Ulvac CR16B User manual

YK16-0010-DI-002-02
取扱説明書
多段ルーツ式ドライ真空ポンプ
型 式
ＣＲ６０Ｂ
株式会社アルバック
規格品事業部
http://www.ulvac.co.jp/
この製品をご使用になる前に必ずお読み下さい。また、
いつでもご使用できるように大切に保管して下さい。

準拠の宣言

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０．本製品を使用する前に
このたびは幣社の製品をお買い上げいただき誠にありがとうございます。
本製品がお手元に届きましたら、念のため、ご注文の内容と同一であることおよび、輸送等による破損
がないことをご確認下さい。
このマニュアルには、本製品を安全にかつ性能を有効にご利用いただくために、適切な取扱方法
および適切な保守方法について記載しています。事前に本取扱説明書をお読みいただき、ポンプを正しく
お使いください。
本製品を取り扱うには、ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令（例えば消防法、電気
配線規定など）に従って設置および運用をしてください。従って、ご使用になられる国や地域で公的に有効
とされている一般的な安全教育(電気安全、荷役安全など)を受講する必要があります。安全教育を受けて
いない方は、絶対に取り扱わないでください。オペレーターは、それらのトレーニングを受けている必要が
有ります。また、電気、機械、荷役、真空などに関する専門知識および技能、資格が必要です。
本製品は、このマニュアルが作成された現在の規則に適合するように設計されています。将来的にわた
って規則の基準が変更された場合、その適合性を保障するものではありません。
本製品が組み込まれる装置が同じ規則に適合していない場合や、この製品自体に変更が加えられた
場合には、その性能と安全性を確保できない場合があります。弊社は、そのような場合の性能、安全の保
証（責任）はできません。お客様による製品の改造は、当社の保証範囲外ですので責任は負いません。
本製品の設置および取り外し作業を行う前には、すべてのエネルギー源(電気など)から製品を分離して
ください。
本製品に使用されている一切の部品は、納入時の性能を維持しながら永久的に継続使用できるもので
はありません。社会通念上想定される使用状況下に於いても、一定期間経過に伴い、必然的に性能に劣
化が生じ、製品のトラブルを発生させやすくなります。お客様において、お客様ご自身の使用状況を勘案の
上、トラブルを回避する予防保全の実現へのご協力をお願い申し上げます。
予防保全措置へご協力いただきますと、部品の磨耗故障に起因する本製品トラブルの発生確率を低減
でき、ひいては本製品トラブルに起因するダウンタイムおよび火災や他工程への影響等といった危険の
発生確率を低減できます。
重ねて予防保全の観点から、保守点検計画の構築およびそれに合わせた部品交換やオーバーホール
実施をお願い申し上げます。
取り扱う上で不明な点などがありましたら最寄りの営業所、代理店または弊社規格品事業部にご連絡くだ
さい。
注意
この取扱説明書はいかなる部分も第三者の為に当社の承諾なしに､ コピーするこ
とはできません。

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０．１ 安全シンボルマーク
この取扱説明書及び製品の警告表示には守るべき事項を理解して頂くため、安全についてのシンボ
ルマークを掲げております。シンボルに用いる言葉は次のように使い分けています。
０．２ 安全シンボルマークの意味
危 険
取り扱いを誤った場合、使用者が死亡もしくは重傷になる差し迫った可能性を示
しています。
警 告
取り扱いを誤った場合、使用者が死亡もしくは重傷になる可能性を示していま
す。
注意
取り扱いを誤った場合、使用者が中程度の傷害を受けるか、機械の重大な損傷
につながる可能性を示しています。機械の損傷を起こしたり､正常な動作を損ね
る可能性を示しています。
重要
「重要」項目は、本システムの操作および保守作業上、特に知っておかなければ
ならない情報や内容がある場合に記述します。
感電の危険があるため、電気安全に関してトレーニングが必要な作業
ポンプ停止直後は高温な箇所のため､ポンプの温度が下がっていることを確
認してから行う作業

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０．３ 安全上の注意事項
作業項目別に危険を回避するための方法と危険なためやってはならない行動を示します。
本製品のお取扱、ならびに本取扱説明書について
重要
本製品を末永くご利用頂くために、本製品の取付、操作、点検あるいは整備を
する前に必ずこの取扱説明書をお読みいただき、安全上の注意事項、本製品
の仕様及び操作方法に関わる事項を十分に理解して下さい。
危 険
本製品は、不活性ガス（空気、窒素、アルゴン）を排気することを前提としており、
他のガス（有毒ガス、燃焼ガス、支燃性ガス、腐食性ガス、爆発性ガス）を排気する
ことは、非常に危険です。これらの性質を持つガスは排気しないでください。
危 険
燃焼ガス・支燃性ガス・爆発性ガスが、真空ポンプに吸引された場合、運転時だけ
でなく、停止後も残留したガスや生成物が原因で発火・爆発することがあり、非常
に危険です。これらの性質を持つガスは排気しないでください。
警 告
ご使用の危険物質の詳細を開示いただけない場合や、無害化処理が困難な
物質を排気した場合には、弊社でのメンテナンスその他の取扱いをお断りする
ことがあります。
警 告
製品及び取扱説明書の記述内容は､改良の為、仕様や価格等を予告なしに変
更する場合がありますので、御了承願います。変更は、取扱説明書の表紙右
上にある文書番号を更新し、改訂版として発行します。
警 告
本取扱説明書は製品をご使用になられる最終ユーザーに必ずお渡し下さい。
警 告
本製品を国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きますと共に、輸出関連
法規の規定に従って必要な手続きをお取り下さいますようお願い致します。
不明な点がありましたら、ご購入頂きました営業所にお問合せ下さい。

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保管・設置
警 告
①本機は潤滑油を給油した状態で、工場より出荷していますので絶対に横倒し
しないで下さい。
②製品を段ボールから取り出しの際等、ポンプを持ち上げたりする場合は、クレ
ーンなどの荷役機器を使用し、アイボルトを利用して、持ち上げて搬送するよ
う指導して下さい。アイボルトは使用する前に異常がないことを確認して下さ
い。
③荷役作業および荷役機械の操縦は、技能資格を有した人以外は行わないで
下さい。
④無理な操作や機器の整備が十分でない場合に、ポンプが落下したり、転倒し
たりする可能性があります。ポンプの下には絶対に入らないで下さい。
搬入
警 告
①本製品はキャスターを装備していますが、キャスターを使っての長距離輸送
はしないで下さい。
②本製品の質量は以下のとおりです。
CR 60 : 48 kg
搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため、腰を痛める可能性が
あります。搬送は、荷役機器(例えば、移動式クレーン)で吊り下げて行うか、
パレットに載せ固定した後、パレットトラックで運んで下さい。
地震対策
警 告
固定が不十分だと転倒したり、移動したりして、周辺機器を破損させる可能性
があります。真空配管、電線については、規定のゆれに対して、配管が破れた
り、外れたりしない様、ゆれを吸収できる構造にしてください。

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吸排気口 配管 ＜取り付け＞
警 告
すべての危険エネルギーを遮断したことを確認してから、作業してください。
電源用配線 ＜取り付け＞
警 告
①すべての危険エネルギーを遮断したことを確認してから、作業してください。
②配線作業は、有資格者が行ってください。誤った配線工事は、火災の原因と
なります。
③配線工事は、ご使用になられる国や地域の安全に関する規則や法令に従い
（例：消防法、電気設備技術基準、内線規程）、正しく行って下さい。
④アースは確実に接地して下さい。
⑤専用の漏電遮断器を設置することを推奨いたします。故障や漏電のときに感
電する恐れがあります。
運転
警 告
①運転中にポンプカバーは外さないでください。真空ポンプ本体やモータ、配管
は非常に高温になりますので触れないでください。人体が接触すると火傷の
危険があります。
②排気口を塞ぐなど排気口側にガスの通過を妨害する機器をつけた状態で真
空ポンプを運転しないで下さい。真空ポンプ内圧が上昇して、ケーシングやオ
イルレベルゲージが破裂・油漏れ、電動機の過負荷が発生する恐れがありま
す。
注意
①危険場所（爆発性ガスによって、危険雰囲気を生成する恐れがある場所）で
使用しないで下さい。けが、火災の原因になります。
②換気口の開口部に、指や物を入れないで下さい。感電、けが、火災等の恐れ
があります。
③真空ポンプの四方 1ｍ以内には可燃物を絶対に置かないで下さい。火災の
恐れがあります。
④本機は空冷式です。換気口から、０.３ｍ以内に壁、障害物を置かないでくださ
い。異常過熱による火傷、火災の恐れがあります。

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停止
警 告
運転停止後のしばらくは、真空ポンプやモータ、配管は非常に高温になります
ので、ポンプカバーを外して触れないでください。人体に接触すると火傷の危険
があります。
点検・修理
警 告
①点検・修理の時は、必ず 1 次側の MCCB（配線保護用遮断器）のスイッチを切
ってから作業を行って下さい。感電したり、急に真空ポンプが起動してけがを
することがあります。
②修理技術者以外の人は、絶対に分解したり修理・改造は行わないで下さい。
発火または異常動作してけがをしたり、感電する恐れがあります。
③動かなくなったり異常がある場合は、事故防止のためすぐ 1 次側の MCCB
（配線保護用遮断器）のスイッチを切り、ご注文先あるいは最寄のサービスセ
ンターに必ず点検・修理をご依頼下さい。
電源用配線 ＜取り外し＞
警 告
取り外し作業を行う前には、確実に電源から切り離してください。
吸排気口 配管 ＜取り外し＞
警 告
①装置の設置マニュアルに従って、取り外してください。
②運転停止後のしばらくは、吸排気口配管は非常に高温になりますので触れ
ないでください。ポンプの温度が下がってから取り外しを行って下さい。
③ポンプの吸排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください。
搬出
警 告
①本製品はキャスターを装備していますが、キャスターを使っての長距離輸送
はしないで下さい。
②本製品の質量は以下のとおりです。
CR 60 : 48 kg
搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため、腰を痛める可能性が
あります。搬送は、荷役機器(例えば、移動式クレーン)で吊り下げて行うか、
パレットに載せ固定した後、パレットトラックで運んで下さい。

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０．４ 本機に表示した警告ラベルの種類と説明および表示位置
本機には、警告箇所に警告ラベルを取り付けています。ポンプを運転する前に必ず確認して下さい。
この警告ラベルが取り付けてある部分の周囲は、感電のおそれがあります。
配線時、メンテナンス時には、1 次側の MCCB（配線保護用遮断器）のスイッチ
を切ってから作業を行って下さい。
運転中や運転停止後のしばらくは、真空ポンプモータや電動機、配管は非常に
高温になりますので触れないでください。人体に接触すると火傷の危険があり
ます。

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０．５ ポンプの受入れと保管
０．５．１ 開梱と受入れ時の点検
警 告
①本機は潤滑油を給油した状態で、工場より出荷していますので絶対に横倒し
しないで下さい。
②製品を段ボールから取り出しの際等、ポンプを持ち上げたりする場合は、クレ
ーンなどの荷役機器を使用し、アイボルトを利用して、持ち上げて搬送するよ
う指導して下さい。アイボルトは使用する前に異常がないことを確認して下さ
い。
③荷役作業および荷役機械の操縦は、技能資格を有した人以外は行わないで
下さい。
④無理な操作や機器の整備が十分でない場合に、ポンプが落下したり、転倒し
たりする可能性があります。ポンプの下には絶対に入らないで下さい。
本製品がお手元に届きましたら、注意して開梱して下さい。まずご注文の内容と同一であることおよび
輸送等による破損がないことをご確認下さい。使用開始後にお知らせいただくと、有償となる場合があり
ます。
細心の注意を払って出荷しておりますが、念のため荷づくりをとかれましたら、次のことをお確かめ下
さい。なお出荷時の梱包は、点検が終わるまでは捨てずにおき、異常があった際の返品の際にご利用下
さい。
重要
① ご請求の製品と一致しているか。
② 付属品（取扱説明書、オプション部品）が付いているか。
③ 輸送中に破損した箇所がないか。
④ 輸送中にネジやナット等に緩みが出ていないか。外れている所はないか。
万一、不具合がありましたら、当社営業部またはお取引の特約店までご連絡
下さい。
表1 標準付属品一覧
単相200V仕様 三相200V仕様
電源用コネクタ NETコネクタ (七星科学) 1式 NET-243-PF NET-244-PF
信号用コネクタ D-sub 15pin （DDK） 1式
取扱説明書
和英併記
1部
エアーフィルター ガスバラストガス用 1個
ガード 電源コネクタ用 1個
品 名 仕 様 数 量
備 考
17JE-23150-02(D8A)-CG
普通紙
1/4B

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０．５．２ 搬送（搬入・搬出）
警 告
①本製品はキャスターを装備していますが、キャスターを使っての長距離輸送
はしないで下さい。
②本製品の質量は以下のとおりです。
CR 60 : 48 kg
搬送するためには安全基準以上の荷重が必要なため、腰を痛める可能性が
あります。搬送は、荷役機器(例えば、移動式クレーン)で吊り下げて行うか、
パレットに載せ固定した後、パレットトラックで運んで下さい。
０．５．３ 保管、据付および運転時の周囲条件
本製品は、精密なクリアランスをもつ機械ですから、保管、据付および運転時には次のことを満足する
ようにしてください。
警 告
本機は空冷式です。設置時にキャスターを取り外し、直接地面に設置しない
で下さい。ポンプ下部にある換気口が塞がれ、異常過熱による火傷、火災の
恐れがあります。
注意
ポンプを衝撃を与えたり、傾けたり、横倒しにしたり、立てたり、逆さまにしない
で下さい。ポンプの運転に障害を与えます。吸気口を上にして、ポンプを水平
に設置してください。
注意
運転可能周囲温度より低い温度で保管していた場合は、ポンプ本体の温度
が運転可能周囲温度になってからポンプを運転して下さい。
①周囲温度と湿度 [保管時] ： -10～60℃ 90%RH 以下（ただし凍結や結露がないこと）
[運転時] ： 15～40℃ 80%RH 以下（ただし結露がないこと）
②高度 [保管時･運転時] ： 標高 1,000m 以下
③外部振動 [保管時･運転時] ： 振動加速度 0.5G (114dB) 以下
④その他 [保管時･運転時] ： ａ．腐食性および爆発性ガスのないこと
ｂ．凍結や結露のないこと
ｃ．塵埃のないこと
ｄ．換気されている室内であること
ｅ．ポンプの２段積みや横倒しにして立てたりはしないこと
ｆ．直射日光が当たらないこと
ｇ．熱源から遠ざけること
h．設置場所まで移動後、ポンプ本体を水平に設置すること
ｉ．換気口から 0.3m 以上の空間を確保すること

目次1
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目 次
０．本製品を使用する前に............................................................................................................................... i
０．１ 安全シンボルマーク..........................................................................................................................ii
０．２ 安全シンボルマークの意味...............................................................................................................ii
０．３ 安全上の注意事項 ..........................................................................................................................iii
０．４ 本機に表示した警告ラベルの種類と説明および表示位置 ............................................................... vii
０．５ ポンプの受入れと保管...................................................................................................................viii
０．５．１ 開梱と受入れ時の点検 .........................................................................................................viii
０．５．２ 搬送（搬入・搬出） ................................................................................................................... ix
０．５．３ 保管、据付および運転時の周囲条件....................................................................................... ix
１．安全にお使い頂くために............................................................................................................................ 1
１．１ 本製品固有の危険性と安全対策 ...................................................................................................... 1
１．１．１ ！危険！ 危険ガス・危険物質の吸気と排気 ........................................................................... 1
１．１．２ ！警告！ 重量物の搬送......................................................................................................... 1
１．１．３ ！警告！ 感電........................................................................................................................ 2
１．１．４ ！注意！ 高温........................................................................................................................ 2
１．２ 安全性データシート .......................................................................................................................... 3
２． 概要 ....................................................................................................................................................... 4
２．１ 特 徴............................................................................................................................................... 4
２．２ 用 途............................................................................................................................................... 4
２．３ 排気の原理 ...................................................................................................................................... 4
２．４ 性能諸元.......................................................................................................................................... 5
２．５ 外観寸法図 ...................................................................................................................................... 6
２．６ 各部の名称と説明 ............................................................................................................................ 7
３． 取付け.................................................................................................................................................... 8
３．１ 据付 ................................................................................................................................................. 8
３．２ 配管の接続 ...................................................................................................................................... 9
３．２．１ 吸気口側 ................................................................................................................................. 9
３．２．２ 排気口側 ............................................................................................................................... 10
３．２．３ ガスバラストガス .................................................................................................................... 11
３．３ 電気配線 ........................................................................................................................................... 14
３．３．１ 電源用配線............................................................................................................................ 14
３．３．２ リモート用配線....................................................................................................................... 16
４．運転........................................................................................................................................................ 17
４．１ 運転前の点検 ................................................................................................................................ 17
４．２起動 ................................................................................................................................................. 18
４．２．１ ローカル運転 ......................................................................................................................... 18
４．２．２ リモート運転........................................................................................................................... 18

目次2
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４．３ 起動後の確認と調整 ...................................................................................................................... 18
４．４ 停止 ............................................................................................................................................... 19
５．ポンプの性能 .......................................................................................................................................... 20
６． 取り外し................................................................................................................................................ 21
６．１ 電気結線........................................................................................................................................ 21
６．２ 吸排気口配管 ................................................................................................................................ 21
６．３ 窒素ガス配管（接続されている場合のみ）........................................................................................... 21
７． 保守 ..................................................................................................................................................... 22
７．１ 点検 ............................................................................................................................................... 22
７．２ 長期保管後の運転 ......................................................................................................................... 22
７．３ オーバーホール.............................................................................................................................. 22
７．４ トラブルシューティング .................................................................................................................... 23
８． 廃棄 ..................................................................................................................................................... 24
９． 保証条項.............................................................................................................................................. 24
９．１ 保証対象........................................................................................................................................ 24
９．２ 保証期間........................................................................................................................................ 24
９．３ 保証範囲........................................................................................................................................ 24
９．４ 対応方法........................................................................................................................................ 25
９．５ その他............................................................................................................................................ 25
汚染証明書
営業、サービス部門とその連絡先

目次3
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図表一覧表
図1 排気機構図........................................................................................................................4
図2 CR60B 外観寸法図 ..........................................................................................................6
図3 各部名称 ...........................................................................................................................7
図4 基本的な配管接続図........................................................................................................10
図5 エアーフィルター取付図.....................................................................................................11
図6 ガスバラオプション： 手動１個（ニードルバルブ）説明図 ......................................................12
図7 ガスバラオプション：電磁弁＋手動（ニードルバルブ） 説明図 ..............................................12
図8 電磁弁配線方法説明図....................................................................................................12
図9 Ｎ2パージガス配管 推奨システム.....................................................................................13
図10 ガード取付け図 ..............................................................................................................15
図11 遠隔操作参考系統図......................................................................................................16
図12 排気速度曲線図.............................................................................................................20
図13 電力値曲線図 ................................................................................................................20
表1 標準付属品一覧............................................................................................................. viii
表2 型式一覧表........................................................................................................................5
表3 性能諸元 ...........................................................................................................................5
表4 電源容量及び推奨ブレーカ定格一覧.................................................................................14
表5 コネクタ仕様一覧表..........................................................................................................15
表6 起動前チェックリスト .........................................................................................................17
表7 点検項目表......................................................................................................................22
表8 トラブルチェックリスト ........................................................................................................23

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１．安全にお使い頂くために
１．１ 本製品固有の危険性と安全対策
１．１．１ ！危険！ 危険ガス・危険物質の吸気と排気
要 因 回避方法 ・ 対策
危険ガス・危険物質の
吸気と排気
有毒ガス、燃焼ガス、支燃性ガス、腐食性ガス、爆発性
ガスを排気することは、非常に危険です。これらの性質
を持つガスは排気しないでください。
有毒になったポンプ油・ポン
プ・生成物・吸引物質を､点
検・廃棄時に触って負傷する
① 使用する有毒物質に適した保護具を着用して点検
などの作業を行ってください。
② オーバーホール時、廃棄の時には廃棄物処理の専
門業者に依頼して無害化処理を行って下さい。
③ 廃棄は、行政の認可を受けた廃棄物処理業者に委
託して下さい。
残留ガスや生成物が原因で
発火・爆発して負傷する
燃焼ガス・支燃性ガス・爆発性ガスが、真空ポンプに吸
引された場合、運転時だけでなく、停止後も残留したガ
スや生成物が原因で発火・爆発することがあり、非常に
危険です。これらの性質を持つガスは排気しないでくだ
さい。
１．１．２ ！警告！ 重量物の搬送
要 因 回避方法 ・ 対策
ポンプ搬送時に負傷する
ポンプ質量
CR 60 ： 48kg
① 荷役作業及び荷役機械の操縦は、技能資格者を有
した方以外は行わないで下さい。
② 無理な操作や機器の整備が十分でない場合に、
ポンプが落下したり、転倒したりする可能性があり
ます。ポンプの下には絶対に入らないで下さい。

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１．１．３ ！警告！ 感電
要 因 回避方法 ・ 対策
通電部に触れて感電する
① 電気結線は、必ず電源を切ってから行って下さい。
アースは、必ず取って下さい。
② ポンプ運転中はパネルを開かないで下さい。
③ 点検・移設の際には、必ず電源を切って作業して下
さい。
④ 換気口の開口部から、手や細い棒などを入れない
で下さい。
１．１．４ ！注意！ 高温
要 因 回避方法 ・ 対策
高温部で火傷する
① 運転中、真空ポンプ本体やモータ、配管は非常に
高温になりますので触れないでください。
②運転停止後のしばらくは、真空ポンプやモータ、配管
は非常に高温になりますので、パネルを外したりして
触れないでください。

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１．２ 安全性データシート
重要
本ポンプに使用している化学物質
ポンプオイル ： BARRIERTA J100 FLUID E （NOK クリューバ社）
安全性データシート（Safety Data Sheet 略称 SDS）は､本機を運転する上で、
使用または触る可能性のある化学物質を紹介しています。有害特性を理解して
頂くために､よく読んで下さい。安全性データシートにつきましては､弊社営業部
から最新版を入手して下さい。
本書に記載されている化学物質（ポンプオイル）以外の化学物質は使用しない
でください。
注意
SDS は、危険有害な化学物質について、安全な取扱いを確保するための参考
情報です。ポンプオイルを取扱う方は、常に最新の SDS を入手し、これを参考
にして、自らの責任において、個々の取扱い等の実態に応じた適切な処置を講
ずることが必要であることを理解した上で、活用されるようお願いします。SDS そ
のものは、安全を保証するものではありません。

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２． 概要
２．１ 特 徴
高耐久性 ：作動室には、摺動部品が無いため長期の連続運転が可能
強制空冷式 ：冷却水が不要なため運転場所を選ばず、低ランニングコスト
軽量・コンパクト ：軽量でキャスター付のため移動容易。
クリーン真空・排気 ：摺動部品が無いドライポンプ
２．２ 用 途
各種粗引き用、ＴＭＰのバック
蒸着装置、スパッタリング装置
理科学実験用、分析装置
プラズマクリーニング装置
その他クリーン真空装置
２．３ 排気の原理
CR60B はドライ真空ポンプのみで構成されています。ドライ真空ポンプは、ルーツ型ポンプを直列に配
置した多段真空ポンプです。各段のポンプ部を構成するルーツ型ポンプは、ケーシング（作動室）内部で
回転する２つのロータがケーシング内壁及びロータ相互間に僅かな隙間を保ち回転することによりガス
を吸込側から吐出側へ移送します。非接触で回転するため接ガス部にオイルを必要とせず、また発塵に
よる汚染の無いクリーンな真空を実現します。
図1 排気機構図

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表2 型式一覧表
例）CR60B 呼称及びオプション仕様
呼称：単相仕様／ガスバラオプション：手動１個（ニードルバルブ）付き／ゴム脚仕様
２．４ 性能諸元
表3 性能諸元
単 位 ＣＲ６０Ｂ－Ｔ ＣＲ６０Ｂ－Ｓ
最大排気速度 m3/hr
５５
L/min ９２０
到達圧力（ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ無） Ｐａ ≦３
到達圧力（ｶﾞｽﾊﾞﾗｽﾄｶﾞｽ有） Ｐａ ≦６
最大吸気圧力 ―― 大気圧
最大排気口圧力 ―― 大気圧
吸気口径 ―― ＫＦ４０
排気口径 ―― ＫＦ４０
最大水分吸引量 ※1 ｇ/ｈ ≦５００
騒音値 (参考値) ｄＢ(Ａ) ≦６５ ａｔ １ｍ
モータ（ＰＭモータ） ｋＷ １．５
電源仕様 ※2 三相 ２００－２４０Ｖ
５０／６０Ｈｚ
単相 ２００－２４０Ｖ
５０／６０Ｈｚ
消費電力 ※3 ｋＷ ０．９
外形寸法 Ｌ ｍｍ ５５０
外形寸法 W ｍｍ ２１０
外形寸法 Ｈ ｍｍ ４３０
潤滑油 ―― ＢＡＲＲＩＥＲＴＡ Ｊ１００Ｆ Ｅ
ｃｃ １４０
重 量 ｋｇ ４８
※1 吸気に水分を含む場合は「３．２．３ ガスバラストガス」を参照して下さい。
※2 ご注文時に電源仕様をご指示下さい。
※3 到達圧力時の消費電力です。