Agilent Technologies 9130037 User manual

Miniature and
2 l/s VacIon Pumps
Miniature Models:
913-0037 913-0038
913-0040 913-0041
913-0049 913-0050
Magnet: 913-0042
2 l/s Models:
913-0032 913-0034
913-0035 913-0045
913-0046 913-0047
913-0052 913-5000
Magnet: 913-0011
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
87-400-044-01 (D)
APRIL 2006
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.

Miniature pumps
2 l/s VacIon pumps

ISTRUZIONI PER L'USO
INFORMAZIONI DI SICUREZZA...................................................................................................1
INFORMAZIONI GENERALI..........................................................................................................1
INSTALLAZIONE ...........................................................................................................................1
Collegamento dell’unità di controllo.....................................................................................2
NOTE DI FUNZIONAMENTO ........................................................................................................2
Operazione di “bakeout” ......................................................................................................2
CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO ANOMALE ..........................................................................3
Bassa corrente.....................................................................................................................3
Alta corrente.........................................................................................................................3
BETRIEBSANLEITUNG
SICHERHEITSHINWEISE .............................................................................................................4
ALLGEMEINE HINWEISE .............................................................................................................4
INSTALLATION..............................................................................................................................4
Anschluss des Controllers ...................................................................................................5
FUNKTIONSWEISE.......................................................................................................................5
Bakeout................................................................................................................................5
BETRIEBSSTÖRUNGEN ..............................................................................................................6
Stromstärke zu niedrig.........................................................................................................6
Stromstärke zu hoch............................................................................................................6
INSTRUCTIONS D’UTILISATION
INFORMATIONS SUR LA SÉCURITÉ ..........................................................................................7
INDICATIONS GÉNÉRALES.........................................................................................................7
INSTALLATION..............................................................................................................................7
Branchement de l'unité de contrôle .....................................................................................8
NOTES DE FONCTIONNEMENT..................................................................................................8
Opération de “bakeout”........................................................................................................8
CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT ANORMALES................................................................9
Courant faible.......................................................................................................................9
Courant élevé.......................................................................................................................9
INSTRUCTIONS FOR USE
SAFETY INFORMATION.............................................................................................................10
GENERAL INFORMATION..........................................................................................................10
INSTALLATION............................................................................................................................10
Control unit connection ......................................................................................................11
OPERATING NOTES...................................................................................................................11
Bakeout Operation.............................................................................................................11
UNUSUAL OPERATING CONDITIONS......................................................................................12
Low current ........................................................................................................................12
High current .......................................................................................................................12

ISTRUZIONI PER L'USO
INFORMAZIONI DI SICUREZZA
Questa apparecchiatura è destinata ad uso pro-
fessionale. L'utilizzatore deve leggere attentamen-
te il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Varian prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-
ne sollevata da eventuali responsabilità dovute al-
l'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad
uso improprio da parte di personale non addestra-
to, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario
alle normative nazionali specifiche.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'o-
peratore su una procedura o una pratica specifica
che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di
procedure che, se non osservate, potrebbero cau-
sare danni all'apparec-chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estra-
polate dal testo.
INFORMAZIONI GENERALI
Queste istruzioni contengono informazioni di base
per l’installazione e l’uso delle Pompe Miniature e
2 l/s VacIon.
La seguente tabella elenca i modelli disponibili:
MODELLO P/N
Miniature
Con tubo in rame 180° 913-0037
Con tubo in rame 90° 913-0040
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”
OD 180°
913-0038
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”
OD 90°
913-0041
Con tubo in rame da 3/8” OD 180°,
preparata sotto vuoto
913-0049
Con tubo in rame da 3/8” OD 90°,
preparata sotto vuoto
913-0050
Magnete in Alnico 913-0042
2 l/s
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 180°
913-0032
Con tubo in Kover-glass da 3/4” OD 913-0034
Con tubo in rame da 3/4” OD 180°,
preparata sotto vuoto
913-0035
Con tubo in acciaio inossidabile corto
da 3/4” OD
913-0047
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 180°, preparata sotto vuoto
913-0045
MODELLO P/N
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 90° a T
913-0046
Con tubo in rame OFHC da 3/4” OD 913-0052
Con flangia 1 1/3” CF 180° preparata
sotto vuoto
913-5000
Magnete in Alnico 913-0011
Il sistema di pompaggio completo comprende La
pompa VacIon, il suo magnete, ed un alimentato-
re. Queste pompe VacIon funzionano sul principio
getter nel campo da 10-3 Torr a meno di 10-9 Torr.
Per portare il sistema dalla pressione a meno di
10-3 Torr, è necessaria una pompa di pre-vuoto.
La pompa deve essere alimentata tramite una ten-
sione positiva di 3000-3500 Volt (a circuito aperto).
La corrente di alimentazione e quella di corto cir-
cuito fornita dall’alimentatore devono corrisponde-
re alla corrente assorbita dalla pompa alla sua
massima pressione di esercizio.
INSTALLAZIONE
Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il
sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che
saranno sotto vuoto. Quando la pompa è aperta
all’aria, far attenzione a non introdurre particelle
estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi
sostanza volatile. Pulire accuratamente il sistema
prima del collegamento della pompa. Una pulizia
del sistema del vuoto con prodotti chimici sarebbe
il metodo più completo; tuttavia non utilizzarlo
quando sono presenti cavità e fessure che impedi-
scano il risciacquo
Normalmente è sufficiente uno sgrassaggio con
acetone o metanolo ed un successivo risciacquo
con acqua.
Per ottenere la massima velocità di pompaggio
collegare la pompa al sistema con un tubo il più
corto ed il più largo possibile.
Per lavorazioni in ultra vuoto, le giunzioni devono
essere saldate con gas inerte (TIG), brasate con
idrogeno o sotto vuoto.
Le guarnizioni nel sistema devono essere di metal-
lo morbido tipo rame ricotto, alluminio o oro.
Dopo che la pompa è stata sigillata nel sistema,
ricontrollare che l’intero sistema non presenti per-
dite.
Fissare il magnete alla relativa staffa della pompa
tramite le viti in dotazione.
1 87-400-085-01(D)

ISTRUZIONI PER L'USO
Collegamento dell’unità di controllo
,PERICOLO!
Le tensioni generate dall’unità di controllo ed uti-
lizzate dalle pompe VacIon sono potenzialmente
letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il
collegamento di massa sia realizzato correttamen-
te.
Collegare l’unità di controllo alla pompa come se-
gue:
1. Collegare la pompa alla massa
dell’alimentatore sistemando la molletta di
massa sul passante della pompa prima di col-
legare il cavo di alta tensione. Con i cavi prov-
visti di filo di massa, collegare il filo di massa
ad una massa del sistema.
2. L’alimentatore si collega a massa attraverso il
suo cavo di alimentazione. Perciò, per assicu-
rare un circuito completamente collegato a
massa, la spina a tre poli del cavo di alimenta-
zione deve essere inserita in una presa con
collegamento di terra. Non utilizzare prese di
adattamento che non permettano la chiusura
del circuito di terra.
NOTE DI FUNZIONAMENTO
Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas me-
diante una scarica confinata magneticamente (cella
Penning). Una tensione di circa 3 kV viene applicata
all’anodo mentre i catodi sono mantenuti a massa.
Un campo magnetico assiale di circa 1200 gauss
impedisce che gli elettroni giungano direttamente
all’anodo. Un isolante schermato isola l’anodo dal
potenziale di terra. Nel funzionamento corretto della
pompa VacIon (con il magnete installato), la corren-
te assorbita è proporzionale alla pressione (vedere
la figura seguente).
Curva pressione-corrente
Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione
inferiore ai 10-2 Torr, si può avviare la pompa
semplicemente accendendo l’unità di controllo.
L’avvio della pompa viene indicato dalla presenza
di un assorbimento di corrente da parte dell’unità
di controllo.
NOTA
Prima di scollegare il cavo dell’alimentatore atten-
dere sempre almeno 30 secondi dallo spegnimen-
to dell’alta tensione in modo da permettere che il
condensatore dell’alimentatore si scarichi adegua-
tamente.
Operazione di “bakeout”
Quando una pompa VacIon non raggiunge la
pressione base desiderata e non ci sono perdite, è
necessario eseguire un “bakeout” del sistema per
eliminare il vapore acqueo. Questa operazione
viene eseguita riscaldando la pompa e tutti gli e-
lementi del sistema.
1. Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per
mezzo di un forno o elementi riscaldanti ad una
temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C è la
massima temperatura sopportata da molti cavi
di alta tensione). Questa temperatura è abba-
stanza elevata in modo da “degassare” le su-
perfici della pompa dal vapore acqueo senza
danneggiare il magnete ed il connettore
dell’alta tensione. Occorre fare attenzione che
gli altri componenti del sistema sopportino la
temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento
deve essere il più possibile uniforme su tutte le
superfici per evitare che il vapore si ricondensi
sulle parti più fredde impedendo così il rag-
giungimento di valori elevati di vuoto.
2. Lasciare accesa l’unità di controllo e controllare
che la pressione non superi il valore di 5x10-5
Torr (mbar). Nel caso in cui si superi il suddetto
valore, occorre spegnere il riscaldatore e riac-
cenderlo quando si è ripristinata la bassa pres-
sione. Per controllare i riscaldatori ed i valori di
pressione in modo automatico durante il riscal-
damento, occorre utilizzare un relè sensibile al-
la pressione.
3. Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore.
Periodi più lunghi di riscaldamento sono ne-
cessari quando la pompa deve essere usata
con carichi di gas pesanti, o quando si deside-
rano valori di vuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o
inferiori.
4. A mano a mano che la pompa ed il sistema ri-
tornano alla temperatura ambiente, si deve os-
servare un abbassamento della pressione.
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ISTRUZIONI PER L'USO
5. Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche
c’è anche la possibilità del loro impiego per
processare sotto vuoto altri componenti. Poichè
il passante di alta tensione può sopportare un
numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a
400°C), si raccomanda di limitare tali cicli al
minimo possibile, per aumentare la durata di vi-
ta della pompa stessa.
CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO
ANOMALE
Bassa corrente
Se il valore di corrente letto è inferiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), la scarica si potrebbe
essere fermata.
Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere
il magnete ed osservare la corrente residua. Se la
corrente non cambia con e senza il magnete, non
è in corso alcuna scarica nella pompa.
a) Per riavviare la scarica, colpire il corpo pompa
con un attrezzo di plastica morbida, o riscal-
darlo localmente con un piccolo saldatore. In
questo modo si libera del gas dalla superficie
all’interno della pompa e la scarica dovrebbe
riprendere. NON COLPIRE MAI la pompa con
un attrezzo metallico.
b) Se il campo magnetico scende sotto il suo va-
lore di targa, la scarica della pompa e la velo-
cità si ridurranno e la scarica potrebbe
spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7
Torr.
Alta corrente
Se il valore di corrente letto è superiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), controllare quanto se-
gue:
a) Che il cavo dell’alta tensione non sia in corto
circuito. Riparare o sostituire.
b) Che non ci sia una dispersione all’interno
dell’unità di controllo. Riparare secondo quanto
indicato sul relativo manuale.
c) Che non ci sia un corto circuito sugli isolatori
di supporto dell’anodo causato da frammenti di
film di Titanio. Colpire la pompa come descrit-
to al passo a) del paragrafo precedente po-
trebbe porre rimedio a questa situazione.
d) Che non ci sia una emissione di corrente da “pun-
te” che si siano formate sui catodi. Applicare alla
pompa una tensione tra 10 e 14 kVac con una
corrente tra 20 e 30 mA per 5 - 20 secondi per
bruciare le “punte”.
e) Che non ci siano rivestimenti di film metallici
conduttori sugli isolatori a causa di un funzio-
namento sopra i 10-2 Torr per elevati periodi di
tempo. Poiché non è possibile smontare la
pompa, questa condizione è causa di una limi-
tazione del tempo di vita della pompa. Evitare di
usare la pompa ad alte pressioni per lunghi pe-
riodi.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle eti-
chette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottempe-
ranza alla direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul qua-
le è applicato, NON deve essere smaltito insieme
ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve
essere avviato ad un sistema di raccolta differen-
ziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il forni-
tore del dispositivo, sia esso la casa madre o un
rivenditore, per avviare il processo di raccolta e
smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
3 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG
SICHERHEITSHINWEISE
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch
bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer die-
ses Handbuch sowie alle weiteren von Varian mit-
gelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der
einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt
Firma Varian keinerlei Haftung.
In diesem Handbuch werden bestimmte Textstel-
len wie folgt hervorgehoben:
,GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise richten die Aufmerksamkeit
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Personenschä-
den zur Folge haben könnte.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren
machen darauf aufmerksam, dass bei Nichteinhal-
tung Schäden am Gerät entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informatio-
nen, die aus dem Text hervorgehoben werden.
ALLGEMEINE HINWEISE
Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen
zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon
Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.
In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle
aufgeführt:
MODELL P/N
Miniature
Mit Rohr in Kupfer 180° 913-0037
Mit Rohr in Kupfer 90° 913-0040
Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 180° 913-0038
Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 90° 913-0041
Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 180°, mit Vor-
vakuum
913-0049
Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 90, mit Vorva-
kuum
913-0050
Magnet in Alnico 913-0042
2 l/s
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180° 913-0032
Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD 913-0034
Mit Rohr in Kupfer 3/4” OD 180°, mit Vor-
vakuum
913-0035
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180°, mit
Vorvakuum
913-0045
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 90° T-
Anschluss
913-0046
MODELL P/N
Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4” OD 913-0047
Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4” OD 913-0052
Mit Flansch 1 1/3” CF 180°, mit Vorvaku-
um
913-5000
Magnet in Alnico 913-0011
Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon
Pumpe, deren Magneten und ein Netzgerät. Diese
Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip
im Bereich von 10-3 Torr bis unter 10-9 Torr. Um
das System auf unter 10-3 Torr zu bringen, ist eine
Vorvakuumpumpe erforderlich.
Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000-
3.500 Volt (im offenen Schaltkreis) zu versorgen.
Die Versorgungsspannung und die vom Netzgerät
gelieferte Kurzschlussspannung sollen der Strom-
aufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Ar-
beitsdruck entsprechen.
INSTALLATION
Bei der Installation sind die Pumpe und das Sys-
tem sauber zu halten. Die Berührung von Oberflä-
chen, die unter Vakuum sein werden, ist zu
vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist
darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, Öl,
Lötflussmittel oder flüchtige Substanzen eindrin-
gen. Vor Anschluss der Pumpe ist das System
gründlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vaku-
umsystems mit chemischen Produkten wäre hier-
bei die beste Methode; sie sollte allerdings nicht
bei Vorhandensein von Hohlräumen und Spalten
angewendet werden, die das Ausspülen verhin-
dern.
In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Me-
thanol und das anschließende Spülen mit Wasser
ausreichend.
Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzie-
len, ist die Pumpe über eine möglichst kurze und
breite Leitung an das System anzuschließen.
Für den Höchstvakuumbetrieb sollen die Verbin-
dungen mit Inertgas geschweißt (WIG) und was-
serstoff- oder vakuumgelötet sein.
Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall
wie geglühtes Kupfer, Aluminium oder Gold sein.
Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde,
ist das gesamte System auf Leckstellen zu über-
prüfen.
Den Magneten an den hierfür vorgesehenen Bügel
der Pumpe mit den mitgelieferten Schrauben be-
festigen.
4 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG
Anschluss des Controllers
,GEFAHR!
Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und
von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell
tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbei-
ten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der
Masseanschluss vorschriftsgemäß ausgeführt ist.
Den Controller wie folgt an die Pumpe anschlie-
ßen:
1. Die Pumpe an den Masseanschluss des
Netzgerätes anschließen, wobei die Massean-
schlussfeder am Hochspannungsverbinder der
Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspan-
nungskabel angeschlossen wird. Bei den Ka-
beln, die mit einem Masseleiter versehen sind,
ist der Masseleiter an einen Masseanschluss-
punkt des Systems anzuschließen.
2. Das Netzgerät wird über sein Versorgungska-
bel an die Masse angeschlossen. Damit der
Stromkreis vollständig an die Masse ange-
schlossen ist, muss der dreipolige Stecker des
Versorgungskabels an eine geerdete Steckdo-
se angeschlossen sein. Es dürfen keine Adap-
tersteckdosen verwendet werden, die keine
Schließung des Erdungskreises zulassen.
FUNKTIONSWEISE
Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung in-
folge einer magnetisch abgegrenzten Entladung
(Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung
von ungefähr 3 kV angelegt, während die Katoden
an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales
Magnetfeld von ungefähr 1.200 Gauss verhindert,
dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. Ein
abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom Er-
dungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der
Vaclon Pumpe (mit dem installierten Magnet) ist die
Stromaufnahme proportional zum Druck (siehe
nachstehende Abbildung).
Druck-Stromstärke-Diagramm
Nachdem das System einen Druck unter 10-2 Torr
erreicht hat, ist es möglich, die Pumpe lediglich
durch Einschalten des Controllers zu starten. Der
Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch
den Controller erkenntlich.
ANMERKUNG
Bevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird,
sind stets mindestens 30 s nach Abschaltung der
Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kon-
densator des Netzgerätes entsprechend entladen
kann.
Bakeout
Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Ba-
sisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste
vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-
zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen.
Dieser Vorgang erfolgt unter Erwärmung der
Pumpe und aller Systemelemente.
1. Den Pumpenkorpus und das System mit ei-
nem Ofen oder Heizelementen auf eine Tem-
peratur zwischen 150 und 250°C erhitzen
(250°C ist die maximal zulässige Temperatur
vieler Hochspannungskabel). Diese Tempera-
tur ist ausreichend, um die Oberflächen der
Pumpe von Wasserdampf zu “entgasen”, ohne
den Magneten oder den Hochspannungsverb-
inder zu beschädigen. Es ist darauf zu achten,
dass die anderen Systemkomponenten der
Erwärmungstemperatur standhalten. Die Er-
wärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen
Oberflächen erfolgen, damit der Dampf nicht
an den kälteren Teilen kondensiert und das Er-
reichen hoher Vakuumwerte verhindert.
2. Den Controller eingeschaltet lassen und kon-
trollieren, dass der Druck nicht 5x10-5 Torr
(mbar) übersteigt. Falls dieser Wert überschrit-
ten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und
erneut einzuschalten, wenn der Unterdruckbe-
reich wieder hergestellt ist. Zur automatischen
Kontrolle der Heizgeräte und Druckwerte wäh-
rend der Erwärmung ist ein druckempfindli-
ches Relais zu benutzen.
3. Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von
mindestens 8 Stunden erwärmen. Längere
Erwärmzeiten sind erforderlich, wenn die
Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden
soll oder Höchstvakuumwerte (10-9 Torr
[mbar]) oder niedriger erreicht werden sollen.
4. Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des
Systems auf die Umgebungstemperatur muss
auch ein Druckabfall entstehen.
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