Agilent Technologies IDP 10 User manual

Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump
User Manual

2 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
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Manual Part Number
X3810-90000
Edition C.00, November 2022
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© Agilent Technologies, Inc. 2022
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Informazioni su questo manuale 16
Validità 16
Definizioni e terminologia 17
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 17
Simboli di avvertenza 18
Sicurezza 20
Avvertenze EMC 20
EN 55011 Classe di avvertenza A 20
FCC 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll 24
Descrizione del prodotto 25
Trasporto e immagazzinamento 25
Installazione 26
Preparazione per l’installazione 26
Disimballaggio e ispezione 26
Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-10 Dry Scroll 29
Procedura di avvio 29
Procedura di arresto 30
Utilizzo 31
Interfaccia utente 32

Contents
4 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Descrizione delle funzioni dei pin 33
Manutenzione 34
Pulizia 34
Esterno 34
Interno 34
Smaltimento 35
Servizio Post Vendita 36
Condizioni ambientali, conformità e requisiti di utilità 37
Condizioni ambientali 37
Compatibilità elettromagnetica 37
EN55011/CISPR11 37
Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud 38
ICES/NMB-001 38
2Betriebsanleitung 39
Informationen über diese Betriebsanleitung 40
Gültigkeit 40
Definitionen und Terminologie 41
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 41
Warning Symbols 42
Sicherheit 44
EMV-Warnungen 44
EN 55011 Klasse A Warnung 44
FCC 45
Sachgemäße Verwendung 45
Unsachgemäße Verwendung 46
Schutzausrüstung 47

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 5
Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen 48
Produktbeschreibung 49
Transport und Aufbewahrung 49
Einbau 50
Montagevorbereitungen 50
Auspacken und Inspektion 50
Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-10 53
Inbetriebnahmeverfahren 53
Ausschaltvorgang 54
Benutzerschnittstelle 56
Beschreibung der Pin-Funktionen 57
Instandhaltung 58
Reinigung 58
Außenflächen 58
Innenseite 58
Entsorgung 59
Service 60
Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der
Versorgungsbetriebe 61
Raumbedingungen 61
Elektromagnetische Verträglichkeit 61
EN55011/CISPR11 61
Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung 62
ICES/NMB-001 62

Contents
6 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
3Mode d’emploi 63
À propos de ce manuel 64
Validité 64
Définitions et terminologie 65
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 65
Symboles d'avertissement 66
Sécurité 68
Avertissements CEM 68
Avertissement Classe A EN 55011 68
FCC 69
Utilisation appropriée 69
Utilisation incorrecte 70
Équipements de protection 71
Consignes de sécurité relatives aux pompes à vide à spirales à sec 72
Information du produit 73
Transport et entreposage 73
Installation 74
Préparation pour l’installation 74
Déballage et inspection 74
Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-10 77
Procédure de démarrage 77
Procédure d’arrêt 78
Utilisation 79
Interface de l'utilisateur 80
Description des fonctions de la broche 81
Entretien 82

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 7
Nettoyage 82
Extérieur 82
Intérieur 82
Élimination 83
Service 84
Conditions environnementales, conformité et exigences liées aux
applications pratiques 85
Conditions environnementales 85
Compatibilité électromagnétique 85
EN55011/CISPR11 85
Déclaration CEM Classe A Corée du Sud 86
ICES/NMB-001 86
4Instrucciones de uso 87
Acerca del manual 88
Validez 88
Definiciones y terminología 89
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 89
Símbolos de advertencia 90
Seguridad 92
Advertencias CEM 92
EN 55011 Clase A Advertencia 92
FCC 93
Uso correcto 93
Uso incorrecto 94
Equipo de protección 95
Pautas de seguridad para bombas de vacío de
desplazamiento en seco 96

Contents
8 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Descripción del producto 97
Transporte y Almacenamiento 97
Instalación 98
Preparación para la instalación 98
Desembalaje e inspección 98
Puesta en marcha y funcionamiento de la bomba de
desplazamiento en seco IDP-10 101
Procedimiento de puesta en marcha 101
Procedimiento de apagado 102
Uso 103
Interfaz de usuario 104
Descripción de las funciones de los pines 105
Mantenimiento 106
Limpieza 106
Exterior 106
Interior 106
Eliminación 107
Servicio 108
Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad 109
Condiciones ambientales 109
Compatibilidad electromagnética 109
EN55011/CISPR11 109
Declaración EMC Clase A de Corea del Sur 110
CIEM/NMB-001 110

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 9
5使用说明111
关于本手册 112
有效性 112
定义与术语 113
小心、警告和注意的定义113
警告符号 114
安全性 116
EMC 警告 116
EN 55011 A类警告 116
美国联邦通信委员会(FCC) 117
正确使用 117
不当使用 118
防护设备 119
干式涡旋真空泵的安全指南 120
产品说明121
运输与储存121
安装 122
安装准备122
开箱验货 122
IDP-10 干式涡旋真空泵的启动和运行 125
启动程序 125
关闭程序 126
使用 127
用户界面 128
引脚功能说明129

Contents
10 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
维护 130
清洁130
外部 130
内部 130
处置131
服务132
环境条件、合规性和公用事业要求 133
环境条件 133
电磁兼容 133
EN55011/CISPR11 133
韩国A类EMC 声明 134
ICES/NMB-001 134
6取扱説明書 135
この説明書について 136
有効期 136
定義と用語 137
警告・注意・注の定義 137
警告の記号 138
安全性 140
EMC 警告 140
EN 55011 クラスA警告 140
FCC 141
適切な使用 141
不適切な使用 142
保護用装備 143

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 11
ドライスクロール真空ポンプ用 安全のガイドライン 144
製品説明 145
輸送＆保管 145
設置 146
設置の準備 146
開梱と検品 146
IDP-10 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について 149
起動時の手順 149
停止の手順 150
使用 151
ユーザーインターフェース 152
ピン機能の説明 153
メンテナンス 154
クリーニング 154
外面 154
内側 154
処分 155
サービス 156
環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件 157
環境条件 157
電磁両立性 157
EN55011/CISPR11 157
ICES/NMB-001 158

Contents
12 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
7Instructions for Use 159
About this manual 160
Validity 160
Definitions and terminology 161
Definition of Caution, Warning and Note 161
Warning Symbols 162
Safety 164
EMC Warnings 164
EN 55011 Class A Warning 164
FCC 165
Proper use 165
Improper use 166
Protective equipment 167
Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps 168
Product Description 169
Transport & Storage 169
Installation 170
Preparation for Installation 170
Unpacking and Inspection 170
Start-up and Operation of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump 173
Startup Procedure 173
Shutdown Procedure 174
Use 175
User Interface 176
Description of Pin Functions 177
Maintenance 178

Contents
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 13
Cleaning 178
Exterior 178
Interior 178
Disposal 179
Service 180
Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements 181
Environmental Conditions 181
Electromagnetic Compatibility 181
EN55011/CISPR11 181
South Korean Class A EMC declaration 182
ICES/NMB-001 182
8Technical Information 183
Description of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump 184
Technical Specifications 185
IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing 187
Electrical Connections 189
Power Cord 189
Grounding Instructions 189
Extension Cords 190
Inrush Current 191
Mechanical Connections 191
Isolation Valve 191
Pump Inlet 191
Pump Exhaust 191
Gas Ballast 192

Contents
14 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Pump Operations 193
Mounting of the IDP-10 Scroll Vacuum Pump 193
Protection Features 194
Troubleshooting 195
Kits and Service Options 196
Tip Seal Replacement 197

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 15
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 16
Validità 16
Definizioni e terminologia 17
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 17
Simboli di avvertenza 18
Sicurezza 20
Avvertenze EMC 20
EN 55011 Classe di avvertenza A 20
FCC 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll 24
Descrizione del prodotto 25
Trasporto e immagazzinamento 25
Installazione 26
Preparazione per l’installazione 26
Disimballaggio e ispezione 26
Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-10 Dry Scroll 29
Procedura di avvio 29
Procedura di arresto 30
Utilizzo 31
Interfaccia utente 32
Descrizione delle funzioni dei pin 33
Manutenzione 34
Pulizia 34
Esterno 34
Interno 34
Smaltimento 35
Servizio Post Vendita 36
Condizioni ambientali, conformità e requisiti di utilità 37
Condizioni ambientali 37
Compatibilità elettromagnetica 37
EN55011/CISPR11 37
Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud 38
ICES/NMB-001 38

Istruzioni per l’uso
16 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della IDP-10, con particolare
riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di
primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è
responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA 1 Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza la IDP-10 possa utilizzarla in sicurezza e garantire la perfetta efficienza,
per tutta la sua durata.
2 Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 17
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
18 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
della IDP-10. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Presenza di tensioni
pericolose
Pericolo generico
Messa a terra protettiva
Corrente alternata (CA)
Accensione
Spegnimento
Dichiarazione Europea
di Conformità
Rifiuti di apparecchiature elettriche ed elettroniche

Istruzioni per l’uso
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual 19
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Certificazione CE
Certificazione CSA
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche
Marchio di conformità alle normative (RCM)
Sito di produzione
Presenza di tensioni pericolose
Pericolo generico

Istruzioni per l’uso
20 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni prescritte dalla direttiva sulla bassa
tensione 2014/35/UE, essenziali per la conformità e l'osservanza delle norme di
sicurezza sia in generale sia in relazione all'uso specifico del prodotto.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Avvertenze EMC
EN 55011 Classe di avvertenza A
Questo è un prodotto di Classe A. In un ambiente domestico questo prodotto può
causare interferenze radio e in tal caso all'utente potrà essere richiesto di adottare
provvedimenti adeguati.
La pompa IDP-10 è stata testata con un cavo I/O (per il controllo da remoto) che
impiega schermature a treccia di lamina combinate con perline di ferrite a morsetto
e connettori a guscio metallico con schermi collegati al telaio della pompa IDP-10.
La conformità alle norme FCC Parte 15 e ai requisiti EMI dell'Unione europea non
può essere garantita a meno che non si utilizzi questo tipo di cavo I/O e una perlina
di ferrite.
Se l'installazione dell'unità non avvenisse in questo modo, potrebbe comportare il
mancato rispetto dei requisiti per le emissioni irradiate e la vulnerabilità.
La perlina di ferrite deve avere le seguenti caratteristiche:
 Tipo di ferrite: banda larga
 Caratteristiche di impedenza (Tabella 1).
 Larghezza sufficiente per inserire il cavo utilizzato.
Tabella 1 Caratteristiche di impedenza
Frequenza (Mhz) Impedenza nominale (Z)
25 25
100 250
300 420