Agilent Technologies TwisTorr 305 FS Series User manual

TwisTorr 305 FS
Pump models:
X3513-64008, X3513-64009,
X3513-64010, X3513-64011,
X3513-64012, X3513-64013,
X3513-64014, X3513-64015
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d’emploi
Manual de istrucciones
用户手册
ユーザーマニュアル
User Manual
87-901-057-01
12/2019

TwisTorr 305 FS User Manual/ 87-901-057-01
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2019
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-057-01
Edition
Edition 12/2019
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
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as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 3/258
TwisTorr 305 FS

TwisTorr 305 FS
4/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
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Contents
Istruzioni per l’uso
Contents
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 5/258
Contents
1Istruzioni per l’uso 15
Informazioni su questo manuale 17
Validità 17
Definizioni e terminologia 18
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 18
Simboli di Avvertenza 19
Sicurezza 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 25
Transporto & Immagazzinamento 26
Descrizione del prodotto 27
Installazione 28
Preparazione per l’installazione 28
Apertura 30
Riparazione di TwisTorr 305 FS 32
Collegamento della flangia per alto vuoto 33
Installazione della flangia ISO-K 34
Installazione della flangia ConFlat 35
Collegamento della pompa del vuoto anteriore 36
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS 37
Arresto di TwisTorr 305 FS 38
Arresto di emergenza 38

Contents
6/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
Manutenzione 39
Vita del rotore 39
Soft Start 40
Pulizia 40
Smaltimento 41
Servizio post vendita 42
2Gebrauchsanleitung 43
Über dieses Handbuch 45
Gültigkeit 45
Begriffsbestimmungen und Terminologie 46
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 46
Warnsymbole 47
Sicherheit 49
Sachgemäße Verwendung 49
Unsachgemäße Verwendung 50
Schutzausrüstung 51
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 53
Transport und Lagerung 54
Produktbeschreibung 55
Installation 56
Vorbereitung zum Einbau 56
Einrichten 58
Montage von TwisTorr 305 FS 60
Anschluss des Hochvakuumflansches 61
Installation des ISO-K-Flansches 62
Installation des ConFlat-Flansches 63
Anschluss der Vorvakuumpumpe 64
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS 65

Contents
Istruzioni per l’uso
Contents
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 7/258
Stoppen des TwisTorr 305 FS 66
Notausschaltung 66
Wartung 67
Rotordauer 67
Sanftanlauf 68
Reinigung 68
Entsorgung 69
Service 70
3Mode d’emploi 71
À propos de ce manuel 73
Validité 73
Définitions et terminologie 74
Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » 74
Symboles d’avertissement 75
Sécurité 77
Utilisation appropriée 77
Utilisation inappropriée 78
Équipement de protection 79
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 81
Transport et entreposage 82
Description du produit 83
Installation 84
Préparation pour l’installation 84
Configuration 86
Montage du TwisTorr 305 FS 88
Raccordement de la bride à vide élevé 89
Installation de la bride ISO-K 90

Contents
8/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
Installation de la bride ConFlat 91
Raccordement de la bride à vide préliminaire 92
Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS 93
Arrêt du TwisTorr 305 FS 94
Arrêt d’urgence 94
Entretien 95
Durée de vie du rotor 95
Démarrage progressif 96
Nettoyage 96
Mise au rebut 97
Service 98
4Instrucciones de Uso 99
Acerca del manual 101
Validez 101
Definiciones y terminología 102
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 102
Símbolos de advertencia 103
Seguridad 105
Uso correcto 105
Uso incorrecto 106
Equipo de protección 107
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 109
Transporte y almacenamiento 110
Descripción del producto 111
Instalación 112
Preparación para instalación 112
Puesta en marcha 114
Montaje de la TwisTorr 305 FS 116

Contents
Istruzioni per l’uso
Contents
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 9/258
Conexión de la brida de alto vaciado 117
Instalación de la brida ISO-K 118
Instalación de la brida ConFlat 119
Conexión de la bomba pre-vaciado 120
Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS 121
Parada de la TwisTorr 305 FS 122
Parada de emergencia 122
Mantenimiento 123
Vida del rotor 123
Arranque suave 124
Limpieza 124
Eliminación 125
Servicio 126
5使用说明 127
关于这本手册 129
有效性 129
定义和术语 130
警告、警告和注释的定义 130
警告符号 131
安全 133
正确使用 133
使用不当 134
防护设备 135
涡轮分子泵安全指南 137
运输及存储 138

Contents
10/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
产品描述 139
安装 140
安装准备140
设置 142
TwisTor 305 FS 的安装 144
高真空法兰的连接 145
ISO-K 法兰的安装 146
ConFlat 法兰的安装 147
前真空泵的连接 148
TwisTorr 305 FS 的启动和运行 149
停止 TwisTorr 305 FS 150
紧急停止 150
维护 151
转子寿命 151
慢启动 152
清洗 152
处置方式 153
服务154
6使用方法 155
このマニュアルについて 157
定義と用語 158
警告の記号 159
安全性 161
適切な使用 161

Contents
Istruzioni per l’uso
Contents
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 11/258
不適切な使用 162
保護用装備 163
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 165
移送＆保管 166
製品説明 167
取り付け 168
取り付けの準備 168
セットアップ 170
TwisTorr 305 FS 実装 172
高真空フランジの接続 173
ISO-K フランジの取り付け 174
ConFlat フランジの取り付け 175
フォア真空ポンプの接続 176
TwisTorr 305 FS を停止する 178
緊急停止 178
メンテナンス 179
ローターの寿命 179
ソフトスタート 180
クリーニング 180
廃棄 181
サービス 182
7Instructions for Use 183
About this manual 185
Validity 185
Definitions and terminology 186
Warning Symbols 187

Contents
12/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
Safety 189
Proper Use 189
Improper Use 190
Protective equipment 191
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 193
Transport & Storage 194
Product description 195
Installation 196
Preparation for Installation 196
Set-up 198
TwisTorr 305 FS Mounting 200
Connection of the High Vacuum Flange 201
Installation of ISO-K Flange 202
Installation of ConFlat Flange 203
Connection of the Fore-Vacuum Pump 204
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS 205
Stopping the TwisTorr 305 FS 206
Emergency stop 206
Maintenance 207
Rotor life 207
Soft Start 208
Cleaning 208
Disposal 209
Service 210

Contents
Istruzioni per l’uso
Contents
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 13/258
8Technical Information 211
Description of the TwisTorr 305 FS 213
Technical Specification 219
TwisTorr 305 FS Outline 222
Interconnections 233
Earth (Ground) Connection 233
Pump Operations 234
Inlet screen installation 234
AirCoolingKitInstallation(onlyforaircooledpumps) 237
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) 239
Vent Accessories 242
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases 245
Purge Valve Installation 247
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 248
Vibration Isolator Installation 248
Controller Operations 249
Accessories and Spare Parts 250

Contents
14/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01

TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni
1
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 15/258
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 17
Validità 17
Definizioni e terminologia 18
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 18
Simboli di Avvertenza 19
Sicurezza 21
Uso corretto 21
Uso improprio 22
Attrezzatura di protezione 23
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 25
Transporto & Immagazzinamento 26
Descrizione del prodotto 27
Installazione 28
Preparazione per l’installazione 28
Apertura 30
Riparazione di TwisTorr 32
Collegamento della flangia per alto vuoto 33
Installazione della flangia ISO-K 34
Installazione della flangia ConFlat 35
Collegamento della pompa del vuoto anteriore 36
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS 37
Arresto di TwisTorr 305 FS 38
Arresto di emergenza 38
Manutenzione 39
Vita del rotore 39
Soft Start 40
Pulizia 40
Smaltimento 41
Servizio post vendita 42

1
TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni
16/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01

Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale
1
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 17/258
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305 FS, con
particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e
manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione
di cui l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con
disposizioni specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale
appositamente addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere
eseguite dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo
“Installazione”. Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo
“Operazioni”.
Per ulteriori dettagli sull’utilizzo tecnico, consultare il capitolo “Operazioni”.
NOTA
1. Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza TwisTorr 305 FS possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta
efficienza, per tutta la sua durata.
2. Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso
correlate, in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli
operatori/personale di manutenzione.

1
Istruzioni per l’uso
Definizioni e terminologia
18/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori
contrastanti.
AVVERTENZA!!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
Simboli di Avvertenza
1
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 19/258
Simboli di Avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli
avvisi TwisTorr 305 FS. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Corrente continua
Non toccare
Dichiarazione Europea
di Conformità
Pericolo generico
Sito di produzione
Spegni
Accendi
Messa a terra protettiva

1
Istruzioni per l’uso
Simboli di Avvertenza
20/258 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Messa a terra protettiva
Non toccare
J1
Connettore principale
Certificazione CE
Certificazione CSA
Limitazione della Certificazione delle Sostante
Pericolose
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche