Agilent Technologies 9130037 User manual

Miniature and 2 l/s
VacIon Pumps
Miniature Models: 9130037, 9130038,
9130040, 9130041, 9130049, 9130050
Magnet: 9130042
2 l/s Models: 9130032, 9130034, 9130035,
9130045, 9130046, 9130047, 9130052,
9135000. Magnet: 9130011
Manuale di Istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de Mode D’Emploi
User Manual
87-400-044-01 (F)
03/2016

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-400-044-01 (F)
Edition
Edition 03/2016
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Miniature pumps
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 3/58
Miniature pumps

2 l/s VacIon pumps
4/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
2 l/s VacIon pumps

Contents
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 5/58
Contents
1
Istruzioni per l’uso 7
Informazioni di Sicurezza8
Informazioni Generali 9
Installazione 11
Note di Funzionamento 13
Condizioni di Funzionamento Anomale 15
Smaltimento 17
2
Gebrauchsanleitung19
Sicherheitshinweise 20
Allgemeine Hinweise 21
Installation 23
Funktionsweise 25
Betriebsstörungen 27
Entsorgung 29
3
Mode d’emploi 31
Informations sur la Sécurité 32
Indications Générales 33
Installation 35
Notes de Fonctionnement 37

Contents
6/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Conditions de Fonctionnement Anormales 39
Mise au Rebut 41
4
Instructions for Use 43
Safety Information 44
General Information 45
Installation 47
Operating Notes49
Unusual Operating Conditions 51
Disposal 52

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual
7/58
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni di Sicurezza 8
Informazioni Generali 9
Installazione 11
Collegamento dell’unità di controllo 12
Note di Funzionamento 13
Operazione di “bakeout” 14
Condizioni di Funzionamento Anomale 15
Bassa corrente 15
Alta corrente 15
Smaltimento 17
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni di Sicurezza
8/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Informazioni di Sicurezza
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 9/58
Informazioni Generali
Queste istruzioni contengono informazioni di base per l’installazione
e l’uso delle Pompe Miniature e 2 l/s VacIon.
La seguente tabella elenca i modelli disponibili:
Tab. 1
MODELLO P/N
Miniature
Con tubo in rame 180 ° 913-0037
Con tubo in rame 90 ° 913-0040
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8” OD 180 ° 913-0038
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/8” OD 90 ° 913-0041
Con tubo in rame da 3/8” OD 180 °, preparata sotto vuoto 913-0049
Con tubo in rame da 3/8” OD 90 °, preparata sotto vuoto 913-0050
Magnete in Alnico 913-0042
2 l/s
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4” OD 180° 913-0032
Con tubo in Kover-glass da 3/4” OD 913-0034
Con tubo in rame da 3/4” OD 180 °, preparata sotto vuoto 913-0035
Con tubo in acciaio inossidabile corto da 3/4” OD 913-0047
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4” OD 180 °, preparata sotto vuoto 913-0045
Con tubo in acciaio inossidabile da 3/4” OD 90 ° a T 913-0046
Con tubo in rame OFHC da 3/4” OD 913-0052
Con flangia 1 1/3” CF 180 ° preparata sotto vuoto 913-5000
Magnete in Alnico 913-0011

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
10/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Il sistema di pompaggio completo comprende La pompa VacIon, il
suo magnete, ed un alimentatore. Queste pompe VacIon funzionano
sul principio getter nel campo da 10-3 Torr a meno di 10-9 Torr. Per
portare il sistema dalla pressione a meno di 10-3 Torr, è necessaria
una pompa di prevuoto.
La pompa deve essere alimentata tramite una tensione positiva di
3000-3500 Volt (a circuito aperto). La corrente di alimentazione e
quella di corto circuito fornita dall’alimentatore devono
corrispondere alla corrente assorbita dalla pompa alla sua massima
pressione di esercizio.

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 11/58
Installazione
Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il sistema puliti.
Evitare di toccare le superfici che saranno sotto vuoto. Quando la
pompa è aperta all’aria, far attenzione a non introdurre particelle
estranee, olio, fondente per saldatura, o qualsiasi sostanza volatile.
Pulire accuratamente il sistema prima del collegamento della pompa.
Una pulizia del sistema del vuoto con prodotti chimici sarebbe il
metodo più completo; tuttavia non utilizzarlo quando sono presenti
cavità e fessure che impediscano il risciacquo
Normalmente è sufficiente uno sgrassaggio con acetone o metanolo
ed un successivo risciacquo con acqua.
Per ottenere la massima velocità di pompaggio collegare la pompa al
sistema con un tubo il più corto ed il più largo possibile.
Per lavorazioni in ultra vuoto, le giunzioni devono essere saldate con
gas inerte (TIG), brasate con idrogeno o sotto vuoto.
Le guarnizioni nel sistema devono essere di metallo morbido tipo
rame ricotto, alluminio o oro.
Dopo che la pompa è stata sigillata nel sistema, ricontrollare che
l’intero sistema non presenti perdite.
Fissare il magnete alla relativa staffa della pompa tramite le viti in
dotazione.

1 Istruzioni per l’uso
Installazione
12/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Collegamento dell’unità di controllo
WARNING!
Le tensioni generate dall’unità di controllo ed utilizzate dalle pompe VacIon
sono potenzialmente letali. Per operare in sicurezza assicurarsi che il
collegamento di massa sia realizzato correttamente.
Collegare l’unità di controllo alla pompa come segue:
1Collegare la pompa alla massa dell’alimentatore sistemando la
molletta di massa sul passante della pompa prima di collegare il
cavo di alta tensione. Con i cavi provvisti di filo di massa,
collegare il filo di massa ad una massa del sistema.
2L’alimentatore si collega a massa attraverso il suo cavo di
alimentazione. Perciò, per assicurare un circuito completamente
collegato a massa, la spina a tre poli del cavo di alimentazione
deve essere inserita in una presa con collegamento di terra. Non
utilizzare prese di adattamento che non permettano la chiusura
del circuito di terra.

Istruzioni per l’uso
Note di Funzionamento
1
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 13/58
Note di Funzionamento
Le pompe VacIon funzionano ionizzando il gas mediante una scarica
confinata magneticamente (cella Penning). Una tensione di circa 3 kV
viene applicata all’anodo mentre i catodi sono mantenuti a massa. Un
campo magnetico assiale di circa 1200 gauss impedisce che gli
elettroni giungano direttamente all’anodo. Un isolante schermato
isola l’anodo dal potenziale di terra. Nel funzionamento corretto della
pompa VacIon (con il magnete installato), la corrente assorbita è
proporzionale alla pressione (vedere la figura seguente).
Figura 1
Curva pressione-corrente
Dopo che il sistema ha raggiunto una pressione inferiore ai 10-2 Torr,
si può avviare la pompa semplicemente accendendo l’unità di
controllo. L’avvio della pompa viene indicato dalla presenza di un
assorbimento di corrente da parte dell’unità di controllo.
NOTA Prima di scollegare il cavo dell’alimentatore attendere sempre almeno 30
secondi dallo spegnimento dell’alta tensione in modo da permettere che il
condensatore dell’alimentatore si scarichi adeguatamente.

1 Istruzioni per l’uso
Note di Funzionamento
14/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Operazione di “bakeout”
Quando una pompa VacIon non raggiunge la pressione base
desiderata e non ci sono perdite, è necessario eseguire un “bakeout”
del sistema per eliminare il vapore acqueo. Questa operazione viene
eseguita riscaldando la pompa e tutti gli elementi del sistema.
1Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per mezzo di un forno o
elementi riscaldanti ad una temperatura tra 150 e 250 °C (250 °C
è la massima temperatura sopportata da molti cavi di alta
tensione). Questa temperatura è abbastanza elevata in modo da
“degassare” le superfici della pompa dal vapore acqueo senza
danneggiare il magnete ed il connettore dell’alta tensione.
Occorre fare attenzione che gli altri componenti del sistema
sopportino la temperatura di riscaldamento. Il riscaldamento
deve essere il più possibile uniforme su tutte le superfici per
evitare che il vapore si ricondensi sulle parti più fredde
impedendo così il raggiungimento di valori elevati di vuoto.
2Lasciare accesa l’unità di controllo e controllare che la pressione
non superi il valore di 5x10-5 Torr (mbar). Nel caso in cui si
superi il suddetto valore, occorre spegnere il riscaldatore e
riaccenderlo quando si è ripristinata la bassa pressione. Per
controllare i riscaldatori ed i valori di pressione in modo
automatico durante il riscaldamento, occorre utilizzare un relè
sensibile alla pressione.
3Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore. Periodi più lunghi
di riscaldamento sono necessari quando la pompa deve essere
usata con carichi di gas pesanti, o quando si desiderano valori di
vuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o inferiori.
4A mano a mano che la pompa ed il sistema ritornano alla
temperatura ambiente, si deve osservare un abbassamento della
pressione.
5Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche c’è anche la
possibilità del loro impiego per processare sotto vuoto altri
componenti. Poichè il passante di alta tensione può sopportare
un numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a 400 °C), si
raccomanda di limitare tali cicli al minimo possibile, per
aumentare la durata di vita della pompa stessa.

Istruzioni per l’uso
Condizioni di Funzionamento Anomale
1
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 15/58
Condizioni di Funzionamento Anomale
Bassa corrente
Se il valore di corrente letto è inferiore a quello normale per quel
dato valore di pressione (vedere il diagramma precedente), la scarica
si potrebbe essere fermata.
Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere il magnete ed
osservare la corrente residua. Se la corrente non cambia con e senza
il magnete, non è in corso alcuna scarica nella pompa.
aPer riavviare la scarica, colpire il corpo pompa con un attrezzo di
plastica morbida, o riscaldarlo localmente con un piccolo
saldatore. In questo modo si libera del gas dalla superficie
all’interno della pompa e la scarica dovrebbe riprendere. NON
COLPIRE MAI la pompa con un attrezzo metallico.
bSe il campo magnetico scende sotto il suo valore di targa, la
scarica della pompa e la velocità si ridurranno e la scarica
potrebbe spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7 Torr.
Alta corrente
Se il valore di corrente letto è superiore a quello normale per quel
dato valore di pressione (vedere il diagramma precedente),
controllare quanto segue:
aChe il cavo dell’alta tensione non sia in corto circuito. Riparare o
sostituire.
bChe non ci sia una dispersione all’interno dell’unità di controllo.
Riparare secondo quanto indicato sul relativo manuale.
cChe non ci sia un corto circuito sugli isolatori di supporto
dell’anodo causato da frammenti di film di Titanio. Colpire la
pompa come descritto al passo a) del paragrafo precedente
potrebbe porre rimedio a questa situazione.

1
Istruzioni per l’uso
Condizioni di Funzionamento Anomale
16/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
dChe non ci sia una emissione di corrente da “punte” che si siano
formate sui catodi. Applicare alla pompa una tensione tra 5 e 6
kV ac con una corrente tra 20 e 30 mA tra 5 e 20 secondi per
bruciare le “punte”.
eChe non ci siano rivestimenti di film metallici conduttori sugli
isolatori a causa di un funzionamento sopra i 10-2 Torr per elevati
periodi di tempo. Poiché non è possibile smontare la pompa,
questa condizione è causa di una limitazione del tempo di vita
della pompa. Evitare di usare la pompa ad alte pressioni per
lunghi periodi.

Istruzioni per l’uso
Smaltimento
1
Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 17/58
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette.
Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)
indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito
insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere
avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
Per maggiori informazioni riferirsi a:
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml

1 Istruzioni per l’uso
Smaltimento
18/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual
19/58
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise 20
Allgemeine Hinweise 21
Installation 23
Anschluss des Controllers 24
Funktionsweise 25
Bakeout 26
Betriebsstörungen 27
Stromstärke zu niedrig 27
Stromstärke zu hoch 27
Entsorgung 29
Übersetzung der Originalanleitungen

2 Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise
20/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Sicherheitshinweise
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor dem
Gebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren von
Agilent mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Bei
vollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der
einschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt Firma Agilent
keinerlei Haftung.
In diesem Handbuch werden bestimmte Textstellen wie folgt
hervorgehoben:
VORSICHT! Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen darauf aufmerksam,
dass bei Nichteinhaltung Schäden am Gerät entstehen können.
WARNUNG!
Die Warnhinweise richten die Aufmerksamkeit auf eine spezielle Prozedur
oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Personenschäden zur
Folge haben könnte.
HINWEIS Die HINWEISE enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.