513-64025, X3513-64026,
X3513-64027, X3513-64028, X3513-64029, X3513-64030,
X3513-64031
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d’emploi
Manual de istrucciones
用户手册
ユーザーマニュアル
User Manual
87-901-058-01
12/2019

TwisTorr 305-IC User Manual/ 87-901-058-01
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2019
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-058-01
Edition
Edition 12/2019
Printed in ITALY
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Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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or any equivalent agency regulation or
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DOD Departments and Agencies of the
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TwisTorr 305-IC
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 3/302
TwisTorr 305-IC

TwisTorr 305-IC
4/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
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Contents
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 5/302
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Informazioni su questo manuale 17
Validità 17
Definizioni e terminologia 18
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 18
Simboli di Avvertenza 19
Sicurezza 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 25
Transporto & Immagazzinamento 26
Descrizione del prodotto 27
Installazione 28
Preparazione per l’installazione 28
Apertura 30
Riparazione di TwisTorr 305-IC 32
Collegamento della flangia per alto vuoto 33
Installazione della flangia ISO-K 34
Installazione della flangia ConFlat 35
Collegamento della pompa del vuoto anteriore 36
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC 37
Arresto di TwisTorr 305-IC 40
Arresto di emergenza 40
Manutenzione 41
Vita del rotore 41

Contents
6/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
Soft Start 42
Pulizia 42
Smaltimento 43
Servizio Post Vendita 44
2Gebrauchsanleitung 45
Über dieses Handbuch 47
Gültigkeit 47
Begriffsbestimmungen und Terminologie 48
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 48
Warnsymbole 49
Sicherheit 51
Sachgemäße Verwendung 51
Unsachgemäße Verwendung 52
Schutzausrüstung 53
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 55
Transport und Lagerung 56
Produktbeschreibung 57
Installation 58
Vorbereitung zum Einbau 58
Einrichten 60
Montage von TwisTorr 305-IC 62
Anschluss des Hochvakuumflansches 63
Installation des ISO-K-Flansches 64
Installation des ConFlat-Flansches 65
Anschluss der Vorvakuumpumpe 66
Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC 67
TwisTorr 305-IC stoppen 70
Notausschaltung 70
Wartung 71
Rotordauer 71

Contents
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 7/302
Sanftanlauf 72
Reinigung 72
Entsorgung 73
Service 74
3Mode d’emploi 75
À propos de ce manuel 77
Validité 77
Définitions et terminologie 78
Symboles d’avertissement 79
Sécurité 81
Utilisation appropriée 81
Utilisation inappropriée 82
Équipement de protection 83
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 85
Transport et entreposage 86
Description du produit 87
Installation 88
Préparation pour l’installation 88
Configuration 90
Montage du TwisTorr 305-IC 92
Raccordement de la bride à vide élevé 93
Installation de la bride ISO-K 94
Installation de la bride ConFlat 95
Raccordement de la bride à vide préliminaire 96
Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC 97
Arrêt du TwisTorr 305-IC 100
Arrêt d’urgence 100
Entretien 101
Durée de vie du rotor 101
Démarrage progressif 102

Contents
8/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
Nettoyage 102
Mise au rebut 103
Service 104
4Instrucciones de Uso 105
Acerca del manual 107
Validez 107
Definiciones y terminología 108
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 108
Símbolos de advertencia 109
Seguridad 111
Uso correcto 111
Uso incorrecto 112
Equipo de protección 113
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 115
Transporte y almacenamiento 116
Descripción del producto 117
Instalación 118
Preparación para instalación 118
Puesta en marcha 120
Montaje de la TwisTorr 305-IC 122
Conexión de la brida de alto vaciado 123
Instalación de la brida ISO-K 124
Instalación de la brida ConFlat 125
Conexión de la bomba pre-vaciado 126
Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC 127
Parada de la TwisTorr 305-IC 130
Parada de emergencia 130
Mantenimiento 131
Vida del rotor 131
Arranque suave 132

Contents
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 9/302
Limpieza 132
Eliminación 133
Servicio 134
5使用说明 135
关于这本手册 137
有效性 137
定义和术语 138
警告、警告和注释的定义 138
警告符号 139
安全 141
正确使用 141
使用不当 142
防护设备 143
涡轮分子泵安全指南 145
运输及存储 146
产品描述 147
安装 148
安装准备 148
设置 150
TwisTor 305-IC 的安装 152
高真空法兰的连接 153
ISO-K 法兰的安装 154
ConFlat 法兰的安装 155
前真空泵的连接 156
TwisTorr 305-IC 的启动和运行 157
停止 TwisTorr 305-IC 160
紧急停止 160
维护 161

Contents
10/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
转子寿命 161
慢启动 162
清洗 162
处置方式 163
服务 164
6使用方法 165
このマニュアルについて 167
有効性 167
定義と用語 168
警告・注意・注の定義 168
警告の記号 169
安全性 171
適切な使用 171
不適切な使用 172
保護用装備 173
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 175
移送＆保管 176
製品説明 177
取り付け 178
取り付けの準備 178
セットアップ 180
TwisTorr 305-IC 実装 182
高真空フランジの接続 183
ISO-K フランジの取り付け 184
ConFlat フランジの取り付け 185
フォア真空ポンプの接続 186
TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 187
TwisTorr 305-IC を停止する 190

Contents
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 11/302
緊急停止 190
メンテナンス 191
ローターの寿命 191
ソフトスタート 192
クリーニング 192
廃棄 193
サービス 194
7Instructions for Use 195
About this manual 197
Validity 197
Definitions and terminology 198
Definition of Caution, Warning and Note 198
Warning Symbols 199
Safety 201
Proper Use 201
Improper Use 202
Protective equipment 203
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 205
Transport & Storage 206
Product description 207
Installation 208
Preparation for Installation 208
Set-up 210
TwisTorr 305-IC Mounting 212
Connection of the High Vacuum Flange 213
Installation of ISO-K Flange 214
Installation of ConFlat Flange 215
Connection of the Fore-Vacuum Pump 216
Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC 217

Contents
12/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
Stopping the TwisTorr 305-IC 220
Emergency stop 220
Maintenance 221
Rotor life 221
Soft Start 222
Cleaning 222
Disposal 223
Service 224
8Technical Information 225
Description of the TwisTorr 305-IC 227
Technical Specification 233
TwisTorr 305-IC Outline 236
Pump Operations 247
Inlet screen installation 247
Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) 250
Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 251
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) 255
Vent Accessories 258
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases 261
Purge Valve Installation 263
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 264
Vibration Isolator Installation 264
Controller Operations 265
Interconnections 265
1 - Vent 266
2 - External Fan 266
3 - IN/OUT and Power Supply 266
Signal Description 268

Contents
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 13/302
How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 272
How to Connect the Controller Outputs 273
RS485/RS232 communication description 274
Windows Protocol 276
Window Description 281
NFC Function 287
Screenshot APP 289
Connection through USB plug 290
Error messages 291
Warning messages 293
Accessories and Spare Parts 295

Contents
14/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
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TwisTorr 305-IC Manuale di istruzioni
1
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 15/302
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo 17
Validità 17
Definizioni e terminologia 18
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 18
Simboli di Avvertenza 19
Sicurezza 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 25
Transporto & Immagazzinamento 26
Descrizione del prodotto 27
Installazione 28
Preparazione per l’installazione 28
Apertura 30
Riparazione di TwisTorr 305-IC 32
Collegamento della flangia per alto vuoto 33
Installazione della flangia ISO-K 34
Installazione della flangia ConFlat 35
Collegamento della pompa del vuoto anteriore 36
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC 37
Arresto di TwisTorr 305-IC 40
Arresto di emergenza 40
Manutenzione 41
Vita del rotore 41
Soft Start 42
Pulizia 42
Smaltimento 43
Servizio Post Vendita 44

1
TwisTorr 305-IC Manuale di istruzioni
16/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01

Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale
1
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 17/302
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305-IC, con
particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e
manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di
cui l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con
disposizioni specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale
appositamente addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere
eseguite dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo
“Installazione”. Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo
“Operazioni”.
Per ulteriori dettagli sull’utilizzo tecnico, consultare il capitolo “Operazioni”.
NOTA
1. Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza TwisTorr 305-IC possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta
efficienza, per tutta la sua durata.
2. Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso
correlate, in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli
operatori/personale di manutenzione.

1
Istruzioni per l’uso
Definizioni e terminologia
18/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori
contrastanti.
AVVERTENZA!!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
Simboli di Avvertenza
1
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 19/302
Simboli di Avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli
avvisi TwisTorr 305-IC. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Corrente continua
Non toccare
Dichiarazione Europea di
Conformità
Pericolo generico
Sito di produzione
Spegni
Accendi
Messa a terra protettiva

1
Istruzioni per l’uso
Simboli di Avvertenza
20/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
I
Accensione principale
Se rosso, significa malfunzionamento
Se giallo, significa avvertenza
Porta USB
Messa a terra protettiva
Non toccare
J1
Connettore principale
NFC
Near Field Communication (antenna dello smartphone)
Certificazione CE
Certificazione CSA
Limitazione della Certificazione delle Sostante
Pericolose
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche