Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr User manual

T
urbo-V 750/850
T
wisTorr
Pump models: 969-6013, 969-6014,
969-6015, 969-6016, 969-6017, 969-6018,
969-6019
Pumping System models: 969-8813,
969-8814, 969-8815, 969-8816, 969-8818,
969
-
8819
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-901-020-01 (A)
04/2011

Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
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© Agilent Technologies, Inc. 2011
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-020-01 (A)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Turbo-V 750/850 TwisTorr
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 3/406
Turbo-V 750/850 TwisTorr

Turbo-V 750/850 TwisTorr
4/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)

Contents
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 5/406
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 22
Fissaggio della pompa 23
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25
Manutenzione 30
Smaltimento 31
2Gebrauchsanleitung33
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 34
Allgemeine Informationen 35
Lagerung 37
Vor der Installation 38
Installation 40
Befestigung der Pumpe 41
Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems43
Wartung 49

Contents
6/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
Entsorgung 50
3Mode d’emploi 51
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 52
Indications generales 53
Stockage 55
Preparation pour l‘installation 56
Installation 58
Fixation de la pompe59
Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system 61
Entretien 67
Mise au rebut 68
4Manual de istrucciones 69
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 70
Información general 71
Almacenamiento 73
Preparación para la instalación 74
Instalación 76
Fijación de la bomba 77
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 79
Mantenimiento 86
Eliminación 87

Contents
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 7/406
5Manual de Istruções 89
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 90
Informações gerais 91
Armazenagem 93
Preparação para a instalação94
Instalação 96
Fixação da bomba 97
Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 99
Manutenção 105
Eliminação 106
6Bedrijfshandleiding 107
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 108
Algemene informatie 109
Opslag 111
Uitpakken 112
Installatie 114
Bevestiging van de pomp 115
Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 117
Onderhoud 123
Afvalverwerking 124
7Istruktionsbog 125
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 126

Contents
8/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
Generel Information 127
Opbevaring 129
Forberedelse før installation 130
Installation 132
Fastgørelse af pumpe 133
Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 135
Vedligeholdelse 141
Bortskaffelse 142
8Bruksanvisning 143
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar144
Allmän Information 145
Förvaring 147
Förberedelser för installationen 148
Installation 150
Fastsättning av pump 151
Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 153
Underhåll 158
Bortskaffning 159
9Instruksjon Manual 161
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 162
Generell informasjon163
Lagring 165

Contents
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 9/406
Klargjøre til installasjon 166
Installasjon 168
Festing av pumpen 169
Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 171
Vedlikehold 176
Eliminering 177
10 Ohjekäsikirja 179
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 180
Yleisiä tietoja 181
Varastointi 183
Valmistelut asennusta varten184
Asennus 186
Pumpun kiinnitys 187
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö 189
Huolto 195
Hävittäminen 196
11 Felhasználói Kézikönyv 197
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 198
Általános Információ199
Tárolás 201
Előkészítés telepítésre 202
Telepítés 204

Contents
10/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
A szivattyú rögzítése205
A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata 207
Karbantartás 212
Megsemmisítés 213
12 Podrecznik Instrukcji 215
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 216
Ogólne informacje 217
Magazynowanie 219
Przygotowanie do instalacji 220
Instalacja 222
Mocowanie pompy 223
Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 225
Konserwacja 231
Przetworstwo odpadow 232
13 Návod k Použití 233
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 234
Všeobecné informace 235
Uskladnění 237
Příprava k instalaci 238
Instalace 240
Upevnění vývěvy241
Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System243

Contents
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 11/406
Údržba 249
Likvidace 250
14 Návod na Obsluhu 251
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 252
Všeobecné informácie 253
Uchovávanie 255
Príprava na inštaláciu 256
Inštalácia 258
Upevnenie vývevy 259
Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 261
Údržba 267
Likvidácia 268
15 Priročnik za Navodila 269
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 270
Splošne informacije 271
Shranjevanje 273
Priprava za montažo 274
Montaža 276
Pritrjevanje črpalke 277
Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 279
Vzdrževanje 284
Odlaganje opadkov 285

Contents
12/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
16 Instructions for Use 287
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 288
General Information 289
Storage 291
Preparation for Installation 292
Installation 294
Pump Fixing295
Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 297
Maintenance 302
Disposal 303
17 Technical Information 305
Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr 308
Technical Specification 316
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline 319
Output Power during High Temperature Condition 336
Interconnections 339
Auto Pump Speed Mode – with Purge/Vent Device Accessory Only 349
On Command Mode – with Purge/Vent Device Accessory Only 349
Auto Time Mode – with Purge/Vent Device Accessory Only 349
Stop Speed Reading 350
Serial Cable Installation 356
Procedure to Connect the Serial and I/0 Ports to an External Cable 356

Contents
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 13/406
RS 232/RS 485 Communication Description 358
Soft Start 367
Leak Check Mode 368
Agilent T-Plus 369
Inlet screen installation 372
Air Cooling Kit Installation 374
Water Cooling Kit Connection 379
Vibration Isolator Installation382
Connection of the High Vacuum Flange 382
Connection of the Fore-Vacuum Pump 386
Connection to the Pump 387
Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging 388
Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 393
Pump used in Presence of Magnetic Fields 397
Accessories and Spare Parts 398

Contents
14/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)

Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 15/406
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 22
Fissaggio della pompa 23
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25
Come avviare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System 26
Come arrestare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System 28
Arresto di Emergenza 29
Manutenzione 30
Smaltimento 31
Traduzione delle istruzioni originali

1Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 17/406
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System è un sistema integrato
costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e
ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di
pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (49500 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System è
totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per
applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare il gruppo di
purge/vent aggiuntivo, pilotarlo da remoto tramite un computer host
collegato con linea seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A) 19/406
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 90 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 (A)
Preparazione per l’installazione
Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System viene fornito in un
imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che
potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio
vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
A
VVERTENZA!
Alcuni modelli pesano oltre 18 Kg (modelli 969-8814, 969-8816, 969-6014, 969-
6016, 969-6017), In questi casi la manipolazione della pompa deve avvenire
con l’ausilio di idonei mezzi di sollevamento o almeno di due persone.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva per la tutela dell'ambiente
94/62/CE e successive modifiche.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
NOTA Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System non può essere danneggiato
rimanendo semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.