Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series User manual

T
urbo-V 81-M
Models: 969-8901, 969-8902, 969-8903,
969-8904
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-900-983-01 (E)
04/2011

Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-983-01 (E)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
CAUTION
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
WARNING
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Turbo-V 81-M
Turbo-V 81-M
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 3/228

Turbo-V 81-M
4/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Contents
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
2Gebrauchsanleitung25
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26
Allgemeine Informationen 27
Lagerung 29
Vor der Installation 30
Installation 31
Gebrauch 34
Wartung 35
Entsorgung 36
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 5/228

Contents
3Mode d’emploi 37
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38
Indications générales 39
Stockage 41
Preparation pour l’installation 42
Installation 43
Utilisation 46
Entretien 47
Mise au rebut 48
4Manual de istrucciones 49
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50
Información general 51
Almacenamiento 53
Preparación para la instalación 54
Instalación 55
Uso 58
Mantenimiento 59
Eliminación 60
5Manual de Istruções 61
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62
Informações gerais 63
Armazenagem 65
6/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Contents
Preparação para a instalação66
Instalação 67
Utilização 70
Manutenção 71
Eliminação 72
6Bedrijfshandleiding 73
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74
Algemene informatie 75
Opslag 77
Uitpakken 78
Installatie 79
Gebruik 82
Onderhoud 83
Afvalverwerking 84
7Istruktionsbog 85
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86
Generel information 87
Opbevaring 89
Forberedelser før installation 90
Installation 91
Anvendelse 93
Vedligeholdelse 94
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 7/228

Contents
Bortskaffelse 95
8Bruksanvisning 97
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98
Allmän information 99
Förvaring 100
Förberedelser för installation 101
Installation 102
Användning 104
Underhåll 105
Bortskaffning 106
9Instruksjon Manual 107
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108
Generell informasjon109
Lagring 110
Klargjøre til installasjon 111
Installasjon 112
Bruk 114
Vedlikehold 115
Eliminering 116
10 Ohjekäsikirja 117
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118
Yleisiä tietoja 119
8/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Contents
Varastointi 120
Valmistelut asennusta varten121
Asennus 122
Käyttö 124
Huolto 125
Hävittäminen 126
11 Felhasználói Kézikönyv 127
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 128
Általános informáicó129
Tárolás 130
Előkészítés telepítésre 131
Telepítés 132
Használat 135
Karbantartás 136
Megsemmisítés 137
12 Podrecznik Instrukcji 139
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
140
Ogólne Informacje 141
Magazynowanie 142
Przygotowanie do instalacji 144
Instalacja 145
Użytkowanie 148
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 9/228

Contents
Konserwacja 149
Przetworstwo odpadow 150
13 Návod k Použití 151
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152
Všeobecné informace 153
Uskladnění 154
Příprava k instalaci 155
Instalace 156
Použití 158
Údržba 159
Likvidace 160
14 Návod na Obsluhu 161
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162
Všeobecné informácie 163
Uchovávanie 164
Príprava na inštaláciu 166
Inštalácia 167
Použitie 170
Údržba 171
Likvidácia 172
15 Priročnik za Navodila 173
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 174
10/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Contents
Splošne informacije 175
Shranjevanje 176
Priprava za montažo 177
Montaža 178
Uporaba 180
Vzdrževanje 181
Odlaganje opadkov 181
16 Instructions for Use 183
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 184
General Information 185
Storage 186
Preparation for installation 187
Installation 188
Use 190
Maintenance 191
Disposal 192
17 Technical Information 193
Description of the Turbo-V 81-M 194
Technical Specification 198
Turbo-V 81-M Outline 200
Inlet Screen Installation 202
Heater Band Installation 205
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 11/228

Contents
12/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Air cooling kit installation 207
Water Cooling Kit Installation 209
Vent Accessories 212
Vibration Isolator Installation213
Typical Layout Diagram 214
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 219
Accessories and Spare Parts 220
Vent valve model Selection table 221

Turbo-V 81-M User Manual
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
Traduzione delle istruzioni originali
13/228

1Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!
14/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V 81-M sono pompe turbomolecolari per
applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompare qualsiasi
tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo. Non sono adatte per
il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-M è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 15/228

1Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
16/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 17/228

1Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
Preparazione per l’installazione
La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.
18/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da +5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 19/228

1Istruzioni per l’uso
Installazione
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-M devono essere
utilizzate solo con uno degli appositi controller Agilent e devono
essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo schema in
"Technical Information").
I controller disponibili sono i seguenti:
Rack controller 81-AG base: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
La Turbo-V 81-M può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare
la Turbo-V 81-M in posizione stabile collegando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Per esempio la flangia ISO 63 può essere fissata con mor-setti in
acciaio ad alta resistenza (tipo modello Agilent IC 63250 DCMZ).
La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
Tab. 1
FLANGIA TIPO DI MORSETTO PAR DE APRIETE COPPIA DI SERRAGGIO
ISO 63 Morsetto doppio con
filettatura M10
4 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".
20/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)