Agilent Technologies Navigator TV 551 SEM User manual

T
V 551/701 SEM
Navigator
Pump models
969-8935, 969-8936,969-8937, 969-8938
Controller models
969-8976, 969-8977
87-900-958-01(G)
04/2011
User Manual Manual de Instrucciones

TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
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© Agilent Technologies, Inc. 2011
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Manual Part Number
Publication Number: 87-900-958-01(G)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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1995), or as a “commercial item” as
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defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
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disclosure of Software is subject to
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commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TV 551/701 SEM Navigator
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 3/276
TV 551/701 SEM Navigator

TV 551/701 SEM Navigator
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Contents
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 5/276
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni generali 17
Immagazzinamento 18
Preparazione per l'installazione 19
Installazione 20
Fissaggio della pompa 21
Uso22
Manutenzione 25
Smaltimento 26
2Gebrauchsanleitung27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Lagerung 30
Vor der Installation 31
Installation 32
Befestigung der Pumpe 33
Gebrauch 34
Wartung 37

Contents
6/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
Entsorgung 38
3Mode d’emploi 39
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 40
Indications Generales 41
Stockage 42
Preparation pour l'installation 43
Installation 44
Fixation de la pompe45
Utilisation 46
Entretien 49
Mise au rebut 50
4Manual de istrucciones 51
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 52
Información general 53
Almacenamiento 54
Preparación para la instalación 55
Instalación 56
Fijación de la bomba 57
Uso58
Mantenimiento 61
Eliminación 62

Contents
12/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
16 Instructions for Use 195
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196
General Information 197
Storage 198
Preparation for Installation 199
Installation 200
Pump Fixing201
Use202
Maintenance 205
Disposal 206
17 Technical Information 207
Description of the TV 551/701 Navigator 209
Pump Description 210
Controller Description 212
Technical Specification 213
TV 551/701 SEM Navigator Outline 216
Interconnections 221
P3 – Vent 222
P4 – External Fan 222
J1 - In-Out 223
J2 – Serial 232
RS 232/RS 485 Communication Description 233

Contents
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 13/276
Inlet Screen Installation 243
Air Cooling Kit Installation 246
Water Cooling Kit Installation 250
Vent Accessories 252
Vibration Isolators 256
Purge Valve Installation 257
Serial Cable Installation 258
TV 551/701 SEM Controller Installation 259
Pump Used with Corrosive Gases265
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 268
Accessories and Spare Parts 268

Contents
14/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

TV 551/701 SEM Navigator User Manual
51/276
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
52
Información general 53
Almacenamiento 54
Preparación para la instalación 55
Instalación 56
Fijación de la bomba 57
Uso 58
Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator 59
Parada del TV 551/701 SEM Navigator 60
Parada de Emergencia 61
Mantenimiento 61
Eliminación 62
Traducción de las instrucciones originales

4Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
52/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de
instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido
a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica
de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre
el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación
podría ser liberada.
¡ADVERTENCIA!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en
el presente manual!

Manual de istrucciones
Información general
4
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 53/276
Información general
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el
aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no
autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
El TV 551/701 SEM Navigator es un sistema integrado compuesto por
una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el controler correspondiente. El sistema puede
bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es
adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de
bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad
(42000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto
rendimiento. El TV 551/701 SEM Navigator no posee ningún agente
contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que
requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el TV 551/701 SEM Navigator posee conectores auxiliares
con los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la
válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador host
conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.

4Manual de istrucciones
Almacenamiento
54/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
Este manual utiliza los siguientes símbolos convencionales:
¡ADVERTENCIA!
Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una operación específica que, al no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no
cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA Las notas contienen informaciones importantes extrapoladas del texto.
Almacenamiento
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento
por primera vez;
el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al
cliente.

Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
4
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 55/276
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de
almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores
informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de
Agilent.
Preparación para la instalación
El TV 551/701 SEM Navigator se suministra en un embalaje especial
de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que
no se caiga el TV 551/701 SEM Navigator y de no someterlo a golpes o
vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El
material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE
85/399 para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los
componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra
protección adecuada.
NOTA El TV 551/701 SEM Navigator no puede dañarse permaneciendo simplemente
expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la
bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.

4Manual de istrucciones
Instalación
56/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
Figura 1
Instalación
¡ATENCIÓN! Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba
al sistema.
Figura 2

Manual de istrucciones
Fijación de la bomba
4
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 57/276
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en
lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
temperatura: de +5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
humedad relativa: 0-95 % (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical
Information” para más detalles.
El TV 551/701 SEM Navigator ha de conectarse a una bomba primaria
(véase diagrama en “Technical Information”).
Fijación de la bomba
¡ADVERTENCIA!
En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede
ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la
conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la
bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto
del contenedor de la bomba. En este caso fragmentos de metal pueden ser
proyectados por la bomba o por el sistema, con consiguiente grave riesgo de
lesiones o muerte y/o daños a los aparatos adyacentes.
Fijar el TV 551/701 SEM Navigator en posición estable, montando la
brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema,
con conexión capaz de resistir a un par de 8600 Nm en torno a su
propio eje.
A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas de
acero de alta resistencia (como el modelo Agilent IC 63250 DCMZ).
En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la cantidad
de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de apriete con el
cual fijarlas.

4Manual de istrucciones
Uso
58/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
Tab. 1
BRIDA N. PAR DE APRIETE
ISO 160 K 10 35 Nm
ISO 200 K 8 35 Nm
Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
El TV 551/701 SEM Navigator puede instalarse en cualquier posición.
NOTA El TV 551/701 SEM Navigator no puede fijarse utilizando su base.
ATTENTION! El TV 551/701 SEM Navigator pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo
tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación
adecuada para dicha categoría. El TV 551/701 SEM Navigator tiene
conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que
deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte
bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo
conectado al TV 551/701 SEM Navigator mantenga una acción aisladora
incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido
por la normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
Uso
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales.
Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y
neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío,
la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.

Manual de istrucciones
Uso
4
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 59/276
¡ADVERTENCIA!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones
de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las
personas.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba
durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire
de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de
entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la
presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están
dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la
bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los
rodamientos (véase el anexo “Technical Information”).
¡ADVERTENCIA!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.No
usar la bomba cuando haya gases explosivos.
Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator
Para encender el TV 551/701 SEM Navigator basta con suministrar la
tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de
arranque y activa la bomba.

4Manual de istrucciones
Uso
60/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start” que,
al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita
automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha
posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a utilizar una
puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario rehabilitar la forma
anteriormente indicada mediante software (véase el apartado “RS
232 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical
Information”).
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 551/701
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas
del sistema:
encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el
sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de
“waiting for iterlock” ;
parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):
condición de error.
Parada del TV 551/701 SEM Navigator
Para parar el TV 551/701 SEM Navigator nte con desenchufarlo de la
corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la
bomba.
¡ADVERTENCIA!
Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con
cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para
pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente). Utilizar el
cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a
tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de
las normas CE. Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador
pueden provocar graves daños o incluso resultar fatales. Desconectar el
cable de alimentación antes de ejecutar las operaciones de mantenimiento
en el interior de la unidad.

Manual de istrucciones
Mantenimiento
4
TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 61/276
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 551/701 SEM
Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de
alimentación.
Mantenimiento
El TV 551/701 SEM Navigator no necesita ningún mantenimiento.
Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡ADVERTENCIA!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la
corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar
hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura
superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent o
el “Agilent advanced exchange service”, que permite obtener un
sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced
exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del
sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.