MKS HPS User manual

HPStm Two-Stage Valve
Service Manual
651 Lowell Street
Methuen, MA 01844
Main Telephone: [phone] p/n 1061054
www.mksinst.com Rev. 001

Copyright © 2015 by MKS Instruments, Inc.
All rights reserved. No part of this work may be reproduced or transmitted in any form or by any means,
electronic or mechanical, including photocopying and recording, or by any information storage or retrieval
system, except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments, Inc.
Printed in the United States of America
DeviceNet™ is a trademark of Open DeviceNet Vendor Association, Inc., Coral Springs, FL.
SEMI®is a registered trademark of Semiconductor Equipment and Materials International, Mountain View,
CA.
Swagelok®and VCR®are registered trademark of Swagelok Marketing Co., Solon, OH.

iii
Table of Contents
Valve Safety Information..................................................................................................................................1
Symbols Used in This Instruction Manual ....................................................................................................................1
Symbols Found on the Unit...........................................................................................................................................1
Safety Procedures and Precautions................................................................................................................................1
Sicherheitshinweise für das Ventil....................................................................................................................3
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole.....................................................................................................3
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole............................................................................................................3
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen .......................................................................................................3
Informations de sécurité relatives au manomètre...........................................................................................5
Symboles utilisés dans ce manuel d’utilisation .............................................................................................................5
Symboles figurant sur l’unité ........................................................................................................................................5
Mesures de sécurité et précautions................................................................................................................................5
Medidas de seguridad del manómetro.............................................................................................................7
Símbolos usados en este manual de instrucciones.........................................................................................................7
Símbolos hallados en la unidad.....................................................................................................................................7
Procedimientos y precauciones de seguridad ................................................................................................................7
How This Manual is Organized.....................................................................................................................................9
Customer Support..........................................................................................................................................................9
Chapter One: General Information ..............................................................................................................10
Introduction .................................................................................................................................................................10
Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage Valve .....................................................................11
Disassembly of the main valve....................................................................................................................................11
Disassembly and Inspection of Internal Assembly......................................................................................................12
Disassembly of the bypass valve.................................................................................................................................14
Disassembly and Inspection of the Bypass Valve.......................................................................................................15
Assembly of Main and Bypass Valves........................................................................................................................15
List of Figures
No table of figures entries found. List of Tables
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit.............................................................................................1
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole...............................................................................3
Tableau 3: Définition des symboles sur l’unité ..................................................................................................5
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad.................................................................................7
Table 5: Definitions ..........................................................................................Error! Bookmark not defined.

Valve Safety Information
1
Valve Safety Information
Symbols Used in This Instruction Manual
Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual are:
Warning
The WARNING sign denotes a hazard. It calls attention to a procedure, practice,
condition, or
the like, which, if not correctly performed or adhered to, could result
in injury to personnel.
Caution
The CAUTION sign denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure,
practice, or the like, which, if not correctly performed or adhered to, could result in
damage to or destruction of all or part of the product.
Note
The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a procedure, practice,
condit
ion, or the like, which is essential to highlight.
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit
|
On (Supply)
IEC 417, No. 5007
Off (Supply)
IEC 417, No. 5008
Earth (ground)
IEC 417, No. 5017
Protective Earth (ground)
IEC 417, No. 5019
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020
Equipotentiality
IEC 417, No. 5021
Direct Current
IEC 417, No. 5031
Alternating Current
IEC 417, No. 5032
Both Direct and Alternating
Current
IEC 417, No. 5033-a
Class II Equipment
IEC 417, No. 5172-a Three Phase Alternating Current
IEC 617-2, No. 020206
Caution, Hand Crush
ISO 3864
Caution (refer to
accompanying documents)
ISO 3864, No. B.3.1
Caution, Risk of Electric
Shock
ISO 3864, No. B.3.6
Caution, Hot Surface
IEC 417, No. 5041 Caution, Spring Loaded ISO 3864
Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this instrument.
Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual violates
safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the customer’s failure to comply with these
requirements.

Valve Safety Information
2
Warning
Moving parts in the valve create a risk of personal injury until the valve is securely
incorporated into a system. To avoid injury, keep all body
parts away from any
valve opening.
1.
Do not insert objects into openings where contact with moving parts is
possible.
2.
Isolate the valve from any electrical or pneumatic power supply before
handling the valve.
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY VALVE
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the valve. Return the valve to an MKS
Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all safety features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments. Qualified service personnel
must perform any service only.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, observe the proper safety precautions, completely purge the valve when necessary, and
ensure that the material used is compatible with the wetted materials in this product, including any sealing materials.
PURGE THE VALVE
After installing the unit, or before removing it from a system, purge the unit completely with a clean, dry gas to eliminate
all traces of the previously used flow material.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This valve must be purged under a ventilation hood and gloves must be worn for protection.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been specifically certified for
such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All valve fittings must be consistent with valve specifications and compatible with the intended use of the valve.
Assemble and tighten fittings according to manufacturer’s directions.
CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Carefully check all vacuum component connections to ensure leak-tight installation.
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
Never operate the valve at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product specifications for the
maximum allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, install a suitable burst disc in the vacuum system to prevent system
explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants to enter the unit before or during use. Contamination such as dust, dirt, lint, glass chips, and
metal chips may permanently damage the unit or contaminate the process.
KEEP AWAY FROM VALVE OPENING
Keep fingers, other body parts, and other materials away from the valve opening when the valve is in operation.

Sicherheitshinweise für das Ventil
3
Sicherheitshinweise für das Ventil
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in dieser
Betriebsanleitung.
Warnung!
Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das B
edienpersonal hin. Es
macht auf einen Arbeitsablauf, eine Arbeitsweise, einen Zustand oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann
.
Vorsicht!
Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es macht auf
einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw. ungenügende
Berücksichtigung zu einer Besch
ädigung oder Zerstörung des Gerätes oder von
Teilen des Gerätes führen kann
.
Hinweis
Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer so
nstige Gegebenheit
aufmerksam.
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät angebracht sein können.
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole
|
Ein (Energie)
IEC 417, No.5007
Aus (Energie)
IEC 417, No.5008
Erdanschluss
IEC 417, No.5017
Schutzleiteranschluss
IEC 417, No.5019
Masseanschluss
IEC 417, No.5020
Aquipotentialanschluss
IEC 417, No.5021
Gleichstrom
IEC 417, No.5031
Wechselstrom
IEC 417, No.5032
Gleich- oder Wechselstrom
IEC 417, No.5033-a Durchgängige doppelte oder verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a
Dreileiter-Wechselstrom
(Drehstrom)
IEC 617-2, No.020206
Vorsicht: Quetschgefahr für
die Hand
ISO 3864
Warnung vor einer
Gefahrenstelle (Achtung,
Dokumentation beachten)
ISO 3864, No.B.3.1
Warnung vor gefährlicher
elektrischer Spannung
ISO 3864, No.B.3.6
Höhere Temperatur an
leicht zugänglichen Teilen
IEC 417, No.5041
Vorsicht: Federspannung
ISO 3864
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes zu
befolgen. Eine Missachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser

Sicherheitshinweise für das Ventil
4
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards,
und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc.
haftet nicht für Missachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.
Warnung
Solange das Ventil nicht fest in ein System eingebaut ist, besteht
Verletzungsgefahr aufgrund von beweglichen Teilen. Daher Finger und andere
Körperteile unbedingt von allen Ventilöffnungen fernhalten
.
1.
Niemals Fremdkörper in Öffnungen einführen, in denen ein Kontakt mit
beweglichen Teilen möglich ist.
2.
Das Ventil vor dem Hantieren stets von allen elektrischen und pneumatischen
Kraftquellen trennen.
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Ventil vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine eigenmächtigen Änderungen am
Ventil vor. Schicken Sie das Ventil zwecks Wartung und Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein.
Nur so wird sichergestellt, daß alle Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von qualifizierten
Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muß der Bediener die entsprechenden Sicherheitsvorschriften genauestens
einhalten, das Ventil, falls erforderlich, vollständig spülen, sowie sicherstellen, daß der Gefahrstoff die von ihm
benetzten, im Ventil verwendeten Materialien, insbesondere Dichtungen, nicht angreift.
Spülen des Ventils mit Gas!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muß das Ventil unter Einsatz eines reinen Trockengases
vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu entfernen.
Anweisungen zum Spülen des Ventils!
Das Ventil darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.
Nicht zusammmen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Produkt niemals zusammen mit explosiven Stoffe aller Art
eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für diesen Zweck zugelassen ist.
Anweisungen zum Installieren der Armaturen!
Alle Ventilanschlußstücke und Armaturenteile müssen mit den Ventilspezifikationen übereinstimmen, und mit dem
geplanten Einsatz des Ventils kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das Anziehen und Abdichten, muß gemäß den
Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Ventil auf Undichtigkeiten prüfen!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen auf undichte Stellen.
Nur unter zulässigen Anschlußdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Ventil niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe Produktspezifikationen)
übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete Berstscheibe in das
Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen vermeiden!
Stellen Sie sicher, daß Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des Betriebs in das Innere
gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter oder Metallspäne können das Produkt dauerhaft beschädigen
oder Prozeß und Meßwerte verfälschen.
Hände weg von der Ventilöffnung!
Körperteile, insbesondere Finger, sowie Fremdobjekte während des Betriebes von der Ventilöffnung fernhalten.

Informations de sécurité relatives au manomètre
5
Informations de sécurité relatives au manomètre
Symboles utilisés dans ce manuel d’utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans ce manuel.
Avertissement
L’indication AVERTISSEMENT signale un danger
pour le personnel. Elle
attire l’attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou toute
autre situation présentant un risque d’accident pour le personnel, en cas
d’exécution incorrecte ou de non
-respect des consignes.
Attention
L’indication ATTENTION signale un danger pour l’appareil. Elle attire
l’attention sur une procédure d’exploitation, une pratique, ou toute autre
situation, présentant un risque de dégât ou de destruction partielle ou totale
du pro
duit, en cas d’exécution incorrecte ou de non-respect des consignes.
Remarque
L’indication REMARQUE signale une information importante. Elle attire
l’attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou toute
autre situation,
présentant un intérêt particulier.
Symboles figurant sur l’unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l’unité.
Tableau 3: Définition des symboles sur l’unité
|
Marche (sous tension)
IEC 417, No.5007
Arrêt (hors tension)
IEC 417, No.5008
Terre (masse)
IEC 417, No.5017
Terre de protection (masse)
IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020
Equipotentialité
IEC 417, No.5021
Courant continu
IEC 417, No.5031
Courant alternatif
IEC 417, No.5032
Courant continu et alternatif
IEC 417, No.5033-a Matériel de classe II IEC 417, No.5172-a Courant alternatif triphasé IEC 617-2, No.020206 Attention : Danger d’écrasement de la main
ISO 3864
Attention : se reporter
à la documentation
ISO 3864, No.B.3.1
Attention : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3.6
Attention : surface brûlante
IEC 417, No.5041 Attention : Ce dispositif est à ressort
ISO 3864
Mesures de sécurité et précautions
Observer les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d’exploitation de cet
appareil. Le non-respect des ces précautions ou des avertissements du manuel constitue une violation
des normes de sécurité relatives à l’utilisation de l’appareil et peut compromettre la protection assurée

Informations de sécurité relatives au manomètre
6
par l’appareil. MKS Instruments, Inc. rejette toute responsabilité en cas de non-respect des consignes
par les clients.
Avertissement
Les pièces mobiles de la valve peuvent être une cause d'accident tant que
la
valve n'est pas solidement incorporée dans un système. Pour éviter tout
accident, tenir toute partie du corps à distance de toute ouverture de la valve.
1.
Ne pas insérer des objets dans les ouvertures où le contact avec des
pièces mobiles est possible.
2.
Isoler la valve de toute source d'alimentation électrique ou pneumatique
pendant la manipulation de la valve.
PAS DE SUBSTITUTION DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE LA VALVE
Ne pas installer des pièces de substitution ou effectuer des modifications non autorisées sur la valve. Renvoyer la valve à
un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou réparation afin de garantir le l'intégrité des dispositifs
de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des réglages internes. Tout
dépannage doit être uniquement effectué par du personnel qualifié.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, prendre les mesures de précaution appropriées, purger complètement la valve
quand cela est nécessaire, et s'assurer que les produits utilisés sont compatibles avec les composants liquides de
l'appareil, y compris les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE LA VALVE
Après l'installation de l'unité, ou avant son enlèvement d'un système, purger l'unité complètement avec un gaz propre et
sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cette valve doit être purgée sous une hotte de ventilation, et il faut porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en cas d'homologation
spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS APPROPRIÉS ET PROCÉDURES DE SERRAGE
Tous les équipements de la valve doivent être cohérents avec ses spécifications, et compatibles avec l'utilisation prévue
de la valve. Assembler et serrer les équipements conformément aux directives du fabricant.
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir l'étanchéité de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser la valve avec des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté dans le système à vide
afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des produits contaminants
tels que des poussières et des fragments de tissu, de glace et de métal peuvent endommager l'unité d'une manière
permanente ou contaminer le processus.
PRÉCAUTION AVEC L'OUVERTURE DE LA VALVE
Éviter tout contact des mains, toute autre partie du corps, ou tout autre matériel avec l'ouverture de la valve quand celle-
ci est en fonctionnement.

Medidas de seguridad del manómetro
7
Medidas de seguridad del manómetro
Símbolos usados en este manual de instrucciones
Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.
Advertencia
El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se produzcan daños
personales. Pone
de relieve un procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso
de no realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños personales.
Precaución
El símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños
al equipo.
Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica, etc. que en caso de no
realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños
o la destrucción total
o parcial del equipo.
Nota
El símbolo de notas ind
ica información de importancia. Este símbolo pone de relieve
un procedimiento, práctica o condición cuyo conocimiento es esencial destacar.
Símbolos hallados en la unidad
La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad
|
Encendido
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5007
Apagado
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5008
Puesta a tierra
IEC 417, N° 5017 Protección a tierra IEC 417, N° 5019
Caja o chasis
IEC 417, N° 5020
Equipotencialidad
IEC 417, N° 5021
Corriente continua
IEC 417, N° 5031
Corriente alterna
IEC 417, N° 5032
Corriente continua y alterna
IEC 417, N° 5033-a Equipo de clase II IEC 417, N° 5172-a Corriente alterna trifásica IEC 617-2, N° 020206 Precaución. Peligro de aplastamiento de la mano
ISO 3864
Precaución. Consulte los
documentos adjuntos
ISO 3864, N° B.3.1
Precaución.
Riesgo de descarga eléctrica
ISO 3864, N° B.3.6
Precaución. Superficie
caliente
IEC 417, N° 5041
Precaución. Dispositivo a
presión
ISO 3864
Procedimientos y precauciones de seguridad
Las medidas generales de seguridad descritas a continuación deben observarse durante todas las etapas
de funcionamiento del instrumento. La falta de cumplimiento de dichas medidas de seguridad o de las
advertencias específicas a las que se hace referencia en otras partes de este manual, constituye una
violación de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del instrumento y podría anular

Medidas de seguridad del manómetro
8
la protección proporcionada por el equipo. Si el cliente no cumple dichas precauciones y advertencias,
MKS Instruments, Inc. no asume responsabilidad legal alguna.
Advertencia
Hasta que la válvula sea incorporada en forma segur
a al sistema, las piezas en
movimiento presentes en la misma pueden causar daños personales. Para
evitarlo, mantenga todo el cuerpo alejado de la abertura de válvula.
1.
No introduzca por las aberturas objetos que puedan entrar en contacto con
piezas en movimiento.
2.
Antes de tocar la válvula, aíslela de toda fuente de alimentación neumática
o eléctrica.
NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE LA VÁLVULA
No instale piezas que no sean originales o modifique la válvula sin autorización. Para asegurar el correcto
funcionamiento de todos los dispositivos de seguridad, envíe la válvula al Centro de servicio y calibración de MKS toda
vez que sea necesario efectuar reparaciones o tareas de mantenimiento.
LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS ÚNICAMENTE POR TÉCNICOS AUTORIZADOS
Los operarios no deben intentar reemplazar los componentes o realizar tareas de ajuste en el interior. Las tareas de
mantenimiento o reparación deben ser realizadas únicamente por personal autorizado.
TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES TÓXICOS
Cuando se utilicen materiales tóxicos, los operarios deberán cumplir las medidas de seguridad correspondientes, purgar
totalmente la válvula cuando sea necesario y comprobar que el material utilizado sea compatible con los materiales
humedecidos del instrumento e inclusive, con los materiales de sellado.
PURGUE LA VÁLVULA
Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema, purgue completamente la unidad con gas limpio y seco para
eliminar todo resto de la sustancia líquida empleada anteriormente.
USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA
La válvula debe purgarse debajo de una campana de ventilación y deben utilizarse guantes protectores.
NO HAGA FUNCIONAR LA VÁLVULA EN UN AMBIENTE CON RIESGO DE EXPLOSIONES
Para evitar que se produzcan explosiones, no haga funcionar este producto en un ambiente con riesgo de explosiones,
excepto cuando el mismo haya sido certificado específicamente para tal uso.
USE ACCESORIOS ADECUADOS Y REALICE CORRECTAMENTE LOS PROCEDIMIENTOS DE AJUSTE
Todos los accesorios de la válvula deben cumplir las especificaciones de la misma y ser compatibles con el uso que se
debe dar a la válvula. Arme y ajuste los accesorios de acuerdo con las instrucciones del fabricante.
COMPRUEBE QUE LAS CONEXIONES SEAN A PRUEBA DE FUGAS
Inspeccione cuidadosamente las conexiones de los componentes de vacío para comprobar que hayan sido instalados a
prueba de fugas.
HAGA FUNCIONAR LA VÁLVULA CON PRESIONES DE ENTRADA SEGURAS
No haga funcionar nunca la válvula con presiones superiores a la máxima presión nominal (en las especificaciones del
instrumento hallará la presión máxima permitida).
INSTALE UNA CÁPSULA DE SEGURIDAD ADECUADA
Cuando el instrumento funcione con una fuente de gas presurizado, instale una cápsula de seguridad adecuada en el
sistema de vacío para evitar que se produzcan explosiones cuando suba la presión del sistema.
MANTENGA LA UNIDAD LIBRE DE CONTAMINANTES
No permita el ingreso de contaminantes en la unidad antes o durante su uso. Los productos contaminantes tales como
polvo, suciedad, pelusa, lascas de vidrio o virutas de metal pueden dañar irreparablemente la unidad o contaminar el
proceso.
MANTÉNGASE ALEJADO DE LA ABERTURA DE LA VÁLVULA
Cuando la válvula esté funcionando, mantenga los dedos, otras partes del cuerpo y otros materiales alejados de la abertura.

How This Manual is Organized
9
How This Manual is Organized
This manual is designed to provide instructions on how to service the MKS Two-Stage Jalapeño Valve .
Before beginning to service the unit, carefully read and familiarize yourself with all precautionary
notes in the Safety Messages and Procedures section at the front of this manual. In addition, observe and
obey all WARNING and CAUTION notes provided throughout the manual.
Chapter One, General Information, introduces the product.
Chapter Two, Servicing, explains how to service the device.
Customer Support
Standard maintenance and repair services are available at all of our regional MKS Calibration and Service
Centers, listed on the back cover. In addition, MKS accepts the instruments of other manufacturers for
recalibration using the Primary and Transfer Standard calibration equipment located at all of our regional
service centers.
Should any difficulties arise in the use of your MKS product, or to obtain information about companion
products MKS offers, contact any authorized MKS Calibration and Service Center. If it is necessary to return
the instrument to MKS, please obtain an RMA Number (Return Material Authorization Number) from the
MKS Calibration and Service Center before shipping. The RMA Number expedites handling and ensures
proper servicing of your instrument.
Please refer to the inside of the back cover of this manual for a list of MKS Calibration and Service Centers.
Warning
All r
eturns to MKS Instruments must be certified free of harmful, corrosive,
radioactive, or toxic materials.

Chapter One: General Information
Introduction
10
Chapter One: General Information
Introduction
The Two-Stage Valve (see Figure 1) consists of a main isolation valve and a soft start bypass valve, all within
a single valve body. Both valves are pneumatically operated bellows-sealed vacuum valves of stainless steel
construction. A lifetime of 500,000 cycles is typical; due to process buildup, periodic cleaning of the valve
internals may be necessary to maintain proper valve operation and conductance.

Disassembly of the main valve
Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage
Valve
11
Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage Valve
Vacuum components must be kept free of both particulate contamination and of all foreign materials which
would have a significant vapor pressure. Before repairing the vacuum valve, prepare a clean work station in a
dust-free area. Tools should be clean, degreased, and devoted to precision assembly.
Disassembly of the main valve
1-Vent both sides of valve
2-Turn off electrical power to the valve
3-Disconnect the air supply to the valve
4-Remove the screws holding the actuator cap to the
body flange
5-Lift the actuator cap away from the body.
In a new valve, the internal assembly should slide out
easily (see Figure 2). In a valve exposed to
contamination, remove the assembly by pulling
upward on the stem. If the valve has heavy contaminant buildup, try soaking the valve in water to loosen the
solid buildup. Either way, remove the internal assembly carefully, since all forces applied to the assembly are
applied to the bellows which can be easily damaged. Do not overstress the bellows if you plan to reuse it.
The full stroke of a 4-inch diameter valve is 2 inches, therefore, not much effort is needed to compress the
bellows past its design specifications. Do not attempt to pry the assembly away from the body. Damage to
the sealing surfaces will result.
Once the internal assembly is removed, three O-rings will be visible: the actuator cap seal, bonnet seal, and
the nosepiece seal.
Figure 1 - Cutaway View of NW100 Two-Stage Valve

Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage Valve
Disassembly and Inspection of Internal Assembly
12
To replace the actuator cap seal and the bonnet seal, sit the
O-ring in the groove.
Remove the nosepiece O-ring only if a new replacement is
available. To remove the old O-ring, 1) insert a sharp
pointed tool, such as a machinist's scribe, obliquely into the
ring. The sharp point must not pass through the seal, or the
groove surface will be damaged. 2) Lift the seal out with
the scribe.
3) To replace the seal, position the nosepiece so that the
groove faces upward. The bottom of the groove and
surfaces of the new O-ring should be clean and free of
scratches. If necessary, a suitable solvent may be used to
clean the groove. Particulate contamination may be blown
off with dry nitrogen. 4) Place the proper O-ring on top of
the groove. 5) Place your thumbs on the O-ring at points
180 degrees apart, and push the O-ring into the groove. Do not twist the O-ring while pushing in. 6)
Continue to push in opposing intermediate points, until the ring is uniformly in place.
Internal rebuild assembly kits are available and recommended. Disassembling the internal assembly is
hazardous! A new kit easily slides into the cleaned valve body.
Disassembly and Inspection of Internal Assembly
WARNING: The internal assembly of the pneumatic valve contains a stiff spring. Instructions below
must be followed to avoid personal injury.
To disassemble this unit, the closing spring must be compressed. A standard gear puller can be used as a
spring compression tool. Note that the upper outer edge of the stem guide is a seal surface and should be
protected from the gear puller claws. The following procedure assumes the use of a gear puller (see Figure
3).
1-Put a protective ring over the seal surface on the outer edge of the stem guide.
Figure 2 - Main Valve Internals

Disassembly and Inspection of Internal Assembly
Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage
Valve
13
2-Insert the assembly into the gear puller. Do not touch the bellows with the claws of the puller or any hard
object. Bellows with the slightest damage must be replaced. A spanner must be placed on the nosepiece to
prevent rotation.
3-Tighten gear puller screw slightly to remove the spring load from the bottom of the piston.
4-Unscrew piston nut while holding the spanner on the nosepiece. Remove the piston nut, warning washer,
piston, and the piston bushing. Inspect the piston U-cup and Teflon wear ring for excessive wear.
5-Relax the puller, allowing the closing spring to expand. Hold onto the assembly to prevent its falling from
the puller when the spring is fully relaxed.
6-Remove the bellows assembly from puller. Withdraw the stem guide, closing spring, and spring bushing.
7-Inspect stem for wear. Slight abrasion of the stem is acceptable as it will not cause failure of the U-cup
stem seal.
8-The bellows assembly can be leak tested while outside the valve, but care must be taken to limit the
compression of the bellows from atmospheric load.
Figure 3 - Main Valve Internal, NW50

Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage Valve
Disassembly of the bypass valve
14
9-To disassemble the upper stem guide assembly, 1) remove the two 6-32 x 0.25 pan head screws, 2) remove
the seal retainer, 3) remove the stem seal. Inspect for wear. The bearing is press fit into the stem guide and
should not be removed.
Disassembly of the bypass valve
The bypass valve is available in three
versions: standard open/close, thumbscrew
adjust, or micrometer adjust. Note that all
options are still pneumatically operated
valves; the thumbscrew and micrometer limit
the stroke of the bellows to choke flow. The
thumbscrew and micrometer equipped valves
have a different nosepiece for better
adjustment resolution (see Figure 4).
The bypass valve contains a closing spring, but it can be compressed without the use of special fixturing.
1-Vent both sides of valve
2-Turn off electrical power to the valve
3-Disconnect the air supply to the valve
4-Remove the four screws holding the actuator cap to the body flange. Note the position of the micrometer
head (if so equipped) so it can be replaced in the same orientation.
5-The actuator cap, compression spring, and internal assembly are now free to be removed from the valve
body. Contaminant buildup may stop the assembly from sliding out easily. Care should be taken not to dent
the bellows when pulling the internal assembly away from the body. The actuator seal and bonnet seal O-
rings may also be loose and should be removed.
Internal rebuild bypass assembly kits are available. A new kit easily slides into the cleaned valve body.
The bypass valve internal assembly can be disassembled further if necessary.
Figure 4 - Bypass Valve with Micrometer

Disassembly and Inspection of the Bypass Valve
Chapter Two: Servicing an HPS Products Two-Stage
Valve
15
Disassembly and Inspection of the Bypass Valve
1-To further disassemble the bypass internal (see Figure 5), unscrew the piston from the bellows assembly.
2-Inspect the piston U-cup for excessive wear.
3-Inspect the bellows assembly and stem guide for damage.
4-The nosepiece O-ring can be replaced by following the procedure for replacing the main valve nosepiece on
pg. 2.
Assembly of Main and Bypass Valves
Assembly is the reverse of disassembly. The inside of the actuator caps should be lubricated with a light coat
of Fomblin grease applied with a finger.
Once reassembled, the entire Two-Stage Valve should be leak checked with a Helium Leak Detector.
Figure 5 - Bypass Valve Exploded View

16