Pfeiffer Vacuum EVA 016S User manual

Betriebsanleitung
Operating manual
Mode d’emploi
BP 805 011 BN (9902) 1
Eckventil
Angle valve
Vanne d'équerre
mit Spindelantrieb
with spindle drive
avec entraînement par vis sans fin
EVA 016 S/SX
EVA 025 S/SX
EVA 040 S/SX
Montage
Betrieb
Technische Daten
Wartung
Mounting
Operation
Technical data
Maintenance
Montage
Fonctionnement
Caractéristiques techniques
Entretien

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 2
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die
Angaben des Typenschildes erforderlich.
Übertragen Sie daher diese Angaben auf
das Ebenbild.
Product identification
When communicating with
Pfeiffer Vacuum, the information given on
the nameplate is required. Transfer
therefore this information on the
representation of the nameplate.
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaquette
signalétique sont nécessaires pour les
communications à Pfeiffer Vacuum.
Transférer ces indications dans la
représentation de la plaquette
signalétique.
Typ:
No:
F-No:
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 3
Gültigkeit
Die vorliegende Dokumentation ist für
Produkte mit den Artikelnummern
PF A32 001 (EVA 016 S)
PF A32 031 (EVA 016 SX)
PF A42 001 (EVA 025 S)
PF A42 031 (EVA 025 SX)
PF A52 001 (EVA 040 S)
PF A52 031 (EVA 040 SX)
gültig. Sie finden die Artikelnummer auf
dem Typenschild.
Die beschriebenen Funktionen, Abbildun-
gen und Daten gelten unter dem Vorbe-
halt, dass eine Änderung jederzeit mög-
lich ist.
Validity
This manual applies to products with part
numbers
PF A32 001
(EVA 016 S)
PF A32 031 (EVA 016 SX)
PF A42 001 (EVA 025 S)
PF A42 031 (EVA 025 SX)
PF A52 001 (EVA 040 S)
PF A52 031 (EVA 040 SX)
The part number can be taken from the
nameplate.
The functions described as well as the
illustrations and data contained in this
manual are subject to change without
notice.
Validité
Le présent manuel est valable pour les
produits avec les numéros de référence
PF A32 001 (EVA 016 S)
PF A32 031 (EVA 016 SX)
PF A42 001 (EVA 025 S)
PF A42 031 (EVA 025 SX)
PF A52 001 (EVA 040 S)
PF A52 031 (EVA 040 SX)
Le numéro de référence figure sur la
plaquette signalétique.
Les fonctions décrites, les figures et les
données sont valables sous la réserve
d'éventuelles modifications.

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 4
Die hier beschriebenen Produkte sind
Eckventile für Vor- und Hochvakuumlei-
tungen, die sich universell einsetzen
lassen, z.B. als Grobdosierventile zur
Durchflussregelung, als Flutventile zum
Belüften von Anlagen oder als Absperr-
ventile.
Die Drehbewegungen beim Öffnen und
Schliessen des Ventils werden durch den
Spindelantrieb in Längsbewegungen um-
gewandelt.
The products described here are univer-
sal angle valves for use in fore and high
vacuum lines as coarse dosing valves for
conductance control, as venting valves for
vacuum systems, as cut-off valves, etc.
The rotary motion produced when the
knob is turned to open and close the
valve is transformed by the spindle drive
into linear motion.
Les produits décrites ici sont des vannes
d’équerre utilisables de façon universelle
pour conduites à vide primaire et à vide
élevé, par ex. comme vannes de dosage
grossier pour la régulation du débit,
comme vannes d’entrée d’air pour la
remise à la pression atmosphérique
d’installations à vide ou comme vannes
d’arrêt.
Les mouvements de rotation lors de
l’ouverture et la fermeture de la vanne
sont convertis en mouvements longitudi-
naux par l’entraînement par vis sans fin.

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 5
1 Sicherheit
1.1 Grundlegende Sicher-
heitsvermerke
a) Beachten Sie beim Umgang mit den
verwendeten Gasen die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmassnahmen.
Berücksichtigen Sie mögliche Reak-
tionen mit den Werkstoffen (→
2
14).
b) Beachten Sie bei Wartungsarbeiten
die angegebenen Schutzmassnahmen
(→
2
20).
c) Zur Wartung oder Reparatur einge-
sandte Produkte sollen nach Möglich-
keit frei von Schadstoffen sein (z.B.
radioaktiver, toxischer, ätzender oder
mikrobiologischer Art). Ansonsten ist
die Art der Kontamination zu deklarie-
ren.
Nicht eindeutig als „frei von Schad-
stoffen” deklarierte Produkte werden
kostenpflichtig dekontaminiert.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke auch
an andere Benutzer weiter.
1 Safety
1.1 Safety information
a) Take into account the relevant regula-
tions and safety measures for the
gases used.
Consider possible reactions with the
materials ( → 2 16).
b) Take the necessary precautions when
doing maintenance work (
→ 2 20).
c) Products returned to Pfeiffer Vacuum
for maintenance or repair should if at
all possible be free of harmful sub-
stances (e.g. radioactive, toxic,
caustic or microbiological). Otherwise
the type of contamination has to be
declared.
Products that are not clearly declared
as „free of harmful substances” are
decontaminated at the expense of the
customer.
Pass on the safety information to other
users.
1Sécurité
1.1 Indications concernant la
sécurité
a) Prendre en considération les disposi-
tions essentielles et les mesures de
précaution afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles
avec les matériaux (→
2
18).
b) Prendre toutes précautions d'usage
pour travaux d’entretien (→
2
20).
c) Les produits qui nous sont envoyés
en vue d’entretien ou de réparation
devraient dans la mesure du possible
être exempts de substances nocives
(soit radioactives, toxiques, corrosives
ou microbiologiques). Sinon, la nature
de la contamination doit être déclarée.
En absence d’une déclaration univo-
que confirmant que le produit est
„exempt de substances nocives”, le
produit est décontaminé aux frais du
client.
Transmettre les indications concernant la
sécurité aux autres utilisateurs.

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 6
1.2 Zeichenerklärung
GEFAHR:
Angaben bzw. Ge- und Verbote
zur Verhütung von Personen- oder
umfangreichen Sachschäden.
ACHTUNG:
Besondere Angaben bzw. Ge- und
Verbote zur Schadenverhütung.
HINWEIS:
Besondere Angaben zur wirt-
schaftlichen Verwendung.
Fachpersonal:
Diese Arbeiten dürfen nur durch
Personen ausgeführt werden, die
die geeignete technische Ausbil-
dung besitzen und über die nötigen
Erfahrungen verfügen.
20 Massangaben in mm
1.2 Explanation of symbols
DANGER:
Information on preventing personal
injury or extensive equipment
damage.
CAUTION:
Special information on damage
prevention.
NOTE:
Special information on cost-effec-
tive use.
Specialists:
These tasks may only be carried
out by persons with a suitable
technical education and the neces-
sary experience.
20
Lengths in mm
1.2 Explication des signes
DANGER:
Indications, directives et interdic-
tions concernant la prévention de
dommages corporels ou d'impor-
tants dégâts matériels.
ATTENTION:
Indications particulières, directives
et interdictions concernant la pré-
vention de dommages.
NOTE:
Indications particulières concer-
nant l'utilisation économique.
Spécialistes:
Ces travaux ne peuvent être effec-
tués que par des personnes ayant
une formation technique appro-
priée et l’expérience nécessaire.
20 Longueurs en mm

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 7
1.3 Allgemeine
Bestimmungen
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine
Verantwortung und Gewährleistung, falls
der Betreiber oder Drittpersonen
• das Produkt nicht bestimmungs-
gemäss einsetzen
• am Produkt Eingriffe jeglicher Art
(Umbauten, Änderungen usw.) vor-
nehmen
• das Produkt mit Zubehör betreiben,
welches in den zugehörigen Produkt-
dokumentationen nicht aufgeführt ist
Die Verantwortung im Zusammenhang
mit den verwendeten Gasen liegt beim
Betreiber.
1.3 General stipulations
Pfeiffer Vacuum accepts no responsibility
or warranty if the custodian or a third
party
• utilize the product not according to the
defined use
• make any kind of changes (modifica-
tions, alterations, etc.) to the product
• use the product with accessories not
listed in the product documentation
The custodian carries the responsibility in
conjunction with the used gases.
1.3 Prescriptions générales
Pfeiffer Vacuum n’assume aucune
responsabilité ni garantie dans le cas où
l’exploitant ou une tierce personne
• n’utilisent le produit pas conformé-
ment à l’usage défini
• apportent au produit des change-
ments (modifications, altérations, etc.)
• utilisent le produit avec des accessoi-
res non prévus dans les informations
concernant le produit
L'exploitant supporte la responsabilité
relative aux gaz utilisés.

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 8
2 Montage
Beachten Sie beim Umgang mit
Vakuumkomponenten die beson-
deren Regeln in Bezug auf Sau-
berkeit und Schutz vor Beschädi-
gung.
2 Mounting
Make sure to adhere to the special
regulations concerning cleanliness
and damage prevention when
working with vacuum components.
2 Montage
Tenir compte des mesures
particulières concernant
la
propreté et la prévention des
endommagements en utili-
sant des composants à vide.
DN
A
A
H
DN
Z
Fig. 2.1
DN A H Z
EVA 016 S/SX DN 16 ISO–KF 40 121 5
EVA 025 S/SX DN 25 ISO–KF 50 152 10
EVA 040 S/SX DN 40 ISO–KF 65 170 12
Schutzdeckel
Protective covers
Couvercles de protection
werden bei Wartungsarbeiten benötigt
are needed when doing maintenance work
nécessaires lors de travaux d’entretien
èSchutzdeckel entfernen
Remove protective covers
Enlever les couvercles de
protection
Ventilsitzseite
Valve seat side
Côté siège de vanne

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 9
Eckventil einbauen
Mount angle valve
Monter la vanne d’équerre
Bei KF–Flanschverbindungen mit
elastomeren Dichtringen (z.B.
O–Ring) und einem Überdruck
>4 bar muss der Dichtring mit ei-
nem Aussenzentrierring versehen
sein.
When using KF flanges with
elastomer sealing rings (e.g.
O–rings), the sealing ring must be
equipped with an outer centering
ring at overpressures >4 bar.
En cas d’utilisation de raccords
bridés KF avec des anneaux
d’étanchéité en élastomère (p.ex.
joints toriques) l’anneau d’étan-
chéité doit être équipé d’un an-
neau de centrage à des surpres-
sions >4 bar.
Bei Überdrücken >1 bar ist ein
Spannelement zu verwenden,
welches sich nur mit einem
Werkzeug schliessen und öffnen
lässt (z.B. Spannband–Spann-
ring).
At overpressures >1 bar a clamp
only to be opened and closed by
means of a tool (e.g. hose clip
clamping ring) has to be used.
A des surpressions >1 bar, un
élément de serrage ne s’ouvrant
qu’à l’aide d’un outil (p.ex. collier
de serrage à bande) doit être utili-
sé.
Fig. 2.2
Das Ventil kann anstelle eines Klein-
flansch–Bauteiles derselben Nennweite in
ein System eingebaut werden.
The valve can be mounted in a vacuum
system in place of a small flange fitting
with the same nominal diameter.
La vanne peut être montée dans un sys-
tème à la place d’un élément à petite
bride du même diamètre nominal.

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 10
Das Produkt ist nach dem An-
schluss an das Vakuumsystem
betriebsbereit.
The product is ready for operation
once it has been connected to the
vacuum system.
Le produit est prêt pour le service
après son raccordement au sys-
tème à vide.

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 11
3 Betrieb
Die Ventileinstellung kann auf einer Skala
mit 12 Teilstrichen pro Umdrehung abge-
lesen werden.
3 Operation
The valve position can be read on a scale
with 12 divisions per rotation.
3 Fonctionnement
La position de la vanne peut être lue sur
une échelle à 12 divisions par rotation.
Fig. 3.1
Schon ein kleiner Anpressdruck
der Ventiltellerdichtung gegen
den Ventilsitz garantiert eine
zuverlässige Dichtheit.
Unnötig hohe Anpressdrücke
verkürzen die Lebensdauer der
Ventiltellerdichtung.
Very low closing force is re-
quired to produce a reliable
seal between the valve plate
seal and the valve seat.
Applying more force than nec-
essary will shorten the lifetime
of the valve plate seal.
Une faible pression du joint du
plateau de vanne contre le
siège de la vanne suffit pour
garantir l’étanchéité.
Des pressions trop élevées
réduisent la durée de vie du
joint du plateau de vanne.
Öffnen
Open
Ouvrir
Schliessen
Close
Fermer
Ventileinstellung ab Werk:
leicht geöffnet
Factory-set valve position:
slightly opened
Position de la vanne réglée à l’usine:
légèrement ouverte

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 12
3.1 Druckfestigkeit und
Differenzdruck
3.1 Overpressure and pressure
difference
3.1 Surpression et pression
différentielle
Fig. 3.2
Maximaler Differenzdruck ∆p = 4 bar
Maximum pressure difference ∆ p = 4 bar
Pression différentielle maximale
∆p = 4 bar
Maximaler Differenzdruck ∆p = 4 bar
Maximum pressure difference ∆ p = 4 bar
Pression différentielle maximale ∆p = 4 bar
Druckfestigkeit
Overpressure
Surpression
EVA 016 S
EVA 016 SX 8 bar 8 bar
EVA 025 S
EVA 025 SX 6 bar 6 bar
EVA 040 S
EVA 040 SX 4 bar 4 bar

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 13
4 Technische Daten
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Anschlussnennweite DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Leitwert bei Molekular-
strömung l/s 3 3 15 15 38 38
Dichtheit mbar l/s 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9
Einbaulage beliebig beliebig beliebig beliebig beliebig beliebig
Standzeit bis zur ersten
Wartung Zyklen 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001)
Max. Differenzdruck
in Schliessrichtung bar 4 4 4 4 4 4
in Öffnungsrichtung bar 4 4 4 4 4 4
Druckfestigkeit bar 8 8 6 6 4 4
Öffnen gegen
Differenzdruck bar 4 4 4 4 4 4
Anzahl Umdrehungen
für gesamten Ventilhub Umdreh- ungen 31/331/362/362/388
1) bei sauberen Betriebsbedingungen

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 14
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Umgebungstemperatur °C 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60
Ausheiztemperatur
Gehäuse °C 150 150 150 150 150 150
Antrieb °C 120 120 120 120 120 120
Werkstoffe
Gehäuse Al–Profil
3.2315.61 rostf. Stahl 1.4305 Al–Profil 3.2315.61 rostf. Stahl 1.4305 Al–Profil 3.2315.61 rostf. Stahl 1.4305
Balg rostf. Stahl
1.4404 rostf. Stahl 1.4404 rostf. Stahl 1.4404 rostf. Stahl 1.4404 rostf. Stahl 1.4404 rostf. Stahl 1.4404
Dichtungen Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Abmessungen →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19
Gewicht kg 0,4 0,6 0,6 1,3 1,0 2,2
2) –15 °C, sofern die Umgebung frei von kondensierbaren Gasen ist

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 15
4 Technical data
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Flange connection DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Conductance for
molecular flow l/s 3 3 15 15 38 38
Tightness mbar l/s 1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
Mounting orientation any any any any any any
Cycles to first
maintenance 1.500.000
3)
1.500.000
3)
1.500.000
3)
1.500.000
3)
1.500.000
3)
1.500.000
3)
Max. pressure
difference
in closing direction bar) 4 4 4 4 4 4
in opening direction bar 4 4 4 4 4 4
Max. overpressure bar 8 8 6 6 4 4
Can be opened to a
pressure difference of bar 4 4 4 4 4 4
Number of rotations
through the range of
movement rotations 3
1
/
3
3
1
/
3
6
2
/
3
6
2
/
3
88
3)
under clean operating conditions

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 16
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Ambient temperature °C 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60
Bakeout temperature
Housing °C 150 150 150 150 150 150
Actuator °C 120 120 120 120 120 120
Materials
Housing Al alloy
3.2315.61 Stainless steel 1.4305 Al alloy 3.2315.61 Stainless steel 1.4305 Al alloy 3.2315.61 Stainless steel 1.4305
Bellows Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Seals Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Dimensions
→ 2 19 → 2 19 → 2 19 → 2 19 → 2 19 → 2 19
Weight kg 0.4 0.6 0.6 1.3 1.0 2.2
4 )
–15 °C, if the ambiance is free of condensable gases

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 17
4Caractéristiques techniques
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Diamètre nominal de
raccordement DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Conductance pour
régime moléculaire l/s 3 3 15 15 38 38
Etanchéité mbar l/s 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9
Position de montage indifférente indifférente indifférente indifférente indifférente indifférente
Cycles avant entretien 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005)
Pression différentielle
max.
sens de fermeture bar 4 4 4 4 4 4
sens d’ouverture bar 4 4 4 4 4 4
Surpression max. bar 8 8 6 6 4 4
Ouverture contre la
pression différentielle bar 4 4 4 4 4 4
Nombre de rotations
pour toute la course
de la vanne rotations 31/331/362/362/388
5) dans des conditions de fonctionnement propres

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 18
EVA 016 S EVA 016 SX EVA 025 S EVA 025 SX EVA 040 S EVA 040 SX
Température ambiante °C 56) ...60 56)...60 56) ...60 56) ...60 56) ...60 56) ...60
Température d’étuvage
Boîtier °C 150 150 150 150 150 150
Entraînement °C 120 120 120 120 120 120
Matériaux
Boîtier Profilé d’Al
3.2315.61 Acier inox 1.4305 Profilé d’Al 3.2315.61 Acier inox 1.4305 Profilé d’Al 3.2315.61 Acier inox 1.4305
Soufflet Acier inox
1.4404 Acier inox 1.4404 Acier inox 1.4404 Acier inox 1.4404 Acier inox 1.4404 Acier inox 1.4404
Joints Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Dimensions →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19 →
2
19
Poids kg 0,4 0,6 0,6 1,3 1,0 2,2
6) –15 °C, dans une ambiance exempte de gaz condensables

BP 805 011 BN (9902) EVA 016–040 S/SX 19
DN
A
A
H
DN
Ø D1
Ø D2
Z
Fig. 4.1
Schutzdeckel
Protective cover
Couvercle de protection
Ventilsitzseite
Valve seat side
Côté siège de vanne
DN A D1 D2 H Z
EVA 016 S/SX DN 16 ISO-KF 40 Ø50 Ø38 121 5
EVA 025 S/SX DN 25 ISO-KF 50 Ø64 Ø48 152 10
EVA 040 S/SX DN 40 ISO-KF 65 Ø82 Ø48 170 12

Fehler! Textmarke nicht definiert. (9902) EVA 016–040 S/SX 20
5 Wartung
Bei sauberen Betriebsbedingungen ist
das Produkt während seiner Standzeit
wartungsfrei.
Wir empfehlen, defekte Produkte zur
Reparatur an Ihre nächste
Pfeiffer Vacuum–Servicestelle zu senden.
Personal, das Wartungsarbeiten
durchführt, muss vor Aufnahme
der Arbeiten über den Zustand der
kontaminierten Vakuumgeräte und
-komponenten informiert werden.
Beachten Sie beim Umgang mit
Reinigungsmitteln die einschlägi-
gen Vorschriften und Schutz-
massnahmen bezüglich deren
Handhabung und Entsorgung.
Beachten Sie beim Umgang mit
Vakuumkomponenten die beson-
deren Regeln in Bezug auf Sau-
berkeit und Schutz vor Beschädi-
gung.
5 Maintenance
Under clean operating conditions the
product requires no maintenance during
the rated cycle life.
We recommend to return defective prod-
ucts to your nearest Pfeiffer Vacuum
Service Center for repair.
Persons performing maintenance
work must first receive information
concerning the state of the con-
taminated vacuum units and their
components.
When using cleaning agents make
sure that the applicable handling
and disposal regulations and
safety measures are strictly fol-
lowed.
Make sure to adhere to the special
regulations concerning cleanliness
and damage prevention when
working with vacuum components.
5 Entretien
Dans des conditions de service propres,
aucun entretien n’est nécessaire pendant
la durée de vie indiquée du produit.
Nous recommandons d’envoyer les pro-
duits défectueux pour leur réparation au
service après vente Pfeiffer Vacuum le
plus proche.
Le personnel d’entretien doit être
informé avant le début des travaux
sur l’état de contamination des
instruments et composants pour le
vide.
Lors de l'utilisation des produits de
nettoyage, observer les prescrip-
tions et les mesures de sécurité
appropriées concernant la manu-
tention et l’élimination.
Tenir compte des mesures parti-
culières concernant
la propreté et
la prévention des endommage-
ments en utilisant des compo-
sants à vide.