Agilent Technologies X3502-64000 User manual

TwisTorr 84 FS
Pump m
odels: X3502-64000, X3502-64001,
X3502
-64002, X3502-64003
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-043-01(D.00)
09/2021

TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-043-01(D.00)
Edition
Edition 09/2021
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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DOD Departments and Agencies of the
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TwisTorr 84 FS Pump
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 3/349
TwisTorr 84 FS Pump

TwisTorr 84 FS Pump
4/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)

Contents
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 5/349
Contents
1 Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 20
Preparazione per l’installazione 21
Installazione 23
Fissaggio della pompa 26
Uso della TwisTorr 84 FS 27
Manutenzione 29
Smaltimento 30
Servizio Post Vendita 31
2 Gebrauchsanleitung 32
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 33
Allgemeine Informationen 34
Lagerung 37
Vor der Installation 38
Installation 40
Befestigung der Pumpe 43
Verwendung TwisTorr 84 FS 44
Wartung 46
Entsorgung 47
Service 48

Contents
6/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
3 Mode d’emploi 49
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 50
Indications générales 51
Stockage 54
Préparation pour l’installation 55
Installation 57
Fixation de la pompe 60
Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61
Entretien 63
Mise au rebut 64
Service 65
4 Manual de istrucciones 66
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 67
Información general 68
Almacenamiento 71
Preparación para la instalación 72
Instalación 74
Fijación de la bomba 77
Uso de la TwisTorr 84 FS 78
Mantenimiento 80
Eliminación 81
Servicio 82

Contents
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 7/349
5 Manual de Istruções 83
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 84
Informações gerais 85
Armazenagem 88
Preparação para a instalação 89
Instalação 91
Fixação da bomba 94
Utilização do TwisTorr 84 FS 95
Manutenção 97
Eliminação 98
Serviço pós-venda 99
6 Bedrijfshandleiding 100
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 101
Algemene informatie 102
Opslag 105
Uitpakken 106
Installatie 108
Bevestiging van de pomp 112
Gebruik van de TwisTorr 84 FS 113
Onderhoud 115
Afvalverwerking 116
Service 117

Contents
8/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
7 Istruktionsbog 118
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 119
Generel information 120
Opbevaring 123
Forberedelser før installation 124
Installation 126
Fastgøring af pumpen 129
Anvendelse af TwisTorr 84 FS 130
Vedligeholdelse 132
Bortskaffelse 133
Service 134
8 Bruksanvisning 135
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 136
Allmän information 137
Förvaring 140
Förberedelser för installation 141
Installation 143
Fastsättning av pumpen 146
Användning av TwisTorr 84 FS 147
Underhåll 149
Bortskaffning 150
Service 151

Contents
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 9/349
9 Instruksjon Manual 152
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 153
Generell informasjon 154
Lagring 157
Klargjøre til installasjon 158
Installasjon 160
Festing av pumpen 163
Bruk av TwisTorr 84 FS 164
Vedlikehold 166
Eliminering 167
Service 168
10 Ohjekäsikirja 169
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 170
Yleisiä tietoja 171
Varastointi 174
Valmistelut asennusta varten 175
Asennus 177
Pumpun kiinnitys 180
TwisTorr 84 FS käyttö 181
Huolto 183
Hävittäminen 184
Huolto 185

Contents
10/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
11 Felhasználói Kézikönyv 186
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 187
Általános informáicó 188
Tárolás 191
Előkészítés telepítésre 192
Telepítés 194
A szivattyú rögzítése 197
A TwisTorr 84 FS használata 198
Karbantartás 200
Megsemmisítés 201
Szolgáltatások 202
12 Podrecznik Instrukcji 203
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 204
Ogólne Informacje 205
Magazynowanie 208
Przygotowanie do instalacji 209
Instalacja 211
Mocowanie pompy 215
Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 216
Konserwacja 218
Przetworstwo odpadow 219
Serwis 220

Contents
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 11/349
13 Návod k Použití 221
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 222
Všeobecné informace 223
Uskladnění 226
Příprava k instalaci 227
Instalace 229
Upevnění vývěvy 232
Použití vývěvy TwisTorr 84 FS 233
Údržba 235
Likvidace 236
Servis 237
14 Návod na Obsluhu 238
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 239
Všeobecné informácie 240
Uchovávanie 243
Príprava na inštaláciu 244
Inštalácia 246
Upevnenie vývevy 249
Použitie vývevy TwisTorr 84 FS 250
Údržba 252
Likvidácia 253
Služba 254

Contents
12/349 TwisTorr 84 FS UserManual / 87-901-043-01(D.00)
15 Priročnik za Navodila 255
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 256
Splošne informacije 257
Shranjevanje 260
Priprava za montažo 261
Montaža 263
Pritrditev črpalke 266
Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS 267
Vzdrževanje 269
Odlaganje opadkov 270
Servis 271
16 Instructions for Use 272
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 273
General Information 274
Storage 277
Preparation for installation 278
Installation 280
Pump Fixing 283
Use of TwisTorr 84 FS 284
Maintenance 286
Disposal 287
Service 288

Contents
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 13/349
17 Technical Information 289
Description of the TwisTorr 84 FS 291
Technical Specification 295
TwisTorr 84 FS Outline 298
Interconnections 314
Soft Start 316
Inlet screen installation 317
Air Cooling Kit Installation 321
Water Cooling Kit Connection 323
Vent Accessories 326
Vibration Isolator Installation 328
Purge Valve Installation 329
TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation 330
Connection of the High Vacuum Flange 333
Connection of the Fore-Vacuum Pump 338
Pump Used with Corrosive Gases 339
Venting Procedure (without Contaminants and/or
Corrosive Gases) – Manual Venting 341
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 342
Accessories and Spare Parts 343

Contents
14/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)

TwisTorr 84 FS User Manual
15/349
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16
Informazioni Generali
17
Simboli di Sicurezza 19
Immagazzinamento
20
Preparazione per l’installazione
21
Installazione
23
Fi
ssaggio della pompa 26
Uso
della TwisTorr 84 FS 27
Manutenzione
29
Smaltimento
30
Istruzioni per l’uso
31
Traduzione delle istruzioni
originali

1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 17/349
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
La TwisTorr 84 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni di
alto e ultra alto vuoto, capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatta per il pompaggio di liquidi o di
particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (81000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. La TwisTorr 84 FS è totalmente priva di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00) 19/349
Simboli di Sicurezza
SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare
riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e
per proteggere l’apparato da eventuali danni.
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare
lontano durante il funzionamento dell'apparato.
L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere
a massa l'apparato.

1
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
20/349 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(D.00)
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –40 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 90 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.