Pfeiffer Vacuum EVA 016 H User manual

Betriebsanleitung
Operating manual
Mode d’emploi
BP 805 010 BN (9902) 1
Eckventil
Angle valve
Vanne d'équerre
mit Handschnellverschluss
with rapid action rotary knob
à ouverture manuelle rapide
EVA 016 H/HX
EVA 025 H/HX
EVA 040 H/HX
Montage
Betrieb
Technische Daten
Wartung
Mounting
Operation
Technical data
Maintenance
Montage
Fonctionnement
Caractéristiques techniques
Entretien

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 2
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die
Angaben des Typenschildes erforderlich.
Übertragen Sie daher diese Angaben auf
das Ebenbild.
Product identification
When communicating with
Pfeiffer Vacuum, the information given on
the product nameplate is required.
Transfer therefore this information to the
manual.
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaquette
signalétique du produit sont nécessaires
pour les communications à
Pfeiffer Vacuum. Transférer ces
indications dans la documentation du
produit.
Typ:
No:
F-No:
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 3
Gültigkeit
Die vorliegende Dokumentation ist für
Produkte mit den Artikelnummern
PF A31 001 (EVA 016 H)
PF A31 031 (EVA 016 HX)
PF A41 001 (EVA 025 H)
PF A41 031 (EVA 025 HX)
PF A51 001 (EVA 040 H)
PF A51 031 (EVA 040 HX)
gültig. Sie finden die Artikelnummer auf
dem Typenschild.
Die beschriebenen Funktionen, Abbildun-
gen und Daten gelten unter dem Vorbe-
halt, dass eine Änderung jederzeit mög-
lich ist.
Validity
This manual applies to products with part
numbers
PF A31 001
(EVA 016 H)
PF A31 031 (EVA 016 HX)
PF A41 001 (EVA 025 H)
PF A41 031 (EVA 025 HX)
PF A51 001 (EVA 040 H)
PF A51 031 (EVA 040 HX)
The part number can be taken from the
nameplate.
The functions described as well as the
illustrations and data contained in this
manual are subject to change without
notice.
Validité
Le présent manuel est valable pour les
produits avec les numéros de référence
PF A31 001 (EVA 016 H)
PF A31 031 (EVA 016 HX)
PF A41 001 (EVA 025 H)
PF A41 031 (EVA 025 HX)
PF A51 001 (EVA 040 H)
PF A51 031 (EVA 040 HX)
Le numéro de référence figure sur la
plaquette signalétique.
Les fonctions décrites, les figures et les
données sont valables sous la réserve
d'éventuelles modifications.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 4
Die hier beschriebenen Produkte eignen
sich als Vorvakuum–, Bypass– oder Flut-
ventile in Hochvakuumpumpständen und
Vakuumleitungen.
Die Drehbewegung für das Öffnen und
Schliessen des Ventils wird über eine
Kulisse in eine Längsbewegung umge-
wandelt.
The products described herein are used
as fore vacuum, bypass, or venting valves
in high vacuum pumping stations or vac-
uum lines.
The rotary movement for opening or
closing the valve is transformed into a
longitudinal movement by means of a
special sliding block.
Les produits décrites ci–après convien-
nent à l’utilisation comme vannes de vide
primaire, de bypass ou d’entrée d’air dans
les postes de pompage à vide élevé ou
dans des conduites à vide.
Le mouvement rotatif pour l’ouverture
respectivement la fermeture de la vanne
est transformé en un mouvement longitu-
dinal par moyen d’une coulisse.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 5
1 Sicherheit
1.1 Grundlegende Sicher-
heitsvermerke
a) Beachten Sie beim Umgang mit den
verwendeten Gasen die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmassnahmen.
Berücksichtigen Sie mögliche Reak-
tionen mit den Werkstoffen (→
2
15).
b) Beachten Sie bei Wartungsarbeiten
die angegebenen Schutzmassnahmen
(→
2
21).
c) Zur Wartung oder Reparatur einge-
sandte Produkte sollen nach Möglich-
keit frei von Schadstoffen sein (z.B.
radioaktiver, toxischer, ätzender oder
mikrobiologischer Art). Ansonsten ist
die Art der Kontamination zu deklarie-
ren.
Nicht eindeutig als „frei von Schad-
stoffen” deklarierte Produkte werden
kostenpflichtig dekontaminiert.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke auch
an andere Benutzer weiter.
1 Safety
1.1 Safety information
a) Take into account the relevant regula-
tions and safety measures for the
gases used.
Consider possible reactions with the
materials ( → 2 17).
b) Take the necessary precautions when
doing maintenance work (
→ 2 21).
c) Products returned to Pfeiffer Vacuum
for maintenance or repair should if at
all possible be free of harmful sub-
stances (e.g. radioactive, toxic, caus-
tic or microbiological). Otherwise the
type of contamination has to be de-
clared.
Products that are not clearly declared
as „free of harmful substances” are
decontaminated at the expense of the
customer.
Pass on the safety information to other
users.
1Sécurité
1.1 Indications concernant la
sécurité
a) Prendre en considération les disposi-
tions essentielles et les mesures de
précaution afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles
avec les matériaux (→
2
19).
b) Prendre toutes précautions d'usage
pour travaux d’entretien (→
2
21).
c) Les produits qui nous sont envoyés
en vue d’entretien ou de réparation
devraient dans la mesure du possible
être exempts de substances nocives
(soit radioactives, toxiques, corrosives
ou microbiologiques). Sinon, la nature
de la contamination doit être déclarée.
En absence d’une déclaration univo-
que confirmant que le produit est
„exempt de substances nocives”, le
produit est décontaminé aux frais du
client.
Transmettre les indications concernant la
sécurité aux autres utilisateurs.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 6
1.2 Zeichenerklärung
Fachpersonal:
Diese Arbeiten dürfen nur durch
Personen ausgeführt werden, die
die geeignete technische Ausbil-
dung besitzen und über die nötigen
Erfahrungen verfügen.
GEFAHR:
Angaben bzw. Ge– und Verbote
zur Verhütung von Personen- oder
umfangreichen Sachschäden.
ACHTUNG:
Besondere Angaben bzw. Ge– und
Verbote zur Schadenverhütung.
HINWEIS:
Besondere Angaben zur wirt-
schaftlichen Verwendung.
20 Abmessungen in mm
1.2 Explanation of symbols
Specialists:
These tasks may only be carried
out by persons with a suitable
technical education and the neces-
sary experience.
DANGER:
Information on preventing personal
injury or extensive equipment
damage.
CAUTION:
Special information on damage
prevention.
NOTE:
Special information on cost-effec-
tive use.
20
Dimensions in mm
1.2 Explication des signes
Spécialistes:
Ces travaux ne peuvent être effec-
tués que par des personnes ayant
une formation technique appro-
priée et l’expérience nécessaire.
DANGER:
Indications, directives et interdic-
tions concernant la prévention de
dommages corporels ou d'impor-
tants dégâts matériels.
ATTENTION:
Indications particulières, directives
et interdictions concernant la pré-
vention de dommages.
NOTE:
Indications particulières concer-
nant l'utilisation économique.
20 Dimensions en mm

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 7
1.3 Allgemeine Bestim-
mungen
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine
Verantwortung und Gewährleistung, falls
der Betreiber oder Drittpersonen
• das Produkt nicht bestimmungs-
gemäss einsetzen
• am Produkt Eingriffe jeglicher Art
(Umbauten, Änderungen usw.) vor-
nehmen
• das Produkt mit Zubehör betreiben,
welches in den zugehörigen Produkt-
dokumentationen nicht aufgeführt ist
Die Verantwortung im Zusammenhang
mit den verwendeten Gasen liegt beim
Betreiber.
1.3 General stipulations
Pfeiffer Vacuum accepts no responsibility
or warranty if the user or a third party
• utilize the product not according to the
defined use
• make any kind of changes (modifica-
tions, alterations, etc.) to the product
• use the product with accessories not
listed in the product documentation
The user carries the responsibility in
conjunction with the used gases.
1.3 Prescriptions générales
Pfeiffer Vacuum n’assume aucune
responsabilité ni garantie dans le cas où
l’utilisateur ou une tierce personne
• n’utilisent le produit pas conformé-
ment à l’usage défini
• apportent au produit des change-
ments (modifications, altérations, etc.)
• utilisent le produit avec des accessoi-
res non prévus dans les informations
concernant le produit
L'utilisateur supporte la responsabilité
relative aux gaz utilisés.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 8
2 Montage
Beachten Sie beim Umgang mit
Vakuumkomponenten die beson-
deren Regeln in Bezug auf Sau-
berkeit und Schutz vor Beschädi-
gung.
2 Mounting
Make sure to adhere to the special
regulations concerning cleanliness
and damage prevention when
working with vacuum components.
2 Montage
Tenir compte des mesures
particulières concernant
la
propreté et la prévention des
endommagements en utili-
sant des composants à vide.
CLOSED
DN
DN
A
A
H
Fig. 2.1
DN A H
EVA 016 H/HX DN 16 ISO–KF 40 101
EVA 025 H/HX DN 25 ISO–KF 50 130
EVA 040 H/HX DN 40 ISO–KF 65 159
Schutzdeckel
Protective covers
Couvercles de protection
werden bei Wartungsarbeiten benötigt
are needed when doing maintenance work
nécessaires lors de travaux d’entretien
èSchutzdeckel entfernen
Remove protective covers
Enlever les couvercles de
protection
Ventilsitzseite
Valve seat side
Côté siège de vanne

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 9
Eckventil einbauen
Mount angle valve
Monter la vanne d’équerre
Bei KF–Flanschverbindungen mit
elastomeren Dichtringen (z.B.
O–Ring) und einem Überdruck
>4 bar muss der Dichtring mit ei-
nem Aussenzentrierring versehen
sein.
When using KF flanges with
elastomer sealing rings (e.g.
O–rings), the sealing ring must be
equipped with an outer centering
ring at overpressures >4 bar.
En cas d’utilisation de raccords
bridés KF avec des anneaux
d’étanchéité en élastomère (ex.
joints toriques) l’anneau d’étan-
chéité doit être équipé d’un an-
neau de centrage à des surpres-
sions >4 bar.
Bei Überdrücken >1 bar ist ein
Spannelement zu verwenden,
welches sich nur mit einem
Werkzeug schliessen und öffnen
lässt (z.B. Spannband–Spann-
ring).
At overpressures >1 bar a clamp
only to be opened and closed by
means of a tool (e.g. hose clip
clamping ring) has to be used.
A des surpressions >1 bar, un
élément de serrage ne s’ouvrant
qu’à l’aide d’un outil (ex. collier de
serrage à bande) doit être utilisé.
Fig. 2.2
Das Ventil kann anstelle eines Klein-
flansch–Bauteiles derselben Nennweite in
ein System eingebaut werden.
The valve can be mounted in a vacuum
system in place of a small flange fitting
with the same nominal diameter.
La vanne peut être montée dans un sys-
tème à la place d’un élément à petite
bride du même diamètre nominal.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 10
Das Produkt ist nach dem An-
schluss an das Vakuumsystem
betriebsbereit.
The product is ready for operation
once it has been connected to the
vacuum system.
Le produit est prêt pour le service
après son raccordement au sys-
tème à vide.

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 11

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 12
3 Betrieb
3 Operation
3 Fonctionnement
N
OPE




Fig. 3.1
Mit steigendem Differenzdruck in
Schliessrichtung erhöht sich das
Drehmoment am Drehknopf linear.
When the pressure difference in
closing direction rises, the torque
at the rotary knob increases line-
arly.
Quand la pression différentielle en
sens de fermeture augmente, le
couple au bouton tournant
s’accroît linéairement.
Drehknopf
Rotary knob
Bouton tournant
Differenzdruck in Schliessrichtung
Pressure difference in closing direction
Pression différentielle en sens de fermeture

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 13
3.1 Druckfestigkeit und
Differenzdruck
3.1 Overpressure and
pressure difference
3.1 Surpression et pression
différentielle
Fig. 3.2
Maximaler Differenzdruck ∆p = 3 bar
Maximum pressure difference ∆ p = 3 bar
Pression différentielle maximale
∆p = 3 bar
Maximaler Differenzdruck ∆p = 2 bar
Maximum pressure difference ∆ p = 2 bar
Pression différentielle maximale ∆p = 2 bar
Druckfestigkeit
Overpressure
Surpression
EVA 016 H
EVA 016 HX 8 bar 8 bar
EVA 025 H
EVA 025 HX 6 bar 6 bar
EVA 040 H
EVA 040 HX 4 bar 4 bar

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 14
4 Technische Daten
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Anschlussnennweite DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Leitwert bei Molekular-
strömung (Luft) l/s 3 3 15 15 38 38
Dichtheit mbar l/s 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9
Einbaulage beliebig beliebig beliebig beliebig beliebig beliebig
Standzeit bis zur ersten
Wartung Zyklen 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001) 1’500’0001)
Max. Differenzdruck
in Schliessrichtung bar 3 3 3 3 3 3
in Öffnungsrichtung bar 2 2 2 2 2 2
Druckfestigkeit bar 8 8 6 6 4 4
Öffnen gegen Diffe-
renzdruck bar 2 2 2 2 2 2
Drehbewegung für
gesamten Ventilhub 135° 135° 135° 135° 135° 135°
1) bei sauberen Betriebsbedingungen

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 15
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Umgebungstemperatur °C 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60 52) ...60
Ausheiztemperatur
Gehäuse °C 150 150 150 150 150 150
Antrieb °C 120 120 120 120 120 120
Werkstoffe
Gehäuse Al–Profil
3.2315.61 rostfr. Stahl 1.4301 Al–Profil 3.2315.61 rostfr. Stahl 1.4301 Al–Profil 3.2315.61 rostfr. Stahl 1.4301
Balg rostfr. Stahl
1.4404 rostfr. Stahl 1.4404 rostfr. Stahl 1.4404 rostfr. Stahl 1.4404 rostfr. Stahl 1.4404 rostfr. Stahl 1.4404
Dichtungen Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Abmessungen →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20
Gewicht kg 0,3 0,5 0,4 1,2 0,8 2,0
2) –15 °C, sofern die Umgebung frei von kondensierbaren Gasen ist

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 16
4 Technical data
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Flange connection DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Conductance for
molecular flow (air) l/s 3 3 15 15 38 38
Tightness mbar l/s 1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
1×10
-9
Mounting orientation any any any any any any
Cycles to first
maintenance 1,500,000
3)
1,500,000
3)
1,500,000
3)
1,500,000
3)
1,500,000
3)
1,500,000
3)
Max. pressure
difference
in closing direction bar 3 3 3 3 3 3
in opening direction bar 2 2 2 2 2 2
Max. overpressure bar 8 8 6 6 4 4
Can be opened to a
pressure difference of bar 2 2 2 2 2 2
Rotation through the
range of movement 135° 135° 135° 135° 135° 135°
3)
under clean operating conditions

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 17
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Ambient temperature °C 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60 5
4)
...60
Bakeout temperature
Housing °C 150 150 150 150 150 150
Actuator °C 120 120 120 120 120 120
Materials
Housing Al alloy
3.2315.61 Stainless steel 1.4301 Al alloy 3.2315.61 Stainless steel 1.4301 Al alloy 3.2315.61 Stainless steel 1.4301
Bellows Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Stainless steel
1.4404
(AISI 316L)
Seals Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Dimensions
→ 2 20 → 2 20 → 2 20 → 2 20 → 2 20 → 2 20
Weight kg 0.3 0.5 0.4 1.2 0.8 2.0
4 )
–15 °C, if the ambiance is free of condensable gases

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 18
4Caractéristiques techniques
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Diamètre nominal de
raccordement DN 16 ISO–KF DN 16 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 25 ISO–KF DN 40 ISO–KF DN 40 ISO–KF
Conductance pour ré-
gime moléculaire (air) l/s 3 3 15 15 38 38
Etanchéité mbar l/s 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9 1×10-9
Position de montage indifférente indifférente indifférente indifférente indifférente indifférente
Cycles avant entretien 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005) 1’500’0005)
Pression différentielle
max.
sens de fermeture bar 3 3 3 3 3 3
sens d’ouverture bar 2 2 2 2 2 2
Surpression max. bar 8 8 6 6 4 4
Ouverture contre la
pression différentielle bar 2 2 2 2 2 2
Rotation pour toute la
course de la vanne 135° 135° 135° 135° 135° 135°
5) dans des conditions de fonctionnement propres

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 19
EVA 016 H EVA 016 HX EVA 025 H EVA 025 HX EVA 040 H EVA 040 HX
Température ambiante °C 56) ...60 56)...60 56) ...60 56) ...60 56) ...60 56) ...60
Température d’étuvage
Boîtier °C 150 150 150 150 150 150
Entraînement °C 120 120 120 120 120 120
Matériaux
Boîtier Profilé d’Al
3.2315.61 Acier inox. 1.4301 Profilé d’Al 3.2315.61 Acier inox. 1.4301 Profilé d’Al 3.2315.61 Acier inox. 1.4301
Soufflet Acier inox.
1.4404 Acier inox. 1.4404 Acier inox. 1.4404 Acier inox. 1.4404 Acier inox. 1.4404 Acier inox. 1.4404
Joints Viton Viton Viton Viton Viton Viton
Dimensions →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20 →
2
20
Poids kg 0,3 0,5 0,4 1,2 0,8 2,0
6) –15 °C, dans une ambiance exempte de gaz condensables

BP 805 010 BN (9902) EVA 016–040 H/HX 20
CLOSED
DN
DN
A
A
H
ø D
Fig. 4.1
Schutzdeckel
Protective cover
Couvercle de protection
Ventilsitzseite
Valve seat side
Côté siège de vanne
DN A H D
EVA 016 H/HX DN 16 ISO-KF 40 101 Ø50
EVA 025 H/HX DN 25 ISO-KF 50 130 Ø64
EVA 040 H/HX DN 40 ISO-KF 65 159 Ø82