Agilent Technologies VacIon Plus 40 User manual

VacIon Plus 40/55/75
pumps
Models: 9191240/1230/1220/1210
9191340/1330/1320/1310
9191440/1430/1420/1410
9191243/1233/1223/1213
9191343/1333/1323/1313
9191443/1433/1423/1413
9191244/1234/1224/1214
9191344/1334/1324/1314
9191444/1434/1424/1414
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
87-900-105-01 (G)
02/2016 User Manual

VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
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© Agilent Technologies, Inc. 2016
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and retrieval or translation into a
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-105-01 (G)
Edition
Edition 02/2016
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

VacIon Plus 40
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VacIon Plus 40

VacIon Plus 55
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VacIon Plus 55

VacIon Plus 55
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 5/98

VacIon Plus 75
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VacIon Plus 75

Contents
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 7/98
Contents
1
Procedura per l’installazione 11
Informazioni Generali 12
Preparazione per l’installazione 13
Installazione 14
Uso 16
Procedure di uso 17
Manutenzione 19
Smaltimento 20
2
Anleitung zur Installation 21
Allgemeine Hinweise 22
Vor der Installation 23
Installation 24
Gebrauch 26
Bedienungsschritte 27
Wartung 29
Entsorgung 30
3
Procédure pour l’installation 31
Indications Générales 32
Préparation de l'installation 33

Contents
8/98 VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
Installation 34
Utilisation 36
Procédure d’utilisation 37
Maintenance 39
Mise au rebut 40
4
Installation procedure 41
General Information 42
Preparation for Installation 43
Installation 44
Use 46
Operating Procedure47
Maintenance 49
Disposal 50
5
Technical Information 51
VacIon Plus Pump Controllers 52
Description of the VacIon Pump 53
Technical Specification 56
Vaclon Plus 40 Starcell 58
Vaclon Plus 40 Triode 59
Vaclon Plus 40 Diode 60
Vaclon Plus 40 Noble Diode 61
Vaclon Plus 55 Starcell 62

Contents
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 9/98
Vaclon Plus 55 Triode 63
Vaclon Plus 55 Diode 64
Vaclon Plus 55 Noble Diode 65
Vaclon Plus 75 Starcell 66
Vaclon Plus 75 Triode 67
Vaclon Plus 75 Diode 68
Vaclon Plus 75 Noble Diode 69
Outline Drawing 70
Stray Magnetic Field71
VacIon Plus Pump Installation 73
Typical Installation 76
Inlet Flange Connection 77
Control Unit Connection 80
Safety Interlock 81
Heater Installation 81
Heater Replacement 82
Bakeout Operation 83
Operating Procedure85
Maintenance 86
Pump Troubleshooting 89
VacIon Plus Pump Replacement Parts and Accessories 90
VacIon Plus Pump Controllers 91

Contents
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VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual
11/98
1
Procedura per l’installazione
Informazioni Generali 12
Preparazione per l’installazione 13
Installazione 14
Uso 16
Procedure di uso 17
Manutenzione 19
Smaltimento 20
Traduzione delle istruzioni originali

1 Procedura per l’installazione
Informazioni Generali
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Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie VacIon Plus sono pompe ioniche utilizzate
comunemente per applicazioni di ultra alto vuoto, grazie alla loro
pulizia, capacità di pompare qualsiasi tipo di gas, e del loro
funzionamento senza vibrazioni e necessità di manutenzione.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Procedura per l’installazione
Preparazione per l’installazione
1
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 13/98
Preparazione per l’installazione
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la
pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e
risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
Figura 1

1 Procedura per l’installazione
Installazione
14/98 VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
Installazione
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento,
per ottenere le specifiche tecniche dichiarate, la temperatura
ambiente deve essere compresa tra 0 °C e +85 °C.
ATTENZIONE!
La pompa deve essere tenuta sigillata con il suo tubo di ingresso schiacciato
finchè non è pronta per essere collegata al sistema.
AVVERTENZA!
Per evitare lesioni alla persona, non collegare l’alta tensione alla pompa
prima che sia installata nel sistema e che tutte le flange di ingresso siano
adeguatamente collegate o chiuse.
Il funzionamento delle pompe è ottimizzato solo con l’uso delle
apposite unità di controllo Agilent.
NO!

Procedura per l’installazione
Installazione
1
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 15/98
ATTENZIONE!
Il rispetto delle normative di sicurezza nell’uso delle pompe è garantito solo con
l’uso delle unità di controllo Agilent.
La pompa VacIon Plus può essere installata in qualsiasi posizione.
Per convenienza normalmente viene montata in posizione verticale
con la flangia di ingresso in alto.
Per installazioni in posizione diversa dalla verticale, la pompa può
essere mantenuta sospesa in ogni posizione tramite la sua flangia di
ingresso. In alternativa può essere appoggiata sui piedini al fondo
della pompa stessa.
Per informazioni dettagliate sull’installazione della pompa, vedere
l’appendice "Technical Information".

1 Procedura per l’installazione
Uso
16/98 VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
Uso
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento delle pompe VacIon
Plus sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere
attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Si raccomanda di
portare la pompa ad una pressione di 1x10-4 Torr (mbar) in modo da
ottenere un avvio più rapido. A questo scopo è meglio non utilizzare
una pompa meccanica sigillata con olio, ma se deve essere utilizzata
una tale pompa, si raccomanda di inserire una trappola lungo la linea
di vuoto per ridurre la pressione causata dai vapori di acqua e di olio
provenienti dalla pompa meccanica. Cercare di ridurre al minimo il
tempo in cui la pompa meccanica è aperta verso il sistema e verso la
pompa ionica, poiché i suoi vapori si diffondono nel sistema a
pressioni inferiori a 1x10-1 Torr (mbar) causando una
contaminazione dello stesso. Nei sistemi in cui l’olio deve essere
completamente assente, è meglio utilizzare pompe Turbo per la
suddetta operazione. Depositi igroscopici e l’assorbimento
dell’idrogeno all’interno del composto di titanio possono provocare
l’allungamento del tempo di avvio con l’invecchiamento della pompa.
Durante l’esposizione all’aria, il deposito del composto di titanio
assorbe vapore acqueo; in conseguenza di ciò, al successivo avvio, il
riscaldamento della pompa provoca il rilascio del vapore e di parte
dell’idrogeno pompato precedentemente, con l’effetto
dell’allungamento del tempo di avvio.

Procedura per l’installazione
Procedure di uso
1
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 17/98
Procedure di uso
Controllare che la polarità dell’unità di controllo sia corretta per la
pompa: polarità positiva per le pompe Diode e negativa per le
StarCell e le Triode. Fare riferimento al relativo manuale ed
osservare la seguente procedura per l’uso della pompa:
1Tramite una pompa di pre-vuoto portare il sistema da vuoto ad
una pressione minima di avvio in accordo alla tabella di pagina
10 ed a seconda del tipo di pompa ionica.
2Collegare l’unità di controllo ad una apposita fonte di
alimentazione ed accenderla.
3Osservare la tensione, la corrente e la pressione. Se l’avvio è
avvenuto ad una pressione di 5x10-2 Torr (mbar), è tipica una
tensione di circa 300 - 400 V. Un valore di corrente prossimo alla
corrente di corto circuito dell’unità di controllo è indice
dell’esistenza di una perdita nella pompa e nel sistema. Un
temporaneo incremento della pressione di pre-vuoto è normale
durante la fase di avvio.
4Lasciare la valvola di pre-vuoto aperta durante l’avvio della
pompa ionica finchè non si raggiunge una adeguata pressione di
avvio. Se la tensione della pompa ionica scende dopo la chiusura
della valvola, riaprirla per un pre-pompaggio aggiuntivo. Appena
la pressione diminuisce, la tensione cresce nuovamente e la
valvola di pre-vuoto può essere chiusa.
5Quando la tensione ha raggiunto i 2 - 3kV, mettere l’unità di
controllo nello stato PROTECT. Il sistema sarà così autoprotetto
dall’incremento della pressione oltre 1x10-4 Torr (mbar) quando
la pompa non è controllata. Nel caso in cui ci fosse un tale
incremento, l’unità di controllo viene spenta automaticamente.
6La pressione nella pompa può anche essere calcolata leggendo la
corrente e convertendo la lettura in pressione tramite l’apposito
diagramma pressione-corrente illustrato nell’appendice
“Technical Information” di questo manuale.

1 Procedura per l’installazione
Procedure di uso
18/98 VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
NOTA I gradini nei diagrammi pressione - corrente sono una caratteristica del modo di
funzionamento dei controller Agilent con funzione “step mode”. Quando la
corrente assorbita dalla pompa raggiunge determinati valori, l'unità di controllo
cambia il valore dell'alta tensione in uscita ad un valore più basso.
7Quando si porta la pompa alla pressione atmosferica, usare azoto
secco in modo da evitare l’assorbimento di vapore acqueo da
parte delle pareti della pompa.
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici,
infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di
ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
AVVERTENZA!
Quando è installato il riscaldatore, non toccare la pompa durante le
operazioni di riscaldamento e di raffreddamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa. Il campo magnetico attorno ad
essa può provocare dei malfunzionamenti dei dispositivi stessi.

Procedura per l’installazione
Manutenzione
1
VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G) 19/98
Manutenzione
Le pompe della serie VacIon Plus non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
AVVERTENZA
!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla pompa scollegarla dall’alta
tensione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.

1 Procedura per l’installazione
Smaltimento
20/98 VacIon Plus 40/55/75 pumps User Manual / 87-900-105-01 (G)
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva
CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
Per maggiori informazioni riferirsi a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml