Agilent Technologies TPS-mini 9699180 User manual

TPS-mini
Models
9699180, 9699181, 9699182
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-003-01 (E)
12/2018

TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2015
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-003-01(E)
Edition
Edition 12/2018
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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the maximum extent permitted by
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TPS-mini
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 3/318
TPS-mini

TPS-mini
4/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)

Contents
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 5/318
Contents
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni generali 15
Immagazzinamento 18
Preparazione per l'installazione 18
Installazione 20
Uso23
Manutenzione 26
Smaltimento 27
Gebrauchsanleitung29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung 34
Vor der Installation 35
Installation 36
Gebrauch 39
Wartung 42
Entsorgung 43

Contents
6/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Mode d’emploi 45
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 46
Indications Generales 47
Stockage 50
Préparation pour l'installation 50
Installation 51
Utilisation 55
Entretien 58
Mise au rebut 59
Manual de istrucciones 61
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 62
Información general 63
Almacenamiento 66
Preparación para la instalación 67
Instalación 69
Uso72
Mantenimiento 75
Eliminación 76
Manual de Istruções 77
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 78
Informações gerais 79
Armazenagem 82

Contents
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 7/318
Preparação para a instalação82
Instalação 84
Utilização 87
Manutenção 90
Eliminação 91
Bedrijfshandleiding 93
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94
Algemene informatie 95
Opslag 98
Uitpakken 98
Installatie 99
Gebruik 103
Onderhoud 106
Afvalverwerking 107
Istruktionsbog 109
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 110
Generel Information 111
Opbevaring 114
Forberedelse før installation 114
Installation 115
Anvendelse 118
Vedligeholdelse 121

Contents
8/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Bortskaffelse 122
Bruksanvisning 123
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar124
Allmän information 125
Förvaring 128
Förberedelser för installationen 129
Installation 130
Användning 133
Underhåll 136
Bortskaffande 137
Instruksjon Manual 139
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 140
Generell informasjon141
Lagring 144
Klargjøre til installasjon 145
Installasjon 146
Bruk 149
Vedlikehold 152
Eliminering 153
Ohjekäsikirja 155
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 156
Yleisiä tietoja 157

Contents
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 9/318
Varastointi 160
Valmistelut asennusta varten161
Asennus 162
Käyttö 165
Huolto 168
Hävittäminen 169
Felhasználói Kézikönyv 171
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 172
Általános információ173
Tárolás 176
Előkészítés telepítésre 177
Telepítés 178
Használat 181
Karbantartás 184
Megsemmisítés 185
Podrecznik Instrukcji 187
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 188
Ogólne informacje 189
Magazynowanie 192
Przygotowanie do instalacji 192
Instalacja 193
Użytkowanie 197

Contents
10/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Konserwacja 200
Przetworstwo odpadow 201
Návod k Použití 203
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 204
Všeobecné Informace 205
Uskladnění 208
Příprava k instalaci 208
Instalace 209
Použití 213
Údržba 216
Likvidace 217
Návod na Obsluhu 219
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 220
Všeobecné informácie 221
Uchovávanie 224
Príprava na inštaláciu 224
Inštalácia 226
Použitie 229
Údržba 232
Likvidácia 233
Priročnik za Navodila 235
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 236

Contents
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 11/318
Splošne informacije 237
Shranjevanje 240
Priprava za montažo 240
Montaža 242
Uporaba 245
Vzdrževanje 248
Odlaganje opadkov 249
Instructions for Use 251
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 252
General Information 253
Storage 256
Preparation for installation 256
Installation 257
Use261
Maintenance 264
Disposal 265
Technical Information 267
Description of the TPS-mini 269
Turbopump Description 269
Technical Specification 273
TPS-mini Outline 275
Inlet Screen Installation 278

Contents
12/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
High Vacuum Flange Connection 280
High Vacuum Flange Connection Configurations 282
Interconnections 283
P1 –Vent 283
J1 –IN-OUT288
RS 232/RS 485 Communication Description 298
Window Protocol 300
Window-Meanings 307
Replacement Parts and Accessories 312

TPS-mini User Manual
13/318
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni generali 15
Simboli usati 17
Immagazzinamento 18
Preparazione per l'installazione 18
Installazione 20
Uso 23
Accensione ed Uso del TPS-mini 24
Arresto del TPS-mini 25
Arresto di Emergenza 25
Manutenzione 26
Pulizia 26
Smaltimento 27
Traduzione delle istruzioni originali

1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni generali
1
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 15/318
Informazioni generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TPS-mini è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata
dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di
pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il
TPS-mini è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi
adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Il TPS-mini ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è
possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite
un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1
Istruzioni per l’uso
Informazioni generali
16/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni generali
1
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 17/318
Simboli usati
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le
illustrazioni:
Pericolo “Riferirsi a
installazione /
funzionamento”
Conduttore di
protezione
Superficie calda “Pericolo
di scottature se vengono
toccate le parti calde”
ON - Avviamento
(Alimentazione)
Pericolo, rischio di scossa
elettrica
OFF - Arresto
(Alimentazione)
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è
progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in
cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al
supporto tecnico Agilent per informazioni.

1
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
18/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
▪durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
▪temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS
▪il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
▪il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
Preparazione per l'installazione
Il TPS-mini viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il
TPS-mini e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e
risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

Istruzioni per l’uso
Preparazione per l'installazione
1
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 19/318
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
Figura 1
NOTA
Il TPS-mini non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.

1
Istruzioni per l’uso
Installazione
20/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento
è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali:
▪pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
▪temperatura: fare riferimento ai manuali dei singoli componenti
del TPS
▪umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli
componenti del TPS.
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.