Agilent Technologies TV-401/301/21 NSF User manual

T
V 401/301/21 NSF
Pump Models
869-8928
Controller model: 969-8979M005
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-900-995-01 (C)
04/2011

TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
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© Agilent Technologies, Inc. 2011
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-995-01 (C)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TV 401/301/21 NSF
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 3/294
TV 401/301/21 NSF

TV 401/301/21 NSF
4/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 5/294
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso21
Manutenzione 24
Smaltimento 25
2Gebrauchsanleitung27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Lagerung 31
Vor der Installation 32
Installation 33
Gebrauch 35
Wartung 38
Entsorgung 39

Contents
6/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
3Mode d’emploi 41
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 42
Indications générales 43
Stockage 45
Preparation pour l’installation 46
Installation 47
Utilization 49
Entretien 52
Mise au rebut 53
4Manual de istrucciones 55
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56
Información general 57
Almacenamiento 59
Preparación para la instalación 60
Instalación 61
Uso63
Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF 64
Mantenimiento 66
Eliminación 67
5Manual de Istruções 69
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70
Informações gerais 71

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 7/294
Armazenagem 73
Preparação para a instalação74
Instalação 75
Utilização 77
Manutenção 80
6Bedrijfshandleiding 83
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84
Algemene informatie 85
Opslag 87
Uitpakken 88
Installatie 89
Gebruik 91
Onderhoud 94
Afvalverwerking 95
7Istruktionsbog 97
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 98
Generel information 99
Opbevaring 101
Forberedelser før installation 102
Installation 103
Anvendelse 105
Vedligeholdelse 108

Contents
8/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Bortskaffelse 109
8Bruksanvisning 111
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar112
Allmän information 113
Förvaring 115
Förberedelser för installation 116
Installation 117
Användning 119
Underhåll 122
Bortskaffning 123
9Instruksjon Manual 125
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 126
Generell informasjon127
Lagring 129
Klargjøre til installasjon 130
Installasjon 131
Bruk 133
Vedlikehold 136
Eliminering 137
10 Ohjekäsikirja 139
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140
Yleisiä tietoja 141

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 9/294
Varastointi 143
Valmistelut asennusta varten144
Asennus 145
Käyttö 147
Huolto 150
Hävittäminen 151
11 Felhasználói Kézikönyv 153
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154
Általános informáicó155
Tárolás 157
Előkészítés telepítésre 158
Telepítés 159
Használat 161
Karbantartás 164
Megsemmisítés 165
12 Podrecznik Instrukcji 167
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 168
Ogólne Informacje 169
Magazynowanie 171
Przygotowanie do instalacji 172
Instalacja 173
Użytkowanie 175

Contents
10/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Konserwacja 178
Przetworstwo odpadow 179
13 Návod k Použití 181
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182
Všeobecné informace 183
Uskladnění 185
Příprava k instalaci 186
Instalace 187
Použití 189
Údržba 192
Likvidace 193
14 Návod na Obsluhu 195
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 196
Všeobecné informácie 197
Uchovávanie 199
Príprava na inštaláciu 200
Inštalácia 201
Použitie 203
Údržba 206
Likvidácia 207
15 Priročnik za Navodila 209
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210

Contents
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 11/294
Splošne informacije 211
Shranjevanje 213
Priprava za montažo 214
Montaža 215
Uporaba 217
Vzdrževanje 220
Odlaganje opadkov 221
16 Instructions for Use 223
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224
General Information 225
Storage 227
Preparation for Installation 228
Installation 229
Use231
Maintenance 234
Disposal 235
17 Technical Information 237
Description of the TV 401/301/21 NSF 239
Technical Specification 242
TV 401/301/21 NSF Outline 244
Interconnections 248
RS 232/RS 485 Communication Description 260

Contents
12/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Water Cooling Kit Installation 270
Purge Valve Installation 273
Serial Cable Installation 274
TV 401/301/21 NSF Controller Installation 275
Connection of the Fore Vacuum Pump 275
Turbo-V 401/301/21 Insertion and Extraction 276
Connection of the Electrical Connector 284
Pump Used with Corrosive Gases285
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 287
Accessories and Spare Parts 287

TV 401/301/21 NSF User Manual
13/294
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 21
Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF 22
Arresto del TV 401/301/21 NSF 23
Arresto di Emergenza 23
Manutenzione 24
Smaltimento 25
Traduzione delle istruzioni originali

1Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 15/294
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 401/301/21 NSF è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (60000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
asincrono. Il TV 401/301/21 NSF è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 17/294
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
18/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Preparazione per l’installazione
Il TV 401/301/21 NSF viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301/21 NSF e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo
nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA Il TV 401/301/21 NSF non può essere danneggiato rimanendo semplicemente
esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento del-l'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C) 19/294
Installazione
ATTENZIONE!
Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della
turbopompa al sistema. Non alimentare la Turbopompa se non è fissata
adeguatamente al sistema da vuoto.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli. Il TV 401/301/21 NSF deve essere
collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical
Information").

1Istruzioni per l’uso
Installazione
20/294 TV 401/301/21 NSF User Manual / 87-900-995-01 (C)
Il TV 401/301/21 NSF può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TV 401/301/21 NSF in posizione stabile collegando la
flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
La seguente tabella mostra le viti da utilizzare per il fissaggio della
turbopompa, il loro numero e con quale coppia di serraggio
stringerle.
Tab. 1
FISSAGGIO ALLA CAMERA N. COPPIA DI SERRAGGIO
Viti con filettatura M6,
Classe di resistenza >= 10,9 6 10 Nm
A
VVERTENZA!
La camera da vuoto che contiene la pompa deve avere uno spessore adeguato
ai fini della sicurezza. Ad esempio, per camere di Anticorodal temprato
(σy=275 MPa) uno spessore di 5 mm risulta adeguato.
ATTENZIONE!
Il TV 401/301/21 NSF appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV
401/301/21 NSF ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al TV 401/301/21 NSF abbia un isolamento adeguato anche in
condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".