Agilent Technologies Turbo-V 903 User manual

T
urbo-V 903 Pumping
System
Pumping System model: 969-8811
Controller model: 969-6500
Power Supply model: 969-6501
Manuale di istruzioni Ohjekäsikirja
Bedienungshandbuch Oδηγιες χρησεως
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
Instruksjon manual
87-901-016-01 (A)
04/2011

Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
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© Agilent Technologies, Inc. 2011
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-016-01 (A)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Turbo-V 903 Pumping System
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 3/306
Turbo-V 903 Pumping System

Turbo-V 903 Pumping System
4/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)

Contents
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 5/306
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 19
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Manutenzione 27
Smaltimento 28
2Gebrauchsanleitung29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeines31
Lagerung 33
Vor der Installation 34
Installation 35
Befestigung der Pumpe 36
Gebrauch 38
Wartung 41

Contents
6/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
Entsorgung 42
3Mode d’emploi 43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage 47
Preparation pour l’installation 48
Installation 50
Fixation de la pompe51
Utilisation 53
Entretien 56
Mise au rebut 57
4Manual de istrucciones 59
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60
Información general 61
Almacenamiento 63
Preparación para la instalación 64
Instalación 65
Fijación de la bomba 66
Uso 68
Mantenimiento 71
Eliminación 72

Contents
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 7/306
5Manual de Istruções 73
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 74
Informações gerais 75
Armazenagem 77
Preparação para a instalação78
Instalação 80
Fixação da bomba 81
Utilização 83
Manutenção 86
Eliminação 87
6Bedrijfshandleiding 89
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90
Algemene informatie 91
Opslag 93
Voorbereiding voor installatie 94
Installatie 96
Bevestiging van de pomp 97
Gebruik 99
Onderhoud 102
Afvalverwerking 103
7Istruktionsbog 105
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 106

Contents
8/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
Generel information 107
Opbevaring 109
Forberedelser før installation 110
Installation 111
Fastgorelse af pumpe 112
Anvendelse 114
Nødstop 116
Vedligeholdelse 117
Bortskaffelse 117
8Bruksanvisning 119
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar120
Allmän information 121
Förvaring 123
Förberedelser för installation 124
Installation 125
Fastsättning av pump 126
Användning 128
Underhåll 131
Bortskaffning 132
9Instruksjon Manual 133
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 134
Generell informasjon135

Contents
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 9/306
Lagring 137
Klargjøre til installasjon 138
Installasjon 139
Festing av pumpen 140
Bruk 142
Vedlikehold 145
Eliminering 146
10 Ohjekäsikirja 147
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 148
Yleisiä tietoja 149
Varastointi 151
Valmistelut asennusta varten152
Asennus 153
Pumpun kinnitys154
Käyttö 156
Huolto 159
Hävittäminen 160
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ 161
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου 162
Γενικες πληροφοριες 163
Αποθηκευση 165
Προετοιμασια για τηνεγκατασταση 166

Contents
10/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
Εγκατασταση 168
Στερεωση τησ αντλιασ 169
Χρηση 171
Συντηρηση 174
Χώνευση 175
12 Felhasználói Kézikönyv 177
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 178
Általános informáicó179
Tárolás 181
Előkészítés telepítésre 182
Telepítés 183
A szivattyú rögzítése184
Használat 186
Karbantartás 189
Megsemmisítés 190
13 Podrecznik Instrukcji 191
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
192
Informacje ogolne 193
Magazynowanie 195
Przygotowanie do instalacji 196
Instalacja 197
Mocowanie pompy 198

Contents
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 11/306
Użytkowanie 200
Konserwacja 203
Przetworstwo odpadow 204
14 Návod k Použití 205
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 206
Všeobecné informace 207
Uskladnění 209
Příprava k instalaci 210
Instalace 211
Upevnění vývěvy212
Použití 214
Údržba 217
Likvidace 217
15 Návod na Obsluhu 219
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 220
Všeobecné informácie 221
Uchovávanie 223
Príprava na inštaláciu 224
Inštalácia 225
Upevnenie vývevy 226
Použitie 228
Údržba 231

Contents
12/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
Likvidácia 231
16 Priročnik za Navodila 233
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 234
Splošne informacije 235
Shranjevanje 236
Priprava za montažo 237
Montaža 238
Pritrjevanje črpalke 239
Uporaba 241
Vzdrževanje 244
Odlaganje opadkov 244
17 Instructions for Use 245
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246
General Information 247
Storage 249
Preparation for Installation 250
Installation 251
Pump Fixing252
Use 254
Maintenance 257
Disposal 257

Contents
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 13/306
18 Technical Information 259
Description of the TV 903 Pumping System 261
Technical Specification 264
TV 903 Pumping System Outline 266
Interconnections 268
Earth (ground) Connection 269
How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller 276
How to Connect the Outputs of the Controller 279
Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable 282
Soft Start 291
Air Cooling Kit 292
Connection of the Fore-Vacuum Pump 296
Connection to the Pump 297
Pump used in Presence of Magnetic Fields 298
Accessories and Spare Parts 299

Contents
14/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)

Turbo-V 903 Pumping System User Manual
15/306
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 16
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 19
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso24
Accensione ed Uso del TV 903 Pumping System 25
Arresto del TV 903 Pumping System 25
Arresto di Emergenza 26
Manutenzione 27
Smaltimento 28
Traduzione delle istruzioni originali

1Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe
Turbomolecolari
16/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 17/306
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 903 Pumping System è un sistema integrato costituito da una
pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e
dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo
di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (48000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il TV 903 Pumping System è totalmente privo di
agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che
richiedono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, pilotarlo da remoto tramite un
computer host collegato con linea seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

1Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A) 19/306
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-le
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti con-dizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
Preparazione per l’installazione
Il TV 903 Pumping System viene fornita in un imballo protettivo
speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TV 903 Pumping System e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente
riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela
dell'ambiente.

1Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/306 Turbo-V 903 Pumping System User Manual / 87-901-016-01 (A)
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
NOTA Il TV 903 Pumping System non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere
chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare
eventuale inquinamento da polvere.
Figura 1 Preparazione per l’installazione
PUMPINGSYSTEM969‐8811
48VDCPOWERSUPPLY969‐6501