Agilent Technologies TV-401/301 MS User manual

T
V 401/301 MS
Pump model
869-8928R003
Controller model
969-8979M005
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod
na
obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-901-013-01 (A)
04/2011

TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-013-01 (A)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
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disclosure of Software is subject to
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commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
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defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION

TV 401/301 MS
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 3/264
TV 401/301 MS

TV 401/301 MS
4/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)

Contents
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 5/264
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni generali 15
Immagazzinamento 16
Preparazione per l'installazione 17
Installazione 18
Uso20
Manutenzione 23
Smaltimento 24
2Gebrauchsanleitung25
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26
Allgemeine Information 27
Lagerung 28
Vor der Installation 29
Installation 30
Gebrauch 32
Wartung 35
Entsorgung 36

Contents
6/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
3Mode d’emploi 37
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38
Indications Generales 39
Stockage 40
Preparation pour l'installation 41
Installation 42
Utilization 44
Entretien 47
Mis au rebut 48
4Manual de istrucciones 49
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50
Información general 51
Almacenamiento 52
Preparación para la instalación 53
Instalación 54
Uso56
Mantenimiento 59
Eliminación 60
5Manual de Istruções 61
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62
Informações gerais 63
Armazenagem 64

Contents
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 7/264
Preparação para a instalação65
Instalação 66
Utilização 68
Manutenção 71
Eliminação 72
6Bedrijfshandleiding 73
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74
Algemene informatie 75
Opslag 76
Uitpakken 77
Installatie 78
Gebruik 80
Onderhoud 83
Afvalverwerking 84
7Istruktionsbog 85
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86
Generel Information 87
Opbevaring 88
Forberedelse før installation 89
Installation 90
Anvendelse 92
Vedligeholdelse 95

Contents
8/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
Bortskaffelse 96
8Bruksanvisning 97
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98
Allmän information 99
Förvaring 100
Förberedelser för installationen 101
Installation 102
Användning 104
Underhåll 107
Bortskaffning 108
9Instruksjon Manual 109
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 110
Generell informasjon111
Lagring 112
Klargjøre til installasjon 113
Installasjon 114
Bruk 116
Vedlikehold 119
Eliminering 120
10 Ohjekäsikirja 121
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122
Yleisiä tietoja 123

Contents
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 9/264
Varastointi 124
Valmistelut asennusta varten125
Asennus 126
Käyttö 128
Huolto 131
Hävittäminen 132
11 Felhasználói Kézikönyv 133
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134
Általános információk 135
Tárolás 136
Előkészítés telepítésre 137
Telepítés 138
Használat 140
Karbantartás 143
Megsemmisítés 144
12 Podrecznik Instrukcji 145
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 146
Ogólne informacje 147
Magazynowanie 148
Przygotowanie do instalacji 149
Instalacja 150
Użytkowanie 152

Contents
10/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
Konserwacja 155
Przetworstwo odpadow 156
13 Návod k Použití 157
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158
Všeobecné informace 159
Uskladnění 160
Příprava k instalaci 161
Instalace 162
Použití 164
Údržba 167
Likvidace 168
14 Návod na Obsluhu 169
Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 170
Všeobecné informácie 171
Uchovávanie 172
Príprava na inštaláciu 173
Inštalácia 174
Použitie 176
Údržba 179
Likvidácia 180
15 Priročnik za Navodila 181
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182

Contents
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 11/264
Splošne informacije 183
Shranjevanje 184
Priprava za montažo 185
Montaža 186
Uporaba 188
Vzdrževanje 191
Odlaganje opadkov 192
16 Instructions for Use 193
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194
General Information 195
Storage 196
Preparation for Installation 197
Installation 198
Use200
Maintenance 203
Disposal 204
17 Technical Information 205
Description of the TV 401/301 MS 207
Pump Description 208
Technical Specification 210
TV 401/301 MS Outline 212
Interconnections 216

Contents
12/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
P3 – Spare 217
J5 - In-Out 218
RS 232/RS 485 Communication Description 229
Window-Meanings 235
Water Cooling Kit Installation 239
Purge Valve Installation 242
Serial Cable Installation 243
TV 401/301 MS Controller Installation 245
Connection of the Fore-Vacuum Pump 245
TV 401/301 MS Insertion and Extraction 246
Connection of the Electrical Connector 254
Pump Used with Corrosive Gases254
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 256
Accessories and Spare Parts 257

TV 401/301 MS User Manual
13/264
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni generali 15
Immagazzinamento 16
Preparazione per l'installazione 17
Installazione 18
Uso 20
Accensione ed Uso della TV 401/301 MS 21
Arresto della TV 401/301 MS 22
Arresto di Emergenza 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
Traduzione delle istruzioni originali

1Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni generali
1
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 15/264
Informazioni generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 401/301 MS è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (60000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
asincrono. Il TV 401/301 MS è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.

1Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
16/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.

Istruzioni per l’uso
Preparazione per l'installazione
1
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 17/264
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
Preparazione per l'installazione
Il TV 401/301 MS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TV 401/301 MS e a non sottoporlo
ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o
altra protezione adeguata.
Figura 1

1Istruzioni per l’uso
Installazione
18/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
NOTA Il TV 401/301 MS non può essere danneggiato rimanendo semplicemente
esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.
Installazione
ATTENZIONE!
Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della
turbopompa al sistema. Non alimentare la Turbopompa se non è fissata
adeguatamente al sistema da vuoto.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A) 19/264
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
temperatura: da +5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 401/301 MS deve essere collegato ad una pompa primaria
(vedere schema in "Technical Information").
Il TV 401/301 MS può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare
il TV 401/301 MS in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
La seguente tabella mostra le viti da utilizzare per il fissaggio della
turbopompa, il loro numero e con quale coppia di serraggio
stringerle.
Tab. 1
FISSAGGIO ALLA CAMERA N. COPPIA DI SERRAGGIO
Viti con filettatura M6, Classe di resistenza >= 10,9 6 10 Nm
A
VVERTENZA!
La camera da vuoto che contiene la pompa deve avere uno spessore adeguato
ai fini della sicurezza. Ad esempio, per camere di Anticorodal temprato
(σy=275 MPa) uno spessore di 5 mm risulta adeguato.

1Istruzioni per l’uso
Uso
20/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (A)
ATTENZIONE!
Il TV 401/301 MS appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Il TV 401/301 MS ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la
comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo
che nessuna parte sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento
del dispositivo connesso al TV 401/301 MS abbia un isolamento adeguato anche
in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
A
VVERTENZA!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata
alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la
turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di
riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.