Agilent Technologies 9130037 User manual

Miniature and
2 l/s VacIon Pumps
Miniature Models:
913-0037 913-0038
913-0040 913-0041
913-0049 913-0050
Magnet: 913-0042
2 l/s Models:
913-0032 913-0034
913-0035 913-0045
913-0046 913-0047
913-0052 913-5000
Magnet: 913-0011
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
87-400-044-01 (D)
APRIL 2006
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.

Miniature pumps
2 l/s VacIon pumps

ISTRUZIONI PER L'USO
INFORMAZIONI DI SICUREZZA...................................................................................................1
INFORMAZIONI GENERALI..........................................................................................................1
INSTALLAZIONE ...........................................................................................................................1
Collegamento dell’unità di controllo.....................................................................................2
NOTE DI FUNZIONAMENTO ........................................................................................................2
Operazione di “bakeout” ......................................................................................................2
CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO ANOMALE ..........................................................................3
Bassa corrente.....................................................................................................................3
Alta corrente.........................................................................................................................3
BETRIEBSANLEITUNG
SICHERHEITSHINWEISE .............................................................................................................4
ALLGEMEINE HINWEISE .............................................................................................................4
INSTALLATION..............................................................................................................................4
Anschluss des Controllers ...................................................................................................5
FUNKTIONSWEISE.......................................................................................................................5
Bakeout................................................................................................................................5
BETRIEBSSTÖRUNGEN ..............................................................................................................6
Stromstärke zu niedrig.........................................................................................................6
Stromstärke zu hoch............................................................................................................6
INSTRUCTIONS D’UTILISATION
INFORMATIONS SUR LA SÉCURITÉ ..........................................................................................7
INDICATIONS GÉNÉRALES.........................................................................................................7
INSTALLATION..............................................................................................................................7
Branchement de l'unité de contrôle .....................................................................................8
NOTES DE FONCTIONNEMENT..................................................................................................8
Opération de “bakeout”........................................................................................................8
CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT ANORMALES................................................................9
Courant faible.......................................................................................................................9
Courant élevé.......................................................................................................................9
INSTRUCTIONS FOR USE
SAFETY INFORMATION.............................................................................................................10
GENERAL INFORMATION..........................................................................................................10
INSTALLATION............................................................................................................................10
Control unit connection ......................................................................................................11
OPERATING NOTES...................................................................................................................11
Bakeout Operation.............................................................................................................11
UNUSUAL OPERATING CONDITIONS......................................................................................12
Low current ........................................................................................................................12
High current .......................................................................................................................12

ISTRUZIONI PER L'USO
INFORMAZIONI DI SICUREZZA
Questa apparecchiatura è destinata ad uso pro-
fessionale. L'utilizzatore deve leggere attentamen-
te il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Varian prima
dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-
ne sollevata da eventuali responsabilità dovute al-
l'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad
uso improprio da parte di personale non addestra-
to, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario
alle normative nazionali specifiche.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'o-
peratore su una procedura o una pratica specifica
che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di
procedure che, se non osservate, potrebbero cau-
sare danni all'apparec-chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estra-
polate dal testo.
INFORMAZIONI GENERALI
Queste istruzioni contengono informazioni di base
per l’installazione e l’uso delle Pompe Miniature e
2 l/s VacIon.
La seguente tabella elenca i modelli disponibili:
MODELLO P/N
Miniature
Con tubo in rame 180° 913-0037
Con tubo in rame 90° 913-0040
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”
OD 180°
913-0038
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8”
OD 90°
913-0041
Con tubo in rame da 3/8” OD 180°,
preparata sotto vuoto
913-0049
Con tubo in rame da 3/8” OD 90°,
preparata sotto vuoto
913-0050
Magnete in Alnico 913-0042
2 l/s
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 180°
913-0032
Con tubo in Kover-glass da 3/4” OD 913-0034
Con tubo in rame da 3/4” OD 180°,
preparata sotto vuoto
913-0035
Con tubo in acciaio inossidabile corto
da 3/4” OD
913-0047
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 180°, preparata sotto vuoto
913-0045
MODELLO P/N
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4”
OD 90° a T
913-0046
Con tubo in rame OFHC da 3/4” OD 913-0052
Con flangia 1 1/3” CF 180° preparata
sotto vuoto
913-5000
Magnete in Alnico 913-0011
Il sistema di pompaggio completo comprende La
pompa VacIon, il suo magnete, ed un alimentato-
re. Queste pompe VacIon funzionano sul principio
getter nel campo da 10-3 Torr a meno di 10-9 Torr.
Per portare il sistema dalla pressione a meno di
10-3 Torr, è necessaria una pompa di pre-vuoto.
La pompa deve essere alimentata tramite una ten-
sione positiva di 3000-3500 Volt (a circuito aperto).
La corrente di alimentazione e quella di corto cir-
cuito fornita dall’alimentatore devono corrisponde-
re alla corrente assorbita dalla pompa alla sua
massima pressione di esercizio.
INSTALLAZIONE
Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il
sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che
saranno sotto vuoto. Quando la pompa è aperta
all’aria, far attenzione a non introdurre particelle
estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi
sostanza volatile. Pulire accuratamente il sistema
prima del collegamento della pompa. Una pulizia
del sistema del vuoto con prodotti chimici sarebbe
il metodo più completo; tuttavia non utilizzarlo
quando sono presenti cavità e fessure che impedi-
scano il risciacquo
Normalmente è sufficiente uno sgrassaggio con
acetone o metanolo ed un successivo risciacquo
con acqua.
Per ottenere la massima velocità di pompaggio
collegare la pompa al sistema con un tubo il più
corto ed il più largo possibile.
Per lavorazioni in ultra vuoto, le giunzioni devono
essere saldate con gas inerte (TIG), brasate con
idrogeno o sotto vuoto.
Le guarnizioni nel sistema devono essere di metal-
lo morbido tipo rame ricotto, alluminio o oro.
Dopo che la pompa è stata sigillata nel sistema,
ricontrollare che l’intero sistema non presenti per-
dite.
Fissare il magnete alla relativa staffa della pompa
tramite le viti in dotazione.
1 87-400-085-01(D)

ISTRUZIONI PER L'USO
Collegamento dell’unità di controllo
,PERICOLO!
Le tensioni generate dall’unità di controllo ed uti-
lizzate dalle pompe VacIon sono potenzialmente
letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il
collegamento di massa sia realizzato correttamen-
te.
Collegare l’unità di controllo alla pompa come se-
gue:
1. Collegare la pompa alla massa
dell’alimentatore sistemando la molletta di
massa sul passante della pompa prima di col-
legare il cavo di alta tensione. Con i cavi prov-
visti di filo di massa, collegare il filo di massa
ad una massa del sistema.
2. L’alimentatore si collega a massa attraverso il
suo cavo di alimentazione. Perciò, per assicu-
rare un circuito completamente collegato a
massa, la spina a tre poli del cavo di alimenta-
zione deve essere inserita in una presa con
collegamento di terra. Non utilizzare prese di
adattamento che non permettano la chiusura
del circuito di terra.
NOTE DI FUNZIONAMENTO
Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas me-
diante una scarica confinata magneticamente (cella
Penning). Una tensione di circa 3 kV viene applicata
all’anodo mentre i catodi sono mantenuti a massa.
Un campo magnetico assiale di circa 1200 gauss
impedisce che gli elettroni giungano direttamente
all’anodo. Un isolante schermato isola l’anodo dal
potenziale di terra. Nel funzionamento corretto della
pompa VacIon (con il magnete installato), la corren-
te assorbita è proporzionale alla pressione (vedere
la figura seguente).
Curva pressione-corrente
Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione
inferiore ai 10-2 Torr, si può avviare la pompa
semplicemente accendendo l’unità di controllo.
L’avvio della pompa viene indicato dalla presenza
di un assorbimento di corrente da parte dell’unità
di controllo.
NOTA
Prima di scollegare il cavo dell’alimentatore atten-
dere sempre almeno 30 secondi dallo spegnimen-
to dell’alta tensione in modo da permettere che il
condensatore dell’alimentatore si scarichi adegua-
tamente.
Operazione di “bakeout”
Quando una pompa VacIon non raggiunge la
pressione base desiderata e non ci sono perdite, è
necessario eseguire un “bakeout” del sistema per
eliminare il vapore acqueo. Questa operazione
viene eseguita riscaldando la pompa e tutti gli e-
lementi del sistema.
1. Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per
mezzo di un forno o elementi riscaldanti ad una
temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C è la
massima temperatura sopportata da molti cavi
di alta tensione). Questa temperatura è abba-
stanza elevata in modo da “degassare” le su-
perfici della pompa dal vapore acqueo senza
danneggiare il magnete ed il connettore
dell’alta tensione. Occorre fare attenzione che
gli altri componenti del sistema sopportino la
temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento
deve essere il più possibile uniforme su tutte le
superfici per evitare che il vapore si ricondensi
sulle parti più fredde impedendo così il rag-
giungimento di valori elevati di vuoto.
2. Lasciare accesa l’unità di controllo e controllare
che la pressione non superi il valore di 5x10-5
Torr (mbar). Nel caso in cui si superi il suddetto
valore, occorre spegnere il riscaldatore e riac-
cenderlo quando si è ripristinata la bassa pres-
sione. Per controllare i riscaldatori ed i valori di
pressione in modo automatico durante il riscal-
damento, occorre utilizzare un relè sensibile al-
la pressione.
3. Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore.
Periodi più lunghi di riscaldamento sono ne-
cessari quando la pompa deve essere usata
con carichi di gas pesanti, o quando si deside-
rano valori di vuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o
inferiori.
4. A mano a mano che la pompa ed il sistema ri-
tornano alla temperatura ambiente, si deve os-
servare un abbassamento della pressione.
2 87-400-085-01(D)

ISTRUZIONI PER L'USO
5. Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche
c’è anche la possibilità del loro impiego per
processare sotto vuoto altri componenti. Poichè
il passante di alta tensione può sopportare un
numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a
400°C), si raccomanda di limitare tali cicli al
minimo possibile, per aumentare la durata di vi-
ta della pompa stessa.
CONDIZIONI DI FUNZIONAMENTO
ANOMALE
Bassa corrente
Se il valore di corrente letto è inferiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), la scarica si potrebbe
essere fermata.
Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere
il magnete ed osservare la corrente residua. Se la
corrente non cambia con e senza il magnete, non
è in corso alcuna scarica nella pompa.
a) Per riavviare la scarica, colpire il corpo pompa
con un attrezzo di plastica morbida, o riscal-
darlo localmente con un piccolo saldatore. In
questo modo si libera del gas dalla superficie
all’interno della pompa e la scarica dovrebbe
riprendere. NON COLPIRE MAI la pompa con
un attrezzo metallico.
b) Se il campo magnetico scende sotto il suo va-
lore di targa, la scarica della pompa e la velo-
cità si ridurranno e la scarica potrebbe
spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7
Torr.
Alta corrente
Se il valore di corrente letto è superiore a quello
normale per quel dato valore di pressione (vedere
il diagramma precedente), controllare quanto se-
gue:
a) Che il cavo dell’alta tensione non sia in corto
circuito. Riparare o sostituire.
b) Che non ci sia una dispersione all’interno
dell’unità di controllo. Riparare secondo quanto
indicato sul relativo manuale.
c) Che non ci sia un corto circuito sugli isolatori
di supporto dell’anodo causato da frammenti di
film di Titanio. Colpire la pompa come descrit-
to al passo a) del paragrafo precedente po-
trebbe porre rimedio a questa situazione.
d) Che non ci sia una emissione di corrente da “pun-
te” che si siano formate sui catodi. Applicare alla
pompa una tensione tra 10 e 14 kVac con una
corrente tra 20 e 30 mA per 5 - 20 secondi per
bruciare le “punte”.
e) Che non ci siano rivestimenti di film metallici
conduttori sugli isolatori a causa di un funzio-
namento sopra i 10-2 Torr per elevati periodi di
tempo. Poiché non è possibile smontare la
pompa, questa condizione è causa di una limi-
tazione del tempo di vita della pompa. Evitare di
usare la pompa ad alte pressioni per lunghi pe-
riodi.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle eti-
chette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottempe-
ranza alla direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul qua-
le è applicato, NON deve essere smaltito insieme
ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve
essere avviato ad un sistema di raccolta differen-
ziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il forni-
tore del dispositivo, sia esso la casa madre o un
rivenditore, per avviare il processo di raccolta e
smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
3 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG
SICHERHEITSHINWEISE
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch
bestimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer die-
ses Handbuch sowie alle weiteren von Varian mit-
gelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der
einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt
Firma Varian keinerlei Haftung.
In diesem Handbuch werden bestimmte Textstel-
len wie folgt hervorgehoben:
,GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise richten die Aufmerksamkeit
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Personenschä-
den zur Folge haben könnte.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren
machen darauf aufmerksam, dass bei Nichteinhal-
tung Schäden am Gerät entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informatio-
nen, die aus dem Text hervorgehoben werden.
ALLGEMEINE HINWEISE
Diese Anweisungen enthalten Grundinformationen
zur Installation und zum Gebrauch von Vaclon
Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.
In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle
aufgeführt:
MODELL P/N
Miniature
Mit Rohr in Kupfer 180° 913-0037
Mit Rohr in Kupfer 90° 913-0040
Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 180° 913-0038
Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 90° 913-0041
Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 180°, mit Vor-
vakuum
913-0049
Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 90, mit Vorva-
kuum
913-0050
Magnet in Alnico 913-0042
2 l/s
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180° 913-0032
Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD 913-0034
Mit Rohr in Kupfer 3/4” OD 180°, mit Vor-
vakuum
913-0035
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180°, mit
Vorvakuum
913-0045
Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 90° T-
Anschluss
913-0046
MODELL P/N
Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4” OD 913-0047
Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4” OD 913-0052
Mit Flansch 1 1/3” CF 180°, mit Vorvaku-
um
913-5000
Magnet in Alnico 913-0011
Das komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon
Pumpe, deren Magneten und ein Netzgerät. Diese
Vaclon Pumpen arbeiten nach dem Getterprinzip
im Bereich von 10-3 Torr bis unter 10-9 Torr. Um
das System auf unter 10-3 Torr zu bringen, ist eine
Vorvakuumpumpe erforderlich.
Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000-
3.500 Volt (im offenen Schaltkreis) zu versorgen.
Die Versorgungsspannung und die vom Netzgerät
gelieferte Kurzschlussspannung sollen der Strom-
aufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Ar-
beitsdruck entsprechen.
INSTALLATION
Bei der Installation sind die Pumpe und das Sys-
tem sauber zu halten. Die Berührung von Oberflä-
chen, die unter Vakuum sein werden, ist zu
vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist
darauf zu achten, dass keine Schmutzpartikel, Öl,
Lötflussmittel oder flüchtige Substanzen eindrin-
gen. Vor Anschluss der Pumpe ist das System
gründlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vaku-
umsystems mit chemischen Produkten wäre hier-
bei die beste Methode; sie sollte allerdings nicht
bei Vorhandensein von Hohlräumen und Spalten
angewendet werden, die das Ausspülen verhin-
dern.
In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Me-
thanol und das anschließende Spülen mit Wasser
ausreichend.
Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzie-
len, ist die Pumpe über eine möglichst kurze und
breite Leitung an das System anzuschließen.
Für den Höchstvakuumbetrieb sollen die Verbin-
dungen mit Inertgas geschweißt (WIG) und was-
serstoff- oder vakuumgelötet sein.
Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall
wie geglühtes Kupfer, Aluminium oder Gold sein.
Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde,
ist das gesamte System auf Leckstellen zu über-
prüfen.
Den Magneten an den hierfür vorgesehenen Bügel
der Pumpe mit den mitgelieferten Schrauben be-
festigen.
4 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG
Anschluss des Controllers
,GEFAHR!
Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und
von Vaclon Pumpen genutzt werden, sind potenziell
tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beim Arbei-
ten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der
Masseanschluss vorschriftsgemäß ausgeführt ist.
Den Controller wie folgt an die Pumpe anschlie-
ßen:
1. Die Pumpe an den Masseanschluss des
Netzgerätes anschließen, wobei die Massean-
schlussfeder am Hochspannungsverbinder der
Pumpe anzubringen ist, bevor das Hochspan-
nungskabel angeschlossen wird. Bei den Ka-
beln, die mit einem Masseleiter versehen sind,
ist der Masseleiter an einen Masseanschluss-
punkt des Systems anzuschließen.
2. Das Netzgerät wird über sein Versorgungska-
bel an die Masse angeschlossen. Damit der
Stromkreis vollständig an die Masse ange-
schlossen ist, muss der dreipolige Stecker des
Versorgungskabels an eine geerdete Steckdo-
se angeschlossen sein. Es dürfen keine Adap-
tersteckdosen verwendet werden, die keine
Schließung des Erdungskreises zulassen.
FUNKTIONSWEISE
Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung in-
folge einer magnetisch abgegrenzten Entladung
(Penning-Zelle). An die Anode wird eine Spannung
von ungefähr 3 kV angelegt, während die Katoden
an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales
Magnetfeld von ungefähr 1.200 Gauss verhindert,
dass die Elektronen direkt zur Anode gelangen. Ein
abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom Er-
dungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der
Vaclon Pumpe (mit dem installierten Magnet) ist die
Stromaufnahme proportional zum Druck (siehe
nachstehende Abbildung).
Druck-Stromstärke-Diagramm
Nachdem das System einen Druck unter 10-2 Torr
erreicht hat, ist es möglich, die Pumpe lediglich
durch Einschalten des Controllers zu starten. Der
Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch
den Controller erkenntlich.
ANMERKUNG
Bevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird,
sind stets mindestens 30 s nach Abschaltung der
Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kon-
densator des Netzgerätes entsprechend entladen
kann.
Bakeout
Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Ba-
sisdruck nicht erreicht und keine Druckverluste
vorhanden sind, ist ein Bakeout des Systems aus-
zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen.
Dieser Vorgang erfolgt unter Erwärmung der
Pumpe und aller Systemelemente.
1. Den Pumpenkorpus und das System mit ei-
nem Ofen oder Heizelementen auf eine Tem-
peratur zwischen 150 und 250°C erhitzen
(250°C ist die maximal zulässige Temperatur
vieler Hochspannungskabel). Diese Tempera-
tur ist ausreichend, um die Oberflächen der
Pumpe von Wasserdampf zu “entgasen”, ohne
den Magneten oder den Hochspannungsverb-
inder zu beschädigen. Es ist darauf zu achten,
dass die anderen Systemkomponenten der
Erwärmungstemperatur standhalten. Die Er-
wärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen
Oberflächen erfolgen, damit der Dampf nicht
an den kälteren Teilen kondensiert und das Er-
reichen hoher Vakuumwerte verhindert.
2. Den Controller eingeschaltet lassen und kon-
trollieren, dass der Druck nicht 5x10-5 Torr
(mbar) übersteigt. Falls dieser Wert überschrit-
ten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und
erneut einzuschalten, wenn der Unterdruckbe-
reich wieder hergestellt ist. Zur automatischen
Kontrolle der Heizgeräte und Druckwerte wäh-
rend der Erwärmung ist ein druckempfindli-
ches Relais zu benutzen.
3. Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von
mindestens 8 Stunden erwärmen. Längere
Erwärmzeiten sind erforderlich, wenn die
Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden
soll oder Höchstvakuumwerte (10-9 Torr
[mbar]) oder niedriger erreicht werden sollen.
4. Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des
Systems auf die Umgebungstemperatur muss
auch ein Druckabfall entstehen.
5 87-400-085-01(D)

BETRIEBSANLEITUNG
5. Zu den verschiedenen Einsatzmöglichkeiten
der Ionenpumpen zählt auch die Vakuumer-
zeugung in anderen Komponenten. Da Hoch-
spannungsverbinder nur einer begrenzten
Anzahl von Erwärmungszyklen (bis zu 400°C)
standhalten, sollten diese Zyklen auf ein Min-
destmaß beschränkt werden, um die Standzeit
der Pumpe zu verlängern.
BETRIEBSSTÖRUNGEN
Stromstärke zu niedrig
Wenn die angezeigte Stromstärke unter dem
Normwert für den betreffenden Druck liegt (siehe
vorhergehendes Diagramm), könnte die Entladung
gestoppt sein.
Um zu überprüfen, ob die Entladung gestoppt ist,
ist der Magnet zu entfernen und die Reststrom-
stärke zu beobachten. Wenn die Stromstärke sich
weder mit noch ohne Magneten verändert, findet
keine Pumpenentladung statt.
a) Zur erneuten Entladungsaktivierung, ist mit ei-
nem weichen Kunststoffwerkzeug gegen den
Pumpenkorpus zu schlagen oder der Pum-
penkorpus lokal mit einem kleinen Schweißge-
rät zu erhitzen. Auf diese Weise löst sich Gas
von den Innenflächen der Pumpe und müsste
die Entladung wieder aufgenommen werden.
Gegen die Pumpe darf NIEMALS mit einem
metallenen Werkzeug GESCHLAGEN wer-
den.
b) Wenn das Magnetfeld unter den Kennschild-
wert sinkt, verringern sich die Pumpenentla-
dung und –geschwindigkeit, hierbei könnte die
Entladung bei einem Druck unter 1x10-7 Torr
aussetzen.
Stromstärke zu hoch
Wenn die angezeigte Stromstärke über dem
Normwert für den betreffenden Druck liegt (siehe
vorhergehendes Diagramm), sind folgende Kon-
trollen auszuführen:
a) Das Hochspannungskabel darf nicht kurzge-
schlossen sein. Reparieren oder auswechseln.
b) Im Controller darf kein Leckstrom vorhanden
sein. Gemäß der Angaben aus dem diesbezüg-
lichen Handbuch reparieren.
c) An den Hilfsisolatoren der Anode darf kein
Kurzschluss durch Titanfolienteile anliegen.
Wie unter Schritt a) des vorhergehenden Ab-
schnitts gegen die Pumpe schlagen, was die-
ses Problem beheben könnte.
d) Es darf keine Stromabgabe durch “Spitzen”
erfolgen, die sich an den Katoden gebildet ha-
ben. An die Pumpe eine Spannung zwischen
10 und 14 kVAC mit einer Stromstärke zwi-
schen 20 und 30 mA über einen Zeitraum von
5–20 s anlegen, um die “Spitzen” abzubren-
nen.
e) An den Isolatoren dürfen keine Metallfilmbelä-
ge vorhanden sein, die infolge eines längeren
Betriebs bei einem Druck über 10-2 Torr ent-
stehen. Da die Pumpe nicht demontiert wer-
den kann, bewirkt dies eine kürzere Standzeit
des Gerätes. Die längerfristige Benutzung der
Pumpen bei hohen Drücken ist zu vermeiden.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiket-
ten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit
der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and E-
lectronic Equipment) angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig)
zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zu-
sammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf
sondern einem speziellen Sammelsystem zuge-
führt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten
des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den
Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsor-
gungsprozess zu starten, nachdem er die Ver-
kaufsbedingungen geprüft hat.
6 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS D’UTILISATION
INFORMATIONS SUR LA SÉCURITÉ
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisa-
tion professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur
de lire attentivement cette notice d'instructions
ainsi que toute autre indication fournie par Varian
avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non-
respect total ou partiel des instructions fournies,
d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'un
emploi contraire aux réglementations nationales
spécifiques.
Cette notice utilise les signes conventionnels sui-
vants:
,DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de
l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre
spéciale dont la mauvaise exécution risque de
provoquer de graves lésions au personnel.
ATTENTION
Les messages d'attention apparaissent avant cer-
taines procédures dont le non-respect peut en-
dommager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements impor-
tants, extrapolés du texte.
INDICATIONS GÉNÉRALES
Ces instructions contiennent des informations de
base pour l'installation et l'utilisation des pompes
miniature et 2 l/s Vaclon. Le tableau ci-dessous
énumère les modèles disponibles :
MODÈLE P/N
Miniature
Avec tuyau en cuivre 180° 913-0037
Avec tuyau en cuivre 90° 913-0040
Avec tuyau en acier inoxydable de 3/8”
ØE 180°
913-0038
Avec tuyau en acier inoxydable de 3/8”
ØE 90°
913-0041
Avec tuyau en cuivre de 3/8” ØE 180°,
préparée sous vide
913-0049
Avec tuyau en cuivre de 3/8” ØE 90°,
préparée sous vide
913-0050
Aimant en Alnico 913-0042
2 l/s
Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4”
ØE 180°
913-0032
Avec tuyau en Kover-glass 3/4” ØE 913-0034
Avec tuyau en cuivre de 3/4” ØE 180°,
préparée sous vide
913-0035
Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4”
ØE 180°, préparée sous vide
913-0045
MODÈLE P/N
Avec tuyau en acier inoxydable de 3/4”
ØE 90° en T
913-0046
Avec tuyau courte en acier inoxydable de
3/4” ØE
913-0047
Avec tuyau en cuivre OFHC de 3/4” ØE 913-0052
Avec flasque 1 1/3” CF 180° préparée
sous vide
913-5000
Aimant en Alnico 913-0011
Le système de pompage complet comprend : la
pompe Vaclon, son aimant et un alimentateur.
Cette pompe Vaclon fonctionne sur le principe get-
ter dans une plage de 10-3 Torr à moins de 10-9
Torr. Pour porter le système de la pression à
moins de 10-3 Torr, il est nécessaire de disposer
d'une pompe de pré-vide.
La pompe doit être alimentée avec une tension
positive de 3000-3500 Volts (à circuit ouvert). Le
courant d'alimentation et le courant de court-circuit
fournis par l'alimentateur doivent correspondre au
courant absorbé par la pompe à sa pression
d'exercice maximum.
INSTALLATION
Pendant l'installation, maintenir la pompe et le sys-
tème propres. Éviter de toucher les parties qui se-
ront sous-vide. Lorsque la pompe est ouverte à
l'air libre, faire attention de ne pas y introduire de
particules étrangères, huile, fondant de soudage
ou toute autre substance volatile. Nettoyer soi-
gneusement le système avant le montage de la
pompe. Un nettoyage du système du vide à l'aide
de produits chimiques serait la méthode la plus
complète. Il est cependant conseillé de ne pas
l'utiliser en présence de cavités ou de fissures
empêchant le rinçage.
Normalement un dégraissage à l'acétone ou au
méthanol suivis d'un rinçage à l'eau sont suffi-
sants.
Pour atteindre la vitesse maximale de pompage,
relier la pompe au système à l'aide du tuyau le
plus court et le plus large possible.
Pour les opérations sous vide ultra poussé, les
joints doivent être soudés au gaz inerte (TIG), et
soumis à un brasage à l'hydrogène ou sous-vide.
Les joints du système doivent être en métal souple
de type cuivre recuit, aluminium ou or.
Après le scellage de la pompe dans le système,
recontrôler que l'ensemble ne présente aucune
fuite.
Fixer l'aimant à la bride de la pompe à l'aide des
vis fournies.
7 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS D’UTILISATION
Branchement de l'unité de contrôle
,DANGER!
Les tensions générées par l'unité de contrôle et
utilisées par les pompes Vaclon sont potentielle-
ment mortelles. Pour opérer en toute sécurité, vé-
rifier que le branchement à la masse soit
correctement réalisé.
Relier l'unité de contrôle à la pompe en opérant de
la façon suivante :
1. Relier la pompe à la masse de l'alimentateur en
plaçant la molette de masse sur le passant de la
pompe avant de brancher le câble de haute ten-
sion. En présence de câbles pourvus d'un fil de
masse, celui-ci doit être relié à une masse du
système.
2. L'alimentateur se relie à la masse par son câ-
ble d'alimentation. Pour garantir un circuit en-
tièrement relié à la masse, la fiche à trois pôles
du câble d'alimentation doit être introduire
dans une prise avec liaison à la terre. Ne pas
utiliser de prise d'adaptation qui ne permettent
pas la fermeture du circuit de terre.
NOTES DE FONCTIONNEMENT
Les pompes Vaclon fonctionnent en ionisant le gaz à
travers une décharge confinée magnétiquement
(cellule Penning). Une tension d'environ 3 kV est ap-
pliquée à l'anode alors que les cathodes sont main-
tenues à la masse. Un champ magnétique axial
d'environ 1200 gauss empêche que les électrons
arrivent directement à l'anode. Un isolant blindé isole
l'anode du potentiel de terre. Dans le fonctionnement
correct de la pompe Vaclon, (avec aimant installé),
le courant absorbé est proportionnel à la pression
(voir figure suivante).
Courbe pression - courant
Après que le système a atteint une pression infé-
rieure à 10-2 Torr, il est possible de démarrer la
pompe en allumant simplement l'unité de contrôle.
La mise en marche de la pompe est signalée par
la présence d'une absorption de courant par l'unité
de contrôle.
NOTE
Avant de débrancher le câble de l'alimentateur, tou-
jours attendre au moins 30 secondes après la cou-
pure de la haute tension de façon à permettre au
condensateur de l'alimentateur de se décharger
correctement.
Opération de “bakeout”
Lorsqu'une pompe VacIon n'atteint pas la pression
de base désirée et qu'il n'y a aucune fuite, il est
nécessaire de procéder à un "bakeout" du sys-
tème afin d'éliminer la vapeur d'eau. Cette opéra-
tion est effectuée en chauffant la pompe et tous
les éléments du système.
1. Réchauffer le corps de la pompe et le système
à l'aide d'un four ou éléments chauffants à une
température comprise entre 150 et 250°C
(250°C est la température maximum supportée
par de nombreux câbles de haute tension).
Cette température est suffisamment élevée
pour "dégazer" les surfaces de la pompe de la
vapeur d'eau sans endommager l'aimant et le
connecteur de haute tension. Faire attention
que les autres composants du système sup-
portent la température de chauffage. Le chauf-
fage doit être le plus uniforme possible sur
toutes les superficies pour éviter que la vapeur
ne se re-condense sur les parties plus froides,
empêchant d'atteindre les valeurs de vide éle-
vées.
2. Laisser l'unité de contrôle allumée et contrôler
que la pression ne dépasse pas la valeur de
5x10-5 Torr (mbar). En cas de dépassement de
ladite valeur, éteindre l'appareil de chauffage
et le rallumer lorsque la basse pression est ré-
tablie. Pour contrôler les appareils de chauf-
fage et les valeurs de pression en mode
automatique pendant le chauffage, utiliser un
relais sensible à la pression.
3. Chauffer la pompe Vaclon pendant 8 heures
minimum. Une période de chauffage plus lon-
gue est nécessaire lorsque la pompe doit être
utilisée avec de fortes charges de gaz ou lors-
que l'on désire des valeurs de vide poussé très
élevées (10-9 Torr [mbar]) ou inférieures.
4. Au fur et à mesure que la pompe et le système
retournent à la température ambiante, on doit
noter un abaissement de la pression.
8 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS D’UTILISATION
5. Les pompes ioniques offrent de nombreuses
applications. Elles permettent même la prépa-
ration sous-vide d'autres composants. Le pas-
sant de haute tension pouvant supporter un
nombre limité de cycles de chauffage (jusqu'à
400°C) il est conseillé de limiter ces cycles le
plus possible pour augmenter la durée de vie
de la pompe.
CONDITIONS DE FONCTIONNEMENT
ANORMALES
Courant faible
Si la valeur de courant lue est inférieure à la valeur
normale pour la valeur de pression corres-
pondante (voir diagramme précédent), cela peut
être dû à une interruption de la décharge.
Pour vérifier s'il y a eu une interruption de la dé-
charge, retirer l'aimant et observer le courant rési-
duel. Si le courant n'est pas modifié par le retrait
de l'aimant, aucune décharge n'est en cours dans
la pompe.
a) Pour réamorcer la décharge, frapper le corps
de la pompe à l'aide d'un outil en plastique
souple ou le réchauffer localement à l'aide
d'un fer à souder. On libère ainsi du gaz de la
superficie à l'intérieur de la pompe et la dé-
charge devrait alors reprendre. NE JAMAIS
frapper la pompe à l'aide d'un outil métallique.
b) Si le champ magnétique descend en dessous
de la valeur indiquée sur la plaquette, la dé-
charge de la pompe et la vitesse se réduiront
et la décharge pourrait s'éteindre à une pres-
sion inférieure à 1x10-7 Torr.
Courant élevé
Si la valeur de courant lue est supérieure à la va-
leur normale pour la valeur de pression corres-
pondante (voir diagramme précédent), contrôler
que :
a) Le câble de haute tension ne soit pas en
court-circuit. Réparer ou remplacer.
b) Il n'y ait aucune dispersion à l'intérieur de l'unité
de contrôle. Réparer selon les indications de la
notice correspondante.
c) Il n'y ait pas de court-circuit sur les isolateurs
de support de l'anode causé par des frag-
ments de film de titane. Frapper la pompe
comme décrit au point a) du paragraphe pré-
cédent. Le problème pourrait se résoudre ain-
si.
d) Il n'y ait pas d'émission de courant sur les pointes
formées sur les cathodes. Appliquer à la pompe
une tension entre 10 et 14 kVca avec un courant
entre 20 et 30 mA pendant 5-20 secondes pour
brûler les pointes.
e) Il n'y ait pas de revêtements de films métalliques
conducteurs sur les isolateurs suite à un fonc-
tionnement supérieur à 10-2 Torr pendant des
périodes prolongées. La pompe ne pouvant être
démontée, cette condition entraînerait une dimi-
nution de la durée de vie de la pompe. Éviter
d'utiliser la pompe à hautes pressions pendant
des périodes prolongées.
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les
étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément
à la directive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays
de la Communauté européenne) indique que le
produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être
mis au rebut avec les ordures ménagères ou les
déchets industriels ordinaires, mais passer par un
système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du
contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de
contacter le fournisseur du dispositif, maison mère
ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus
de collecte et mise au rebut.
9 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS FOR USE
SAFETY INFORMATION
This equipment is destined for use by profession-
als. The user should read this instruction manual
and any other additional information supplied by
Varian before operating the equipment. Varian will
not be held responsible for any events occurring
due to non-compliance, even partial, with these
instructions, improper use by untrained persons,
non-authorized interference with the equipment or
any action contrary to that provided for by specific
national standards.
This manual uses the following standard protocol:
,WARNING!
The warning messages are for attracting the atten-
tion of the operator to a particular procedure or
practice which, if not followed correctly, could lead
to serious injury.
CAUTION
The caution messages are displayed before pro-
cedures which, if not followed, could cause dam-
age to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken
from the text.
GENERAL INFORMATION
These instructions contain basic information for
installing and operating miniature and 2 l/s VacIon
Pumps.
The available models are detailed in the following
table:
MODEL P/N
Miniature
With 180° Copper Tube 913-0037
With 90° Copper Tube 913-0040
With 3/8” OD 180° Stainless Steel Tube 913-0038
With 3/8” OD 90° Stainless Steel Tube 913-0041
With 3/8” OD 180° Copper Tube, vacuum
proc.
913-0049
With 3/8” OD 90° Copper Tube, vacuum
proc.
913-0050
Alnico magnet 913-0042
2 l/s
With 3/4” OD 180° Stainless Steel Tube 913-0032
With 3/4” OD Kover-glass Tube 913-0034
With 3/4” OD 180° Copper Tube, vacuum
proc.
913-0035
With 3/4” OD 180° Stainless Steel Tube,
vacuum processed
913-0045
With 3/4” OD 90° Stainless Steel Tube,
Tee style
913-0046
MODEL P/N
With 3/4” OD 180° Stainless Steel Short
Tube
913-0047
With 3/4” OD OFHC Copper Tube 913-0052
With 1 1/3” CFF 180° vacuum processed 913-5000
Alnico magnet 913-0011
The complete pumping system consists of the Va-
cIon pump, its magnet, and a power supply. These
VacIon pump is a pump which operates on the
principle of ion gettering in the pressure range
from 10-3 Torr to less than 10-9 Torr. A roughing
pump is needed to lower the system pressure from
atmosphere to below 10-3 Torr.
The pump should be powered by a positive volt-
age of 3000-3500 Volt (open circuit), direct current
supply and the short circuit current of the control
unit should match the current drawn by the pump
at its maximum operating pressure.
INSTALLATION
During installation, keep the pump and system
clean. Avoid touching surfaces which will ulti-
mately be under vacuum. When the VacIon pump
is open to the atmosphere, take care to avoid in-
troducing foreign particles, oil, solder flux, or any
volatile substances. Before attaching the pump,
clean the system thoroughly. Chemical cleaning is
the most complete cleaning method for the vac-
uum system; however, do not attempt it when
pockets and crevices exist that will prevent thor-
ough rinsing. Degreasing with an acetone or
methanol followed by water-rinsing is usually suffi-
cient.
To achieve maximum pumping speed, connect the
pump to the system with a tube that has the short-
est length and the largest diameter possible.
For ultrahigh vacuum work, joints should be tung-
sten inert gas welded, hydrogen brazed, or vac-
uum brazed. Do not use flux in making joints for
ultrahigh vacuum.
Gaskets in the system should be of soft metal
such as annealed copper, aluminium, or gold.
After the pump is sealed in place, leak-check the
entire system.
Assemble the magnet to the pump magnet bracket
with the mounting screws that are provided.
10 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS FOR USE
Control unit connection
,WARNING!
Voltage delivered by control units used with the
VacIon pumps are potentially lethal. To operate
the pump safely ensure that grounding connection
is correctly made.
Connect the control unit to the pump as follows:
1. Ground the pump to the power supply by plac-
ing the ground spring over the pump insulator
before attaching the high voltage lead. On ca-
bles with ground leads, attach the ground lead
to a ground lug on the system.
2. The power supply, in turn, is grounded through
its power lead. Therefore, to ensure a com-
pletely grounded circuit, the three-prong plug
on the power supply cord must be inserted in a
socket that has a ground connection. Do not
use socket convertors that prevent the comple-
tion of this ground circuit.
OPERATING NOTES
VacIon pumps operate as a multiple-cell Penning
discharge. A potential of about 3 kV is applied to
the anode cell; the cathodes are at ground poten-
tial. Electrons are constrained from going directly
to the anode by the presence of an axial magnetic
field of about 1200 gauss. A self-shielding insula-
tor isolates the anode from ground potential. When
the VacIon pump is operating properly (with mag-
net installed), the current drawn is proportional to
pressure (see the following figure).
Pressure versus current curve
After the system is rough-pumped to below 10-2
Torr, the pump can be started by simply switching
on the VacIon pump control unit. A current draw
on the control unit will indicate that the pump dis-
charge has started.
NOTE
Always wait at least 30 seconds after turning off
the high voltage switch before disconnecting the
power supply leads. This should allow the power
supply output capacitor to discharge adequately.
Bakeout Operation
When a VacIon pump does not reach the desired
base pressure, and there are no leaks, it is neces-
sary to bake the system to remove water vapour.
This is done by heating the pump and all the com-
ponents in the system.
1. Heat the pump body and the system with a
bakeout oven unit or heating strips to tempera-
tures between 150 °C and 250 °C (250 °C is
the maximum allowable for most bakeable high
voltage cables). This temperature is high
enough to degas the pump surfaces of water
vapour without damaging the magnet and high
voltage connector. Note that the system com-
ponents must be compatible with the bakeout
temperature. The heating must be approxi-
mately even on all vacuum surfaces or water
vapour can recondence on the cooler surfaces
preventing achievement of UHV vacuum pres-
sures.
2. Leave the pump control unit on and monitor
the pressure. It must never increase above
5x10-5 Torr (mbar); if this value is exceeded,
turn the bakeout off and then on again when
low pressure is restored.
To control the heaters and to monitor to high
pressure limit during bakeaout in automatic
mode, a pressure-sensitive relay may be used.
3. Bake the VacIon pump for at least eight hours.
Longer bakeout periods are recommended
when the pump has been used with heavy gas
load or when UHV pressure, 10-9 Torr (mbar)
or less is desired.
4. As the pump and system cool down to room
temperature, a drop in pressure should be ob-
served.
5. Since VacIon pumps can be used in many dif-
ferent applications, some are being used suc-
cessfully in vacuum processing. The high
voltage feedthrough on the VacIon pump, can
stand a limited number of high temperature
bakeout cycles (to +400°C). Hence, Varian
recommends only a few high temperature
bakeouts to +400°C.
11 87-400-085-01(D)

INSTRUCTIONS FOR USE
UNUSUAL OPERATING CONDITIONS
Low current
If the pump current reads lower than normal for the
pressure (see the preceding figure), the discharge
may have been extinguished.
To check for the pump being "out of strike" (dis-
charge extinguished), remove the magnet and ob-
serve the residual current. If the current is the
same with and without the magnet in place, no
discharge exists in the pump.
a) To restart the discharge, tap the pump body
with a soft plastic tool, or heat the pump body
locally with a small soldering iron. This should
liberate surface gas within the pump and re-
start the discharge. NEVER strike the pump
with metal hand tools.
b) If the magnet strength is below its rated level,
the pump discharge and speed will be reduced
and the discharge may extinguish at a pres-
sure below 1x10-7 Torr.
High current
If the pump current reads higher than normal for
the pressure (see the preceding figure), look for:
a) Breakdown of the connecting high-voltage ca-
ble. Repair or replace.
b) Ohmic breakdown in the control unit. Repair
according to the control unit instruction man-
ual.
c) Shorting of anode support insulators, caused
by a flake of titanium compound. Tapping the
pump, as described in step a) of the preceding
paragraph, may correct this condition.
d) Field emission current from fine whiskers
formed on the pump cathodes. Hi-pot the
pump by applying 10 to 14 kVac at 20 to 30
mA for 5 to 20 seconds.
e) Coatings on the insulators caused by operat-
ing above 10-2 Torr for extended periods.
Since disassembly of the pump is not practi-
cable, this condition must be regarded as a
life-limiting factor. Avoid operating the pump at
high pressures for long periods.
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with
the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic
Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the
European Community) indicates that the product
it applies to must NOT be disposed of together
with ordinary domestic or industrial waste but must
be sent to a differentiated waste collection system.
The end user is therefore invited to contact the
supplier of the device, whether the Parent Com-
pany or a retailer, to initiate the collection and dis-
posal process after checking the contractual terms
and conditions of sale.
12 87-400-085-01(D)

Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian:(a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : [phone]
Fax: [phone]
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: [phone]
Fax: [phone]
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only:Taxable Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return
Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..

Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start Noise Vertical Power: Rotational Speed:
Does not spin freely Vibrations Horizontal Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed Leak Upside-down Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak
Vacuum leak High voltage problem Solenoid failure Damaged flange
Error code on display Other Damaged sealing area Other
Customer application: Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate No zero/high backround Gauge tube not working Display problem
Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working
Failed to start Other Error code on display Other
Customer application: Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start Noisy pump (describe) Heater failure Electrical problem
Doesn’t reach vacuum Over temperature Doesn’t reach vacuum Cooling coil damage
Pump seized Other Vacuum leak Other
Customer application: Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.

Sales and Service Offices
France and Benelux
Varian s.a.
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: [phone]
Fax: [phone]
From Benelux Tel: [phone]
From Benelux Fax: [phone]
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free # 1 [phone]
China
Varian Technologies - Beijing
Rm 1648 Central Tower South Wing
Beijing Junefield Plaza
No. 10 XuanWuMenWai Street
Beijing 100052
P.R. China
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: 800 820 6556
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: [phone]
Fax: [phone]
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Italy
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]
03/06
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: 0120 655 040
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: 080 222 2452
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Toll Free: 0800 051342
UK and Ireland
Varian Ltd.
6 Mead Road
Oxford Industrial Park - Yarnton
Oxford OX5 1QU - England
Tel: [phone]
Fax: [phone]
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Other Countries
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: [phone]
Fax: [phone]
Customer Support & Service:
North America
Toll-Free: 1 800 882 7426
[email protected]
Europe
Tel: [phone]
[email protected]
China
Toll-Free: 800 820 8266
[email protected]
Japan
Toll-Free: 0120 655 040
[email protected]
Korea
Toll-Free: 080 222 2452
[email protected]
Taiwan
Toll-Free: 0 800 051 342
[email protected]
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries