Agilent Technologies TV 401 NSF User manual

TV 401/301/21
NSF
Pump models:
869-8928
Controller model:
969-8979M005
87-900-995-01(B)
SEPTEMBER 2007
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S) BRUKSANVISNING
(N) INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.

TV 401/301/21 NSF

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................9
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................33
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................45
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................69
DESCRIPTION OF THE TV 401/301/21 NSF .............................................................................69
Pump Description ..............................................................................................................69
Controller Description ........................................................................................................69
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70
TV 401/301/21 NSF OUTLINE.....................................................................................................71
INTERCONNECTIONS................................................................................................................75
Input Power Connector ......................................................................................................75
P3 – Spare .........................................................................................................................75
P5 – External fan ...............................................................................................................76
J5 - IN-OUT........................................................................................................................76
J6 - Serial...........................................................................................................................79
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................79
Communication Format .....................................................................................................79
Communication Protocol....................................................................................................79
Window Meanings .............................................................................................................81
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................82
PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................83
SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................84
TV 401/301/21 NSF CONTROLLER INSTALLATION................................................................84
CONNECTION OF THE FORE-VACUUM PUMP .......................................................................84
Turbo V 401/301/21 insertion and extraction procedure in SCIEX Caribou and Meteor systems ....85
Applicability........................................................................................................................85
Material needed .................................................................................................................85
Insertion procedure............................................................................................................87
Extraction procedure..........................................................................................................89
CONNECTION OF THE ELECTRICAL CONNECTOR..............................................................93
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................93
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................94
ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................94

ISTRUZIONI PER L'USO
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Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci-
fica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per
una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO
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INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-
struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-
ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TV 401/301/21 NSF è un sistema integrato costituito da una
pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuo-
to e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (60000 giri/min. max) mossa da un motore elet-
trico trifase asincrono. Il TV 401/301/21 NSF è totalmente privo
di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che
richiedono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile ali-
mentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di
vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con
linea seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te-
sto.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-
le pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
•durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con-
dizioni ambientali:
•temperatura: da –20 °C a 70 °C
•umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
•il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
•il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è su-
periore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni infor-
mazione, si prega di contattare il locale rappresentante della
Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TV 401/301/21 NSF viene fornito in un imballo protettivo spe-
ciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at-
tenzione a non lasciar cadere il TV 401/301/21 NSF e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'am-
biente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva
CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le ma-
ni nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Uti-
lizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TV 401/301/21 NSF non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
!ATTENZIONE!
Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamen-
to della turbopompa al sistema.
Non alimentare la Turbopompa se non è fissata adeguatamen-
te al sistema da vuoto.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
- temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico
nell’appendice “Technical Information”)
- umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

ISTRUZIONI PER L'USO
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In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 401/301/21 NSF deve essere collegato ad una pompa
primaria (vedere schema in "Technical Information").
Il TV 401/301/21 NSF può essere installato in qualsiasi posi-
zione. Fissare il TV 401/301/21 NSF in posizione stabile colle-
gando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una
controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000
Nm attorno al proprio asse.
La seguente tabella mostra le viti da utilizzare per il fissaggio
della turbopompa, il loro numero e con quale coppia di serrag-
gio stringerle.
FISSAGGIO ALLA CAMERA N. COPPIA DI
SERRAGGIO
Viti con filettatura M6,
Classe di resistenza >= 10,9 6 10 Nm
PERICOLO!
La camera da vuoto che contiene la pompa deve avere uno
spessore adeguato ai fini della sicurezza. Ad esempio, per ca-
mere di Anticorodal temprato (σy=275 MPa) uno spessore di 5
mm risulta adeguato.
!ATTENZIONE!
Il TV 401/301/21 NSF appartiene alla seconda categoria di in-
stallazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN
61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimen-
tazione che soddisfi tale categoria.
Il TV 401/301/21 NSF ha dei connettori per gli ingressi/uscite e
per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai
circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia
accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo con-
nesso al TV 401/301/21 NSF abbia un isolamento adeguato
anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla nor-
mativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-
rative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura del rotore non deve essere superiore a
120 °C.
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se le flangie di ingresso non
sono collegate alla camera a vuoto o non sono chiusa con la
flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
!ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TV 401/301/21 NSF
Per accendere il TV 401/301/21 NSF è sufficiente fornire la
tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce
automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio
ed avvia la pompa.
La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”
che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente,
per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il
modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” at-
tivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere
il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”
nell’appendice “Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 401/301/21
NSF indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni
operative del sistema:
- acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
- lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-
stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-
ting for interlock”;
- lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-
dizione di errore.
Arresto del TV 401/301/21 NSF
Per arrestare il TV 401/301/21 NSF è sufficiente togliere la ten-
sione di alimentazione. Il controller incorporato arresta imme-
diatamente la pompa.
PERICOLO!
Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere
alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabel-
la delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello
internazionale). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una
presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elet-
triche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Le alte tensioni
che si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni
o la morte. Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione
all'interno dell'unità scollegare il cavo di alimentazione.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 401/301/21 NSF
occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller.

ISTRUZIONI PER L'USO
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MANUTENZIONE
Il TV 401/301/21 NSF non richiede alcuna manutenzione.
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale auto-
rizzato.
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-
ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-
tendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello
guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-
te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-
sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-
che.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di-
rettiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-
spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.

GEBRAUCHSANLEITUNG
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Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü-
gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge-
wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG
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ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Modell TV 401/301/21 NSF ist ein integriertes System, das aus
einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten
von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die
Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Der Pumpef-
fekt wird über eine Hochgeschwindigkeits-Rotationsturbine
(max. 60000 U/min) erzielt, die von einem Asynchron-
Drehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 401/301/21 NSF
enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich
deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum
erfordern. Modell TV 401/301/21 NSF verfügt des weiteren über
Zusatzanschlüsse, über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt,
das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem
Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden
kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
!ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
•Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
•Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
•Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
•Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
•Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TV 401/301/21 NSF wird in einer speziellen Schutzver-
packung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zu-
ständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV
401/301/21 NSF ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell TV 401/301/21 NSF kann durch die Umgebung an sich
keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an
der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
!ACHTUNG!
Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das
System entfernen.
Die Turbopumpe nicht speisen, wenn sie nicht ordnungsgemäß
an das Vakuumsystem angeschlossen ist.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".

GEBRAUCHSANLEITUNG
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Modell TV 401/301/21 NSF ist an eine Primärpumpe anzu-
schließen (siehe Schema in "Technical Information").
Modell TV 401/301/21 NSF kann in jeder beliebigen Position
installiert werden. Die TV 401/301/21 NSF in einer stabilen
Position befestigen, wobei der Flansch der Turbopumpe an
einen festen Gegenflansch angeschlossen werden soll. Die
Verbindung von Pumpenflansch und Gegenflansch soll einen
Widerstand bis zu einem Drehmoment von 2000 Nm um die
eigene Achse aufweisen. In der nachstehenden Tabelle sind
die Anzahl der Schrauben und das Anzugsmoment.
BEFESTIGUNG AN DER
KAMMER ANZ. ANZUGSMOMENT
Schrauben mit Gewinde M6
und Klasse >= 10,9 6 10 Nm
GEFAHR!
Die Vakuumkammer, in der die Pumpe enthalten ist, soll aus
Sicherheitsgründen entsprechend dickwandig ausgeführt sein.
Bei Kammern aus gehärtetem Anticorodal (σy=275 Mpa) ist
eine Wandstärke von 5 mm angemessen.
!ACHTUNG!
Der TV 401/301/21 NSF gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 401/301/21 NSF hat Verbinder für den Ein-und Aus-
gang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außen-
kreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter
Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der
an den TV 401/301/21 NSF angeschlossenen Vorrichtung
auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von
der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur des Läufers niemals 120 °C überschreiten.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
!ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von
Modell TV 401/301/21 NSF
Zur Einschaltung von Modell TV 401/301/21 NSF ist es mit der
erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der einge-
baute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von
Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV
401/301/21 NSF gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-
triebsbedingungen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF
Zum Stoppen von Modell TV 401/301/21 NSF ist die Versor-
gungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt
für den sofortigen Pumpenstopp.
GEFAHR!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V
mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell-
teile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene
genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses
Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend
geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, kön-
nen zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den War-
tungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 401/301/21 NSF in Notsituationen
ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.

GEBRAUCHSANLEITUNG
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WARTUNG
Modell TV 401/301/21 NSF erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.

MODE D’EMPLOI
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Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation dé-
crites dans ce manuel!

MODE D’EMPLOI
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INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-
sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à
l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi
que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui
décline par conséquent toute responsabilité en cas de non
respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation
impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-
sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales
spécifiques. Le TV 401/301/21 NSF est un système intégré,
constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des ap-
plications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur.
Le système est à même de pomper tous les types de gaz et de
composés gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de
liquides ou de particules solides. L'effet pompant est assuré par
une turbine haute vitesse (60000 tr/min max.) actionnée par un
moteur électrique asynchrone triphasé. Le TV 401/301/21 NSF
est totalement exempt d'agents polluants et il est par consé-
quent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide
"propre". Le TV 401/301/21 NSF est en outre doté de connec-
teurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplé-
mentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter
à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sé-
rielle.Les paragraphes suivants fournissent toutes les indica-
tions nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
!ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-
dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement
l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-
lés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-
pecter les instructions suivantes :
•Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-
biantes suivantes:
•température : de –20 °C à +70 °C
•humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
•A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
•Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
!ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TV 401/301/21 NSF est livré dans un emballage de protec-
tion spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant
s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente
local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-
ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 401/301/21 NSF et
à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
!ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement expo-
sé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à
la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage
clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
!ATTENTION!
Ne retirer le bouchon de protection qu'au moment du branche-
ment de la turbopompe au système.
Ne pas alimenter la turbopompe tant qu'elle n'est pas correc-
tement fixée au système à vide.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-
sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou
à fort risque d'incendie.

MODE D’EMPLOI
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Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Tech-
nical Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée à l'aide d'écrans appropriés.
Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Tech-
nical Information". Le TV 401/301/21 NSF doit être connecté à
une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
Le TV 401/301/21 NSF peut être installée dans n'importe quelle
position. Assurer le TV 401/301/21 NSF de façon stable en
fixant la collerette de la turbopompe à une contre-collerette fixe
pouvant résister à un couple de 2000 Nm autour de son axe.
Le tableau suivant décrit le nombre de vis nécessaires ainsi
que le couple de serrage prescrit.
FIXATION À LA
CHAMBRE N. COUPLE DE SERRAGE
Vis à filet M6 et classe
de résistance >= 12,9 6 10 Nm
DANGER!
La chambre à vide contenant la pompe doit avoir une épaisseur
appropriée à garantir les conditions de sécurité. Par exemple,
une épaisseur de 5 mm est adaptée à une chambre réalisée en
Anticorodal trempé (σy=275 MPa).
!ATTENTION!
Le TV 401/301/21 NSF appartient à la deuxième catégorie
d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1.
De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation
compatible avec cette catégorie.
Le TV 401/301/21 NSF dispose de connecteurs pour les en-
trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être
branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous
tension ne soit accessible.
S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 401/301/21
NSF a une isolation appropriée même en condition de panne
individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures opération-
nelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température du rotor ne doit jamais être
supérieure à 120 °C.
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
!ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-
rer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-
nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-
téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du TV 401/301/21
NSF
Pour allumer le TV 401/301/21 NSF il suffit de fournir la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique-
ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il
actionne la pompe.
La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft
Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive
automatiquement et les mises en marche suivantes se font
sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise
en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à
l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information").
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV
401/301/21 NSF indique, par sa fréquence de clignotement, les
conditions opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente in-
terlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Arrêt du TV 401/301/21 NSF
Pour arrêter le TV 401/301/21 NSF, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
DANGER!
Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être
alimenté par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des
parties qui peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approu-
vée à niveau international).Utiliser ce câble et cette fiche avec
une prise connectée d’une manière adéquate à terre pour éviter
des décharges électriques et satisfaire les requis des normes
CE.
Les tensions élevées qui se développent dans le contrôleur
peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort.
Avant d’effectuer les opérations d’entretien à l’intérieur de
l’unité débrancher le câble d’alimentation.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 401/301/21 NSF en conditions d'urgence, il
faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

MODE D’EMPLOI
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ENTRETIEN
Le TV 401/301/21 NSF n'exige aucun entretien particulier.
Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-
rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui
permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-
vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-
tion conformément aux réglementations nationales concernant
la gestion des déchets.
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc-
tive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com-
munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé-
nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par
un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.

INSTRUCCIONES DE USO
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Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO
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INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TV 401/301/21 NSF es un sistema integrado compuesto por
una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el controler correspondiente. El sistema
puede bombear cualquier tipo de gas o de composición
gaseosa, pero no es adecuado para bombear líquidos o
partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina giratoria
de elevada velocidad (60000 r.p.m. máx.) gobernada por un
motor eléctrico trifásico asíncrono. El TV 401/301/21 NSF no
posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado
para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el TV 401/301/21 NSF posee conectores auxiliares
con los que se puede alimentar un ventilador adicional,
accionar la válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un
ordenador host conectado mediante línea serial (RS 232/RS
485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
!¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
•durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
•temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
•humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
•el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
•el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
!¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TV 401/301/21 NSF se suministra en un embalaje especial
de protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el TV 401/301/21 NSF y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
!¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El TV 401/301/21 NSF no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
!¡ATENCIÓN!
Retirar el tapón de protección sólo en el momento de conectar
la bomba de turbina al sistema.
No alimentar la bomba de turbina si ésta no se encuentra
adecuadamente fijada al sistema de vacío.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.

INSTRUCCIONES DE USO
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Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
El TV 401/301/21 NSF ha de conectarse a una bomba primaria
(véase diagrama en “Technical Information”).
El TV 401/301/21 NSF puede instalarse en cualquier posición.
Fijar el TV 401/301/21 NSF en una posición estable
conectando la brida de fijación de la bomba de turbina a una
contrabrida fija con capacidad de resistir a un par de 2000 Nm
en torno al propio eje. La tabla siguiente describe el número de
tornillos necesarias y con qué par de apriete apretarlas.
FIJACIÓN A LA CÁMARA N. PAR DE
APRIETE
Tornillos con rosca M6
y clase >= 12,9 6 10 Nm
¡PELIGRO!
La cámara de vacío que contiene la bomba debe ser de un
espesor adecuado a fin de garantizar seguridad. Por ejemplo,
en el caso de las cámaras de anticorodal templado (σy=275
MPa) el espesor adecuado es de 5 mm.
!¡ATENCIÓN!
El TV 401/301/21 NSF pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
El TV 401/301/21 NSF tiene conectores para las
entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser
conectados a los circuitos externos de manera que ninguna
parte bajo tensión quede accesible. Controlar que el
aislamiento del dispositivo conectado al TV 401/301/21 NSF
mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse
una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa
EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura del rotor
no deberá superar nunca los 120 °C.
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de
cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
!¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión
atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo
“Technical Information”).
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya
gases explosivos.
Encendido y Uso del TV 401/301/21 NSF
Para encender el TV 401/301/21 NSF basta con suministrar la
tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y
de arranque y activa la bomba.
La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft
Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita
automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en
marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a
utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario
rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software
(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”).
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV
401/301/21 NSF indica, con la frecuencia de su parpadeo, las
condiciones operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms
aproximadamente): condición de error.
Parada del TV 401/301/21 NSF
Para parar el TV 401/301/21 NSF nte con desenchufarlo de la
corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la
bomba.
¡PELIGRO!
Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser
alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla
de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe
(aprobado internacionalmente). Utilizar el cable y el enchufe
junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra
para evitar descargas eléctricas y cumplir con los
requerimientos de las normas CE.
Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador
pueden provocar graves daños o incluso resultar fatales.
Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las
operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 401/301/21
NSF es necesario desconectar del controlador el cable de
alimentación.