Agilent Technologies Turbo-V 1K-G Series User manual

Turbo
-V 1K-G
Pump
Models
869
8961R002, 8698962R001
Controller models
969
8978M005, 9699454M002
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-025-01 (A)
12/2017

Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 2/304
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2016
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-025-01 (A)
Edition
Edition 12/2017
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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or any equivalent agency regulation or
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disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
CAUTION
WARNING

Turbo-V 1K-G
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 3/304
Turbo-V 1K-G

Turbo-V 1K-G
4/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)

Contents
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 5/304
Contents
1
Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l'installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso24
Manutenzione 27
Smaltimento 28
2
Gebrauchsanleitung29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung 33
Vor Der Installation 34
Installation 35
Befestigung Der Pumpe 36
Gebrauch 38
Wartung 41

Contents
6/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Entsorgung 42
3
Mode d’emploi 43
Normes de Sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications Générales 45
Stockage 47
Préparation pour l'Installation 48
Installation 50
Fixation de la Pompe51
Utilisation 53
Entretien 56
Mise au Rebut 57
4
Manual de istrucciones 59
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60
Información General 61
Almacenamiento 63
Preparación Para La Instalación 64
Instalación 65
Uso68
Mantenimiento 71
Eliminación 72
5
Manual de Istruções 73
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 74

Contents
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 7/304
Informações Gerais 75
Armazenagem 77
Preparação para a instalação78
Instalação 80
Fixação da bomba 81
Utilização 83
Manutenção 86
Eliminação 87
6
Bedrijfshandleiding 89
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90
Algemene Informatie 91
Opslag 93
Uitpakken 94
Installatie 96
Bevestiging Van De Pomp 97
Gebruik 99
Onderhoud 102
Afvalverwerking 103
7
Istruktionsbog 105
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære Turbopumper 106
Generel Information 107
Opbevaring 109

Contents
8/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Forberedelse før installation 110
Installation 111
Fastgørelse af pumpe 112
Anvendelse 114
Vedligeholdelse 117
Bortskaffelse 118
8
Bruksanvisning 119
Säkerhetsanvisningar för Molekylära Turbopumpar 120
Allmän Information 121
Förvaring 123
Förberedelser för installationen 124
Installation 125
Fastsättning av pump 126
Användning 128
Underhåll 131
Bortskaffning 132
9
Instruksjon Manual 133
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 134
Generell Informasjon135
Lagring 137
Klargjøre til installasjon 138
Installasjon 139

Contents
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 9/304
Festing av pumpen 140
Bruk 142
Vedlikehold 145
Eliminering 146
10
Ohjekäsikirja 147
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 148
Yleisiä Tietoja 149
Varastointi 151
Valmistelut asennusta varten152
Asennus 153
Pumpun kiinnitys 154
Käyttö 156
Huolto 159
Hävittäminen 160
11
Felhasználói Kézikönyv 161
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 162
Általános Információ163
Tárolás 165
Előkészítés telepítésre 166
Telepítés 167
A szivattyú rögzítése168
Használat 170

Contents
10/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Karbantartás 173
Megsemmisítés 174
12
Podrecznik Instrukcji 175
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 176
Ogólne Informacje 177
Magazynowanie 179
Przygotowanie do instalacji 180
Instalacja 181
Mocowanie pompy 182
Użytkowanie 184
Konserwacja 187
Przetworstwo odpadow 188
13
Návod k Použití 189
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 190
Všeobecné Informace 191
Uskladnění 193
Příprava k instalaci 194
Instalace 195
Montáž vývěvy 196
Použití 198
Údržba 201
Likvidace 202

Contents
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 11/304
14
Návod na Obsluhu 203
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 204
Všeobecné Informácie 205
Uchovávanie 207
Príprava na inštaláciu 208
Inštalácia 209
Upevnenie vývevy 210
Použitie 212
Údržba 215
Likvidácia 216
15
Priročnik za Navodila 217
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 218
Splošne Informacije 219
Shranjevanje 221
Priprava za montažo 222
Montaža 223
Pritrjevanje črpalke 224
Uporaba 226
Vzdrževanje 229
Odlaganje opadkov 230
16
Instructions for Use 231
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 232

Contents
12/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
General Information 233
Storage 235
Preparation for installation 236
Installation 237
Pump Fixing 238
Use 240
Maintenance 243
Disposal 244
17
Technical Information 245
Pump Description 247
9698978M005 Controller description 249
Technical Specification 250
Turbo-V 1K-G Outline 253
Interconnections – controller model 9698978M005 255
RS 232/RS 485 Communication Description 268
Inlet Screen Installation 278
Water Cooling Kit Installation 281
Vent Accessories 284
Purge Valve Installation 289
Serial Cable Installation (for 9698978M005 Navigator controller only) 291
Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation 292
Pump Used With Corrosive Gases 295

Contents
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 13/304
Pump used in presence of magnetic fields 297
Accessories and spare parts 298

Contents
14/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)

Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual
15/304
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l'installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G 25
Arresto della Turbo-V 1K-G 26
Arresto di Emergenza 26
Manutenzione 27
Smaltimento 28
Traduzione delle istruzioni originali

1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
16/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 17/304
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
La Turbo-V 1K-G è una pompa turbomolecolare per applicazioni di
alto e ultra alto vuoto. La pompa è capace di pompare qualsiasi tipo
di gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite
una turbina rotante ad elevata velocità (45660 giri/min. max) mossa
da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 1K-G è
totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per
applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Quando usata con il Navigator controller 9698978M005, la pompa
dispone inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.

1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 19/304
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima
volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.

1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l'installazione
20/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Preparazione per l'installazione
La Turbo-V 1K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la
Turbo-V 1K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e
risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
NOTA
La Turbo-V 1K-G non può essere danneggiata rimanendo semplicemente
esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.