Agilent Technologies IDP-3 User manual

Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump
User Manual

2 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
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Manual Part Number
699904350
Edition H.00, July2023
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll 21
Descrizione del prodotto 22
Trasporto e immagazzinamento 22
Installazione 23
Preparazione per l’installazione 23
Disimballaggio e ispezione 23
Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-3 Dry Scroll 26
Procedura di avvio 26
Procedura di arresto 27
Utilizzo 28
Manutenzione 29
Pulizia 29
Esterno 29

Contents
4 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Smaltimento 30
Servizio Post Vendita 31
Condizioni ambientali, conformità e requisiti di utilità 32
Condizioni ambientali 32
2Betriebsanleitung 33
Informationen über diese Betriebsanleitung 34
Gültigkeit 34
Definitionen und Terminologie 35
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 35
Warning Symbols 36
Sicherheit 38
Sachgemäße Verwendung 38
Unsachgemäße Verwendung 39
Schutzausrüstung 40
Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen 41
Produktbeschreibung 42
Transport und Aufbewahrung 42
Einbau 43
Montagevorbereitungen 43
Auspacken und Inspektion 43
Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-3 46
Inbetriebnahmeverfahren 46
Ausschaltvorgang 47
Inbetriebnahme 48
Wartung 49

Contents
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 5
Reinigung 49
Außenflächen 49
Entsorgung 50
Service 51
Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der
Versorgungsbetriebe 52
Raumbedingungen 52
3Mode d’emploi 53
À propos de ce manuel 54
Validité 54
Définitions et terminologie 55
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 55
Symboles d'avertissement 56
Sécurité 58
Utilisation appropriée 58
Utilisation incorrecte 59
Équipements de protection 60
Consignes de sécurité relatives aux pompes à vide à spirales à sec 61
Information du produit 62
Transport et entreposage 62
Installation 63
Préparation pour l’installation 63
Déballage et inspection 63
Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-3 66
Procédure de démarrage 66
Procédure d’arrêt 67
Utilisation 68

Contents
6 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Entretien 68
Nettoyage 69
Extérieur 69
Élimination 70
Service 71
Conditions environnementales, conformité et exigences liées aux
applications pratiques 72
Conditions environnementales 72
4Instrucciones de uso 73
Acerca del manual 74
Validez 74
Definiciones y terminología 75
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 75
Símbolos de advertencia 76
Seguridad 78
Uso correcto 78
Uso incorrecto 79
Equipo de protección 80
Pautas de seguridad para bombas de vacío de
desplazamiento en seco 81
Descripción del producto 82
Transporte y Almacenamiento 82
Instalación 83
Preparación para la instalación 83
Desembalaje e inspección 83
Puesta en marcha y funcionamiento de la bomba
de desplazamiento en seco IDP-3 86

Contents
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 7
Procedimiento de puesta en marcha 86
Procedimiento de apagado 87
Uso 88
Mantenimiento 88
Limpieza 89
Exterior 89
Eliminación 90
Servicio 91
Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad 92
Condiciones ambientales 92
5使用说明93
关于本手册 94
有效性 94
定义与术语 95
小心、警告和注意的定义95
警告符号 96
安全性 98
正确使用 98
不当使用 99
防护设备 100
干式涡旋真空泵的安全指南 101
产品说明102
运输与储存102
安装 103
安装准备103

Contents
8 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
开箱验货 103
IDP-3 干式涡旋真空泵的启动和运行 106
启动程序 106
关闭程序 107
使用 108
维护 109
清洁109
外部 109
处置110
服务111
环境条件、合规性和公用事业要求 112
环境条件 112

Contents
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 9
6取扱説明書 113
この説明書について 114
有効期 114
定義と用語 115
警告・注意・注の定義 115
警告の記号 116
安全性 118
適切な使用 118
不適切な使用 119
保護用装備 120
ドライスクロール真空ポンプ用 安全のガイドライン 121
製品説明 122
輸送＆保管 122
設置 123
設置の準備 123
開梱と検品 123
IDP-3 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について 126
起動時の手順 126
停止の手順 127
使用 128
メンテナンス 129
クリーニング 129
外面 129
処分 130
サービス 131
環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件 132
環境条件 132

Contents
10 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
7Instructions for Use 133
About this manual 134
Validity 134
Definitions and terminology 135
Definition of Caution, Warning and Note 135
Warning Symbols 136
Safety 138
Proper use 138
Improper use 139
Protective equipment 140
Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps 141
Product Description 142
Transport & Storage 142
Installation 143
Preparation for Installation 143
Unpacking and Inspection 143
Start-up and Operation of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump 146
Startup Procedure 146
Shutdown Procedure 147
Use 148
Maintenance 149
Cleaning 149
Exterior 149
Disposal 150
Service 151
Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements 152
Environmental Conditions 152

Contents
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 11
8Technical Information 153
Description of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump 154
Technical Specifications 155
IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing 157
IPD-3 Principal Items 159
Electrical Connections 160
Power Cord 160
Power Cord (24 VDC) 161
Grounding Instructions 163
Grounding Instructions (DC version) 165
Extension Cords 165
Run Currents 166
Start Current 166
Mechanical Connections 167
Pump Inlet 167
Pump Exhaust 167
Gas Ballast 167
IDP-3 Inlet Valve Kit 168
Model Selection 169
Installation 171
AC 171
DC 172
Troubleshooting 173
Kits and Service Options 174
Tip Seal Replacement 174
Pump Module Replacement 178
Accessories and Spare Parts 180

Contents
12 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 13
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll 21
Descrizione del prodotto 22
Trasporto e immagazzinamento 22
Installazione 23
Preparazione per l’installazione 23
Disimballaggio e ispezione 23
Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-3 Dry Scroll 26
Procedura di avvio 26
Procedura di arresto 27
Utilizzo 28
Manutenzione 29
Pulizia 29
Esterno 29
Smaltimento 30
Servizio Post Vendita 31
Condizioni ambientali, conformità e requisiti di utilità 32
Condizioni ambientali 32

Istruzioni per l’uso
14 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della IDP-3, con particolare
riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di
primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è
responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA 1 Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza la IDP-3 possa utilizzarla in sicurezza e garantire la perfetta efficienza,
per tutto il suo ciclo di vita.
2 Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 15
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
16 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
della IDP-3. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Presenza di tensioni
pericolose
Pericolo generico
Alta Temperatura
Corrente alternata (CA)
Accensione
Spegnimento
Dichiarazione Europea
di Conformità
Rifiuti di apparecchiature elettriche ed elettroniche

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 17
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Certificazione CE
Certificazione CSA
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche
Alta Temperatura
Sito di produzione
Presenza di tensioni pericolose
Pericolo generico

Istruzioni per l’uso
18 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni prescritte dalla direttiva sulla bassa
tensione 2014/35/UE, essenziali per la conformità e l'osservanza delle norme di
sicurezza sia in generale sia in relazione all'uso specifico del prodotto.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 19
AVVERTENZA
Materiali infiammabili:
Per garantire che i gas all'interno della pompa non si trovino nel rispettivo
campo di infiammabililtà/combustibilità, è necessario attenersi alle
istruzioni e prendere nota delle precauzioni riportate qui di seguito.
Quando all'interno dell'apparecchiatura sono presenti materiali
potenzialmente infiammabili o combustibili, è necessario:
•Assicurarsi che il sistema sia a tenuta stagna per garantire che solo i gas
previsti passino attraverso la pompa per vuoto.
•Assicurarsi che la concentrazione di tutti i gas o vapori infiammabili che
entrano nella pompa (flangia di ingresso e porta di Gas Ballast) e che sono
all'interno della pompa e nel condotto di scarico rimanga a meno di un quarto
del limite inferiore di esplosività (LEL) ufficialmente pubblicato per i gas.
•Assicurarsi che siano presenti sistemi di sicurezza affinché la
concentrazione di eventuali gas o vapori infiammabili che entrano nella
pompa (flangia di ingresso e porta di Gas Ballast) e che sono all'interno
della pompa e nella linea di scarico rimanga a meno di un quarto dei limiti
inferiori di esplosività (LEL) ufficialmente pubblicati per i gas in qualsiasi
condizione di guasto del sistema o della pompa per vuoto.
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio della
pompa IDP-3.
L'uso improprio comporta la perdita di tutti i diritti a reclami per responsabilità e
garanzie.
Il personale responsabile del funzionamento e della manutenzione della pompa
deve essere adeguatamente addestrato e deve essere a conoscenza delle norme di
prevenzione degli incidenti. Le precauzioni antinfortunistiche contenute in questa
sezione devono essere costantemente rispettate durante il funzionamento e la
manutenzione della pompa per evitare danni agli operatori e alla pompa. Tali
precauzioni sono fornite sotto forma di note di AVVENTENZA e ATTENZIONE.

Istruzioni per l’uso
20 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Attrezzatura di protezione
L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la
manutenzione della pompa deve essere sempre adeguata al tipo di operazione da
eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore
nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
AVVERTENZA
Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la
manutenzione o l’installazione.
• A seconda della peculiarità del processo, le pompe per vuoto, i componenti
o i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze
tossiche, reattive o radioattive.
• Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le
riparazioni o in caso di reinstallazione.
AVVERTENZA
Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti
Durante il trasporto manuale delle pompe per vuoto, sussiste il pericolo
che i carichi scivolino e cadano.
• Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani.
• Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata
utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto.
• Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la
direttiva EN 347.