Inficon IC6 User manual

OPERATING MANUAL
IC6
Thin Film Deposition Controller
IPN 074-505-P1E
C
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P
age

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©2012 INFICON
®
OPERATING MANUAL
IC6
Thin Film Deposition Controller
IPN 074-505-P1E
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This is to certify that this equipment, designed and manufactured by:
INFICON Inc.
Two Technology Place
East Syracuse, NY 13057
USA
meets the essential safety requirements of the European Union and is placed on the market accordingly. It has
been constructed in accordance with good engineering practice in safety matters in force in the Community and
does not endanger the safety of persons, domestic animals or property when properly installed and maintained and
used in applications for which it was made.
In addition, this is to certify that this equipment has also been designed and manufactured, having regard to the
state of the art, to ensure complies with the Protection Requirements of EMC directive 2004/108/EC.
A Technical Documentation File is also available for review by competent authorities and will be maintained for a
period of ten years after the date on which the equipment was last manufactured. In additional to this file,
technical, installation, maintenance and application information concerning this equipment can also be found in the
Operating Manual(s) for this product or product family.
Equipment Description: IC6 Deposition Controller (including all options).
Applicable Directives: 2006/95/EC (LVD)
2004/108/EC (General EMC)
2002/95/EC (RoHS)
Applicable Standards:
Safety: EN 61010-1:2001
Emissions: EN 61326-1:1997/A1: 1998/A2: 2001 (Radiated & Conducted Emissions)
Class A: Emissions per Table 3
(EMC – Measurement, Control & Laboratory Equipment)
Immunity: EN 61326-1:1997/A1: 1998/A2: 2001 (General EMC)
Class A: Immunity per Table A1
(EMC – Measurement, Control & Laboratory Equipment)
RoHS: Fully compliant

CE Implementation Date: June 2010
Authorized Representative: Steve Schill
Thin Film Business Manager
INFICON Inc.
ANY QUESTIONS RELATIVE TO THIS DECLARATION OR TO THE SAFETY OF INFICON'S
PRODUCTS SHOULD BE DIRECTED, IN WRITING, TO THE VICE-PRESIDENT OF
OPERATIONS AT THE ABOVE ADDRESS.
Revised 12/24/08 (Rev B)

WARRANTY AND LIABILITY - LIMITATION: Seller warrants the products
manufactured by it, or by an affiliated company and sold by it, and described on
the reverse hereof, to be, for the period of warranty coverage specified below, free
from defects of materials or workmanship under normal proper use and service.
The period of warranty coverage is specified for the respective products in the
respective Seller instruction manuals for those products but shall not be less than
two (2) years from the date of shipment thereof by Seller. Seller's liability under
this warranty is limited to such of the above products or parts thereof as are
returned, transportation prepaid, to Seller's plant, not later than thirty (30) days
after the expiration of the period of warranty coverage in respect thereof and are
found by Seller's examination to have failed to function properly because of
defective workmanship or materials and not because of improper installation or
misuse and is limited to, at Seller's election, either (a) repairing and returning the
product or part thereof, or (b) furnishing a replacement product or part thereof,
transportation prepaid by Seller in either case. In the event Buyer discovers or
learns that a product does not conform to warranty, Buyer shall immediately notify
Seller in writing of such non-conformity, specifying in reasonable detail the nature
of such non-conformity. If Seller is not provided with such written notification,
Seller shall not be liable for any further damages which could have been avoided if
Seller had been provided with immediate written notification.
THIS WARRANTY IS MADE AND ACCEPTED IN LIEU OF ALL OTHER
WARRANTIES, EXPRESS OR IMPLIED, WHETHER OF MERCHANTABILITY OR
OF FITNESS FOR A PARTICULAR PURPOSE OR OTHERWISE, AS BUYER'S
EXCLUSIVE REMEDY FOR ANY DEFECTS IN THE PRODUCTS TO BE SOLD
HEREUNDER. All other obligations and liabilities of Seller, whether in contract or
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Warranty
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TOC - 1
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
Table Of Contents
Cover Page
Title Page
Trademarks
Disclaimer
Copyright
Declaration Of Conformity
Warranty
Chapter 1
Introduction and Specifications
1.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
1.1.1 Related Manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1
1.2 IC6 Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
1.2.1 Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
1.2.2 General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
1.2.3 Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4
1.2.4 Main Power Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-5
1.3 How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-6
1.3.1 Returning Your IC6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6
1.4 IC6 Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
1.4.1 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-7
1.4.2 Screens and Hierarchy. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7
1.4.3 IC6 Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.1 Recipe Storage & Datalogging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-8
1.4.3.2 Sensor Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.3 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.4.3.4 Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.4.3.5 Process Layer Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.4.3.6 General Global Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-11
1.4.4 Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-13
1.4.5 DAC Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-14
1.4.6 Logic Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.4.7 Relays / Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-15
1.4.8 Remote Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.9 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-16
1.4.10 Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16

TOC - 2
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
1.4.11 Operating Environment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.12 Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.13 Warm Up Period. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.4.14 Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15 Installation Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15.1 Connector Clearances:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.15.2 Cooling Clearances:. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.16 Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.4.17 Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.5 Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6 Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.1 Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.2 Pre-installed Options or Spares . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.6.3 Optional Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.4 Oscillator Packages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.5 Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.6.6 Replacement Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.7 Initial Power-On Verification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-20
Chapter 2
Installation and Interfaces
2.1 Location Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.3 IC6 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2 Avoiding Electrical Interference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.1 Verifying/Establishing Earth Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2.2 Connections to Earth Ground. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.2.3 Minimizing Noise Pickup From External Cabling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.3 Connecting the Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Routing XIU Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2 Interface Cable Fabrication and Pin-Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2.1 Source Control Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.2.2 Crucible Indexer Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.3 DAC Option Kit 781-504-G1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3.2.4 I/O Expansion Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.2.5 RS-232C Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.2.6 Isolated +24 V (dc) Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12

TOC - 3
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
Chapter 3
Operation
3.1 Front Panel Controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Rear Panel Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-3
3.3 Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.1 Main Menu Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.2 Operate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.3.3 Sensor Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-9
3.3.3.1 Sensor Information Rate/Xtal Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-9
3.3.3.2 Crystal Life and Starting Frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.3.3 Percent Life Auto-Zero . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.3.3.3.1 Function Key Selection Choices for the
Sensor Information Rate/Xtal Display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-12
3.3.3.4 Sensor Information Type/Freq Display Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.3.3.4.1 TEST XIU . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.3.4 Sensor Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
3.3.5 Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-16
3.3.6 Material. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-17
3.3.6.1 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-17
3.3.6.2 Source Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-17
3.3.6.3 Sensor Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-17
3.3.6.4 Pre/Post Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-18
3.3.6.5 Deposit Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
3.3.6.6 Lib A-Hf, Lib Hf-Sc, Lib Sc-Z Sub-Displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
3.3.7 Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-19
3.3.7.1 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
3.3.7.2 Current Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.3.7.3 1 - 10, 11 - 20 etc. Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-20
3.3.8 General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-20
3.3.8.1 Process Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-20
3.3.8.2 DACs Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-22
3.3.8.3 Comm Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-22
3.3.8.4 Message Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
3.3.8.5 Date/Time Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-22
3.3.8.6 Test Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-22
3.3.8.7 Lock Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-22
3.3.8.8 Audio/Visual Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23
3.3.9 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-23
3.3.10 Logic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24

TOC - 4
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
3.3.11 Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.3.12 Counter / Timer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.3.13 USB Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24
3.4 Process Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.4.1 Defining a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25
3.4.2 Executing a Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
3.4.3 Pre-conditioning a Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.4.4 Co-deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29
3.4.5 Multiple Layer Starts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.4.6 Automating a Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30
3.5 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
3.6 Special Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.1 Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
3.6.1.1 XtalTwo (CrystalTwo). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
3.6.1.2 XtalSix (CrystalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.6.1.3 Xtal12 (Crystal12). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-36
3.6.1.4 Generic Sensor Crystal Switching . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.2 Source/Crucible Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37
3.6.2.1 Example: Programming Turret Source Crucible Selection. . . . . . . . . . . . . 3-38
3.6.3 Auto-Z. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-39
3.6.4 Auto Tune — Optimizing the Control Loop. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.5 Rate Watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.6 Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40
3.6.6.1 Determining Soak Power with the Handheld Controller . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
3.6.7 Test Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
3.6.7.1 Standard or Time Compressed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-41
3.6.7.2 Advanced Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.8 USB Storage Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-42
3.6.9 Lock and Access Codes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
3.6.10 Datalog. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-43
3.6.11 DAC Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46
Chapter 4
Sensor & Source Set-Up
4.1 Sensor Set-Up Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Sensor Display Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Sensor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2

TOC - 5
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
4.2 Source Set-Up Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.1 Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
4.2.2 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
4.3 DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Chapter 5
Material Set-Up
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
5.1.1 Material Screen Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
5.1.2 Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 Material Screen Source Page Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
5.1.4 Material Screen Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.1.5 Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.1.6 Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.1.7 Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
Chapter 6
Process Set-Up
6.1 Process Set-Up Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.3 Curr(ent) Proc(ess) Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.4 Process Layers 1 - 10 etc. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3
6.4.1 Layer Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1.1 Layer Parameter Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3
6.4.1.2 Layer Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5 Special Layer Parameter Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.5.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5
Chapter 7
General Parameters
7.1 General Set-Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
7.2 General Screen Process Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
7.3 DACs Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4 COMM Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 MESSAGE Page Set-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6 DATE / TIME Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-7
7.7 TEST Page Set Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-8
7.8 LOCK Page Code Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-9
7.9 AUDIO / VISUAL Page Set Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10

TOC - 6
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
Chapter 8
Digital I/O
8.1 Digital I/O Screen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 All Input Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 All Output Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.4 I/O Board Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
8.4.1 Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3
Chapter 9
Logic Statement Set-Up
9.1 Logic Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 Editing the Logic Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.2.1 Logic Statement Groups. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.2.2 Logic Statement Editing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
9.2.3 AND/OR and ON Logic Connectors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
9.2.3.1 ON Operator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
9.3 IF Event Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-7
9.4 THEN Action Definitions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-16
9.5 Logic Statement Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-20
Chapter 10
Remote Communications
10.1 Remote Communication Configuration Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2 Physical Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2.1 RS-232C Serial Port. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2.2 TCP/IP Ethernet Port . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.2.2.1 Network Connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.2.2.2 How to Set Up the Network Protocol on the PC. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.3 Message Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.3.1 Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.3.1.1 Command Packet (Host to IC6 Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.3.1.2 Response Packet (IC6 to Host Message) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
10.3.1.3 Timeouts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.3.2 Data Type Codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.3.2.1 REAL_xXx and REAL_xFx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.2.2 TIME. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.2.3 ENCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.2.4 INTEGER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.3.2.5 LOCKCODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-9
10.4 Communication Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10

TOC - 7
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
10.4.1 Query and Update Commands. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-10
10.4.2 Status Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
10.4.3 HELLO Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
10.4.4 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-11
10.4.5 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-12
10.4.6 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-13
10.4.7 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-13
10.4.8 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17
10.4.9 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-17
10.4.10 Query Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17
10.4.11 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-17
10.4.12 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-18
10.4.13 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-20
10.4.14 IC6 Event List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-20
10.4.15 IC6 Action List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-24
10.4.16 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26
10.4.17 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-26
10.4.18 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-36
10.4.19 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36
10.4.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36
10.4.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-36
10.4.22 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37
10.4.23 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-37
10.4.24 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-38
10.4.25 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-38
10.4.26 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-40
10.4.27 Update Output Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-40
10.4.28 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-40
10.4.29 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-40
10.4.30 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-41
10.4.31 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-44
10.4.32 Status Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-46
10.4.33 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-49
10.4.34 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-52
10.4.35 IC6 Communications Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.1 General Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.2 General Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-54
10.4.35.3 HELLO Command, ASCII name and version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-54
10.4.35.4 Query General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.5 Update General Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10-55

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IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
10.4.35.6 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.7 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.8 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.9 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.10 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.11 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.12 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.13 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.14 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.15 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.16 Query Process Name. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.17 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.18 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.19 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.22 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.23 Update Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.24 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.25 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.26 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.27 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
10.4.35.28 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
10.4.35.29 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.30 Status Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.31 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.32 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.33 Example for Interpreting Float Responses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-63
Chapter 11
Applications
11.1 Multiple Sensor Deposition Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.1 IC6 Parameters and Corrections for
Multiple Sensor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.2 Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2.1 IC6 Parameters Associated with the Trend Analysis Feature . . . . . . . . . . 11-5
11.3 IC6 Cygnus Emulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
11.4 IC6 Four & Six Layer (Cygnus Emulation) Configuration. . . . . . . . . . . . . . 11-7
11.4.1 Configure Sensors 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8

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IC6 Operating Manual
11.4.2 Configure Sources 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-8
11.4.3 Configure six Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.4.4 Configure the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.5 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.6 Logic Functions Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.7 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10
11.4.7.1 NonDepCntl State. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10
11.4.7.2 Suspend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10
11.4.7.3 Idle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
Chapter 12
Maintenance and Calibration Procedures
12.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-1
12.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-2
12.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-3
12.5 AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.1 AutoTune Preparation Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-5
12.5.2 AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-8
12.5.3 AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-9
12.5.4 AutoTune Tuning Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-10
12.5.5 AutoTune Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-10
12.6 Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-13
12.6.1 Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.1 Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-14
12.6.1.2 Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-16
12.6.2 Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-17
12.6.2.1 Function Key Selection Choices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.3 Cross Talk Calibration CALIBRATE display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-18
12.6.4 Cross Talk Calibration SELECT display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-19
12.6.4.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-19
12.7 Source Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-20
12.7.1 Source Maintenance Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.1 Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-21
12.7.1.2 Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.3 Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-21
12.8 System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-22

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Chapter 13
Counters & Timers
13.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13-1
Chapter 14
USB Storage
14.1 File Handling (USB) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.1.1 USB Storage Devices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.2 Directory Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-1
14.3 Configuration Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-2
14.4 Data Logs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-3
14.5 Screen Captures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14-4
Chapter 15
Troubleshooting, Status and Error Messages
15.1 Status Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
15.2 User Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-5
15.3 AutoTune and Calibration Messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-6
15.4 STOP messages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-7
15.5 Transient Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-9
15.6 Input Error Messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-14
15.7 Troubleshooting Guide. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-16
15.7.1 Troubleshooting the IC6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-17
15.7.2 Troubleshooting Transducers/Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-20
15.7.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-24
15.8 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-27
15.8.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-27
15.8.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-28
15.8.3 Shuttered and Dual Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30
15.8.4 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-30
15.8.5 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-31
15.8.6 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.8.7 CrystalSix (XtalSix). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-32
15.9 Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G1 or 760-601-G2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-33
15.9.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-34
15.9.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-34
15.9.1.2 Feedthrough Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-35
15.9.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-36

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15.9.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-37
15.9.2 % XTAL Life . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15-37
15.9.3 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-38
15.9.3.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-38
15.9.3.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-38
15.9.4 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-39
Chapter 16
Measurement and Control Theory
16.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-1
16.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-2
16.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-4
16.1.3 Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-5
16.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-6
16.1.5 ModeLock Oscillator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-7
16.1.6 Auto-Z Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16-9
16.1.7 Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16-11
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1
Index

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