Agilent Technologies Turbo-V 81-T User manual

Turbo-V 81-T
Models: 9698905, 9698906, 9698907,
9698908
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-900-984-01 (G)
12/2017

Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-984-01 (G)
Edition
Edition 12/2017
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Turbo-V 81-T
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 3/234
Turbo-V 81-T

Turbo-V 81-T
4/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)

Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 5/234
Contents
1
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
2
Gebrauchsanleitung25
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26
Allgemeine Informationen 27
Lagerung 29
Vor der Installation 30
Installation 31
Gebrauch 34
Wartung 35
Entsorgung 36

Contents
6/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
3
Mode d’emploi 37
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38
Indications générales 39
Stockage 41
Preparation pour l’installation 42
Installation 43
Utilisation 46
Entretien 47
Mise au rebut 48
4
Manual de istrucciones 49
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50
Información general 51
Almacenamiento 53
Preparación para la instalación 54
Instalación 55
Uso 58
Mantenimiento 59
Eliminación 60
5
Manual de Istruções 61
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62
Informações gerais 63
Armazenagem 65

Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 7/234
Preparação para a instalação66
Instalação 67
Utilização 70
Manutenção 71
Eliminação 72
6
Bedrijfshandleiding 73
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74
Algemene informatie 75
Opslag 77
Uitpakken 78
Installatie 79
Gebruik 82
Onderhoud 83
Afvalverwerking 84
7
Istruktionsbog 85
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86
Generel information 87
Opbevaring 89
Forberedelser før installation 90
Installation 91
Anvendelse 93
Vedligeholdelse 94

Contents
8/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Bortskaffelse 95
8
Bruksanvisning 97
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98
Allmän information 99
Förvaring 100
Förberedelser för installation 101
Installation 102
Användning 104
Underhåll 105
Bortskaffning 106
9
Instruksjon Manual 107
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108
Generell informasjon109
Lagring 110
Klargjøre til installasjon 111
Installasjon 112
Bruk 115
Vedlikehold 117
Eliminering 118
10
Ohjekäsikirja 119
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 120
Yleisiä tietoja 121

Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 9/234
Varastointi 122
Valmistelut asennusta varten123
Asennus 124
Käyttö 127
Huolto 128
Hävittäminen 129
11
Felhasználói Kézikönyv 131
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 132
Általános informáicó133
Tárolás 134
Előkészítés telepítésre 135
Telepítés 136
Használat 139
Karbantartás 140
Megsemmisítés 141
12
Podrecznik Instrukcji 143
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
144
Ogólne Informacje 145
Magazynowanie 146
Przygotowanie do instalacji 147
Instalacja 148
Użytkowanie 151

Contents
10/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Konserwacja 152
Przetworstwo odpadow 153
13
Návod k Použití 155
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 156
Všeobecné informace 157
Uskladnění 158
Příprava k instalaci 159
Instalace 160
Použití 162
Údržba 163
Likvidace 164
14
Návod na Obsluhu 165
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 166
Všeobecné informácie 167
Uchovávanie 168
Príprava na inštaláciu 169
Inštalácia 170
Použitie 173
Údržba 174
Likvidácia 175
15
Priročnik za Navodila 177
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 178

Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 11/234
Splošne informacije 179
Shranjevanje 180
Priprava za montažo 181
Montaža 182
Uporaba 185
Vzdrževanje 186
Odlaganje opadkov 187
16
Instructions for Use 189
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 190
General Information 191
Storage 192
Preparation for Installation 193
Installation 194
Use 196
Maintenance 197
Disposal 198
17
Technical Information 199
Description of the Turbo-V 81-T 200
Technical Specification 204
Turbo-V 81-T Outline206
Inlet Screen Installation 209
Heater Band Installation 212

Contents
12/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Air Cooling Kit Installation 214
Water Cooling Kit Installation 216
Vent Accessories 219
Vibration Isolator Installation220
Typical Layout Diagram 221
Pump used in Presence of Magnetic Fields 226
Accessories and Spare Parts 227
Vent Valve Model Selection Table 228

Turbo-V 81-T User Manual
13/234
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 15/234
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V 81-T sono pompe turbomolecolari per
applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompare qualsiasi
tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo. Non sono adatte per
il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-T è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 17/234
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da -20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
18/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Preparazione per l’installazione
La Turbo-V 81-T viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G) 19/234
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da +5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 –95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.

1 Istruzioni per l’uso
Installazione
20/234 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (G)
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-T devono essere
utilizzate solo con uno degli appositi controller Agilent e devono
essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo schema in
"Technical Information").
I controller disponibili sono i seguenti:
Rack controller 81-AG base: 9698988
Rack controller 81-AG RS232/485: 9698989
Rack controller 81-AG Profibus: 9698990
PCB 24 V: 9699538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 9698995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 9698996
La Turbo-V 81-T può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare
la Turbo-V 81-T in posizione stabile collegando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Per esempio la flangia ISO 63 può essere fissata con morsetti in
acciaio ad alta resistenza (tipo modello Agilent IC 63250 DCMZ).
La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
Tab. 1
FLANGIA TIPO DI MORSETTO N. COPPIA DI SERRAGGIO
ISO 63 Morsetto doppio con filettatura M10 4 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".