Pfeiffer Vacuum EVL 016 P User manual

Betriebsanleitung inkl. Herstellererklärung
Operating manual incl. Declaration of the Manufacturer
Mode d'emploi incl. Déclaration du
BP 805 015 BN / B (9911) 1
Eckventil
Angle valve
Vanne d'équerre
ohne Steuerventil, mit Lagemelder
without control valve, with position feedback
sans électrovanne, avec interrupteur de fin de cours e
EVL 016 P/PX
EVL 025 P/PX
EVL 040 P/PX
Installation
Bedienung
Technische Daten
Wartung
Installation
Operation
Technical data
Maintenance
Montage
Fonctionnement
Caractéristiques techniques
Entretien

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 2
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die
Angaben des Typenschildes erforderlich.
Übertragen Sie daher diese Angaben auf
das Ebenbild.
Product identification
When communicating with
Pfeiffer Vacuum, the information given on
the nameplate is required. Transfer
therefore this information on the
representation of the nameplate.
Identification du produit
Les indications figurant sur la plaquette
signalétique sont nécessaires pour les
communications à Pfeiffer Vacuum.
Transférer ces indications dans la
représentation de la plaquette
signalétique.
Typ:
No:
VHz
VA

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 3
Gültigkeit
Die vorliegende Dokumentation ist für
Produkte mit den Artikelnummern
PF A36 001 (EVL 016 P)
PF A36 031 (EVL 016 PX)
PF A46 001 (EVL 025 P)
PF A46 031 (EVL 025 PX)
PF A56 001 (EVL 040 P)
PF A56 031 (EVL 040 PX)
gültig. Sie finden die Artikelnummer auf
dem Typenschild.
Die beschriebenen Funktionen, Abbildun-
gen und Daten gelten unter dem Vorbe-
halt, dass eine Änderung jederzeit mög-
lich ist.
Validity
This manual applies to products with part
numbers
PF A36 001 (EVL 016 P)
PF A36 031 (EVL 016 PX)
PF A46 001 (EVL 025 P)
PF A46 031 (EVL 025 PX)
PF A56 001 (EVL 040 P)
PF A56 031 (EVL 040 PX)
The part number can be taken from the
nameplate.
The functions described as well as the
illustrations and data contained in this
manual are subject to change without
notice.
Validité
Le présent manuel est valable pour les
produits avec les numéros de référence
PF A36 001 (EVL 016 P)
PF A36 031 (EVL 016 PX)
PF A46 001 (EVL 025 P)
PF A46 031 (EVL 025 PX)
PF A56 001 (EVL 040 P)
PF A56 031 (EVL 040 PX)
Le numéro de référence figure sur la
plaquette signalétique.
Les fonctions décrites, les figures et les
données sont valables sous la réserve
d'éventuelles modifications.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 4
Die Eckventile eignen sich als Vorva-
kuum-, Bypass- oder Flutventile zu fern-
bedienten Hochvakuum-Pumpständen.
Sie werden durch einen Druckluftkolben
geöffnet und mit einer vorgespannten
Druckfeder geschlossen. Sie schliessen
bei Druckluftausfall.
In beiden Endstellungen haben die Eck-
ventile einen potentialfreien Umschalt-
kontakt.
These angle valves are designed for use
as foreline valves, bypass valves or vent-
ing valves in remote-controlled high vac-
uum pumping systems.
They are opened by a compressed-air
piston and closed by a prestressed
spring. In the event of a compressed-air
failure they close automatically.
The valves have potential free position
indicators in both end positions.
Les vannes d'équerre conviennent à
l'utilisation comme vannes à vide pri-
maire, de bypass ou d'entrée d'air sur des
postes de pompage à vide élevé télé-
commandés.
Les vannes sont ouvertes au moyen d'un
vérin pneumatique et fermées par un
ressort pré-contraint. Elles se ferment en
cas de manque d'air comprimé.
Les vannes disposent de deux interrup-
teurs de fin de course sans potentiel.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 5
1 Sicherheit
1.1 Grundlegende
Sicherheitsvermerke
a) Beachten Sie beim Umgang mit den
verwendeten Gasen die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmassnahmen.
Berücksichtigen Sie mögliche Reak-
tionen mit den Werkstoffen (→23).
b) Beachten Sie bei Installations- und
Wartungsarbeiten die angegebenen
Schutzmassnahmen (→12, 14, 29).
c) Zur Reparatur eingesandte Produkte
sollen nach Möglichkeit frei von
Schadstoffen sein (z.B. radioaktiver,
toxischer, ätzender oder mikrobiologi-
scher Art). Ansonsten ist die Art der
Kontamination zu deklarieren.
Nicht eindeutig als „frei von Schad-
stoffen” deklarierte Produkte werden
kostenpflichtig dekontaminiert.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke auch
an andere Benutzer weiter.
1 Safety
1.1 Safety information
a) Take into account the relevant safety
regulations for the gases used.
Consider possible reactions with the
materials (
→
25).
b) Take the necessary precautions when
doing installation or maintenance work
(
→
12, 14, 29).
c) Note that products returned to
Pfeiffer Vacuum for repair should if at
all possible be free of harmful
substances (e.g. radioactive, toxic,
caustic or microbiological). Otherwise
the type of contamination has to be
declared.
Products that are not clearly declared
as „free of harmful substances” are
decontaminated at the expense of the
customer.
Pass on the safety information to other
users.
1 Sécurité
1.1 Indications concernant la
sécurité
a) Prendre en considération les règles
de sécurité afférentes aux gaz utilisés.
Considérer les réactions possibles
avec les matériaux (→27).
b) Prendre toutes précautions d'usage
pour travaux d'installation ou d’entre-
tien (→12, 14, 29).
c) Les produits qui nous sont envoyés
en vue de réparation devraient dans la
mesure du possible être exempts de
substances nocives (soit radioactives,
toxiques, corrosives ou microbiologi-
ques). Sinon, la nature de la contami-
nation doit être déclarée.
En absence d’une déclaration univo-
que confirmant que le produit est
„exempt de substances nocives”, le
produit est décontaminé aux frais du
client.
Transmettre les indications concernant la
sécurité aux autres utilisateurs.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 6
1.2 Zeichenerklärung
GEFAHR:
Angaben bzw. Ge- und Verbote
zur Verhütung von Personen- oder
umfangreichen Sachschäden.
ACHTUNG:
Besondere Angaben bzw. Ge- und
Verbote zur Schadenverhütung.
HINWEIS:
Besondere Angaben zur
wirtschaftlichen Verwendung.
Das Ergebnis ist in Ordnung.
Das Ergebnis ist nicht erwartet.
6.1
(2.4") Massangaben in mm (inch)
1.2 Explanation of symbols
DANGER:
Information on preventing personal
injury or extensive equipment
damage.
CAUTION:
Special information on damage
prevention.
NOTE:
Special information on cost-effec-
tive use.
Result ok.
Result not as expected.
6.1
(2.4") Lengths in mm (inch)
1.2 Explication des symboles
DANGER:
Indications, directives et interdic-
tions concernant la prévention de
dommages corporels ou d'impor-
tants dégâts matériels.
ATTENTION:
Indications particulières, directives
et interdictions concernant la pré-
vention de dommages.
NOTE:
Indications particulières concer-
nant l'utilisation rationnelle.
Le résultat est bon.
Le résultat n'est pas celui norma-
lement attendu.
6.1
(2.4") Longueurs en mm (pouces)

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 7
Fachpersonal:
Diese Arbeiten dürfen nur durch
Personen, die die geeignete tech-
nische Ausbildung besitzen und
über die nötigen Erfahrungen ver-
fügen, ausgeführt werden.
Specialists:
These tasks may only be carried
out by persons with a suitable
technical education and the neces-
sary experience.
Spécialistes:
Ces travaux ne peuvent être effec-
tués que par des personnes ayant
une formation technique appro-
priée et l’expérience nécessaire.
1.3 Allgemeine
Bestimmungen
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine
Verantwortung und Gewährleistung, falls
der Betreiber oder Drittpersonen
•=das Produkt nicht bestimmungs-
gemäss einsetzen
•=am Produkt Eingriffe jeglicher Art
(Umbauten, Änderungen, usw.) vor-
nehmen
•=das Produkt mit Zubehör betreiben,
welches in den zugehörigen Produkt-
dokumentationen nicht aufgeführt ist
Die Verantwortung im Zusammenhang
mit den verwendeten Gasen liegt beim
Betreiber.
1.3 General stipulations
Pfeiffer Vacuum accepts no responsibility
or warranty if the user or a third party
• =use the product other than according
to the defined usage
• =make any kind of changes
(modifications, alterations, etc.) to the
product
• =use the product with accessories not
listed in the product documentation
The user carries the responsibility in con-
junction with the used gases.
1.3 Prescriptions générales
Pfeiffer Vacuum n’assume aucune
responsabilité ni garantie dans le cas où
l’utilisateur ou une tierce personne
•=utilisent le produit non conformément
aux prescriptions d’utilisation
•=apportent au produit des change-
ments (modifications, altérations, etc.)
•=utilisent le produit avec des accessoi-
res non prévus dans les informations
concernant le produit
L'utilisateur supporte la responsabilité
relative aux gaz utilisés.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 8
2 Montage
2.1 Lage des Strom- und
Druckluftanschlusses
ändern
2 Mounting
2.1 Changing the orientation
of the power and
compressed air connec-
tions
2 Montage
2.1 Changer l’orientation du
raccord électrique et de
l’air comprimé

Schutzdeckel nicht entfernen
Do not remove protective covers
Ne pas enlever les couvercles de protection

Fig. 2.1
passt
fits
juste
→Abschnitt 2.2
→section 2.2
→chapter 2.2
passt nicht
doesn’t fit
p
as
j
uste
→...

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 
Fig. 2.2 Fig. 2.3

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 10
2.2 Flanschverbindungen
herstellen
Beachten Sie beim Umgang mit
Vakuumkomponenten die beson-
deren Regeln in Bezug auf Sau-
berkeit und Schutz vor Beschädi-
gung.
2.2 Making the flange
connections
Make sure to adhere to the special
regulations concerning cleanliness
and damage prevention when
working with vacuum components.
2.2 Raccorder les brides
Tenir compte des mesures par-
ticulières concernant la propreté
et la prévention des endommage-
ments en utilisant des compo-
sants à vide.
Fig. 2.4
DN A E F H
EVL 016 P/PX DN 16 ISO–KF 40
(1.6")
117
(4.6")
105
(4.1")
140
(5.5")
EVL 025 P/PX DN 25 ISO–KF 50
(2.0")
136
(5.4")
105
(4.1")
159
(6.3")
EVL 040 P/PX DN 40 ISO–KF 65
(2.6")
157
(6.2")
105
(4.1")
180
(7.1")
Schutzdeckel
Protective covers
Couvercles de protection
werden bei Wartungsarbeiten benötigt
are needed when doing maintenance work
nécessaires lors de travaux d’entretien
Schutzdeckel entfernen
Remove protective covers
Enlever les couvercles de
protection

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 11
Eckventil einbauen
Install angle valve
Installer la vanne d’équerre
Bei KF–Flanschverbindungen mit
elastomeren Dichtringen (z.B.
O–Ring) und einem Überdruck
>4 bar muss der Dichtring mit
einem Aussenzentrierring verse-
hen sein.
When using KF flanges with
elastomer sealing rings (e.g.
O–rings), the sealing ring must be
equipped with an outer centering
ring at overpressures >4 bar.
En cas d’utilisation de raccords
bridés KF avec des anneaux
d’étanchéité en élastomère (p.ex.
joints toriques) l’anneau d’étan-
chéité doit être équipé d’anneau
de centrage à des surpressions
>4 bar.
Bei Überdrücken >1 bar ist ein
Spannelement zu verwenden,
welches sich nur mit einem
Werkzeug schliessen und öffnen
lässt (z.B. Spannband–Spann-
ring).
At overpressures >1 bar a clamp
only to be opened and closed by
means of a tool (e.g. hose clip
clamping ring) has to be used.
A des surpressions >1 bar, un
élément de serrage ne s’ouvrant
qu’à l’aide d’un outil (p.ex. collier
de serrage à bande) doit être utili-
sé.
Fig. 2.5
Das Ventil kann anstelle eines Klein-
flansch–Bauteiles derselben Nennweite in
ein System eingebaut werden.
The valve can be mounted in a vacuum
system in place of a small flange fitting
with the same nominal diameter.
La vanne peut être montée dans un sys-
tème à la place d’un élément à petite
bride du même diamètre nominal.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 12
3 Druckluft anschliessen
Beachten Sie bei der Handhabung
von Druckluft die einschlägigen
Vorschriften und Schutzmass-
nahmen.
Anforderungen an die Druckluft:
•=frei von Partikeln >75 µm
•=Überdruck 4 ... 8 bar
Die Druckluftsteuerung ist vom Betreiber
bereitzustellen.
Das Steuerventil muss eine Nennweite
≤1,5 mm aufweisen.
3 Connecting the
compressed air
When using compressed air make
sure to adhere to the applicable
handling and safety measures.
The compressed air must meet
the following specifications:
•=free of particles >75 µm
• =overpressure 4 ... 8 bar
The user has to provide a control device
for the compressed air.
The pilot valve must have a nominal
diameter
≤ 1.5 mm.
3 Raccorder l’air comprimé
Lors de l’utilisation d’air
comprimé, observer les
prescriptions et les mesures de
sécurité appropriées concernant la
manutention.
Conditions à remplir par l'air com-
primé:
•=exempt des particules >75 µm
•=surpression 4 ... 8 bar
L’air comprimé doit être pourvu d’un
dispositif de commande par l’utilisateur.
La vanne-pilote doit avoir un diamètre
nominal de ≤1,5 mm.
.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 13
Fig. 3.1

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 14
4 Elektrischer Anschluss 4 Electric connection 4 Branchement électrique

Verbindungskabel herstellen
(passender Stecker liegt bei)
Make the connection cable
(matching connector enclosed)
Confectionner le câble de
connexion
(prise convenable incluse)
Fig. 4.1

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 15
1, 2 nicht belegt
3, 4 Arbeitskontakt (Ventil offen)
5, 6 Ruhekontakt (Ventil geschlossen)
7 Masse
1, 2 Not connected
3, 4 Normally open contact (valve open)
5, 6 Normally closed contact (valve closed)
7 Ground
1, 2 Non utilisé
3, 4 Contact de travail (vanne ouverte)
5, 6 Contact de repos (vanne fermée)
7 Masse
Fig. 4.2
Belastbarkeit der Lagerückmelder
Load capacity of the position feedback switches 25 V= / 2 A
Capacité de charge des interrupteurs de fin de course
offen
open
ouver
t
geschlossen
closed
fermé

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 16
Fig. 4.3
Elektrische Verbindung herstellen
Make the electric connection
Assurer le branchement électrique
Gemäss den örtlichen
Sicherheitsvorschriften anschliessen
Connect according to the local safety regulations
Raccorder selon les prescriptions de sécurité locales
Steuerung
Controller
Commande

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 17
5 Abluft
Wird die Abluft verschiedener Druckluft-
ventile in einem Abluftkanal zusammen-
gefasst, entsteht beim Schalten eines
Ventils ein Druckstoss. Wird dieser zu
gross, kann der Ventilteller eines anderen
Ventils kurz angehoben werden. Um dies
zu verhindern, muss das Volumen und
der Querschnitt des Abluftvolumens ge-
nügend gross sein.
5 Exhaust
If the exhaust from the various valves
operated with compressed air is collected
in an exhaust channel, a pressure surge
can be created when a valve is switched.
If this surge is too strong, the valve plate
of a neighboring valve can be briefly
lifted. To prevent this, the volume and
cross-section of the exhaust channel
must be appropriately dimensioned.
5 Air d'échappement
Si l'air d'échappement de plusieurs van-
nes est mené dans une canalisation
d'échappement commune, l'actionnement
d'une vanne provoquera un coup de
bélier. Si ce coup est trop fort, il peut
soulever momentanément le plateau
d'une autre vanne. Pour éviter cet effet, il
faut que le volume et la section de la
canalisation d'échappement soient suffi-
samment grands.

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 18
Beispiel zum Berechnen des Volumens:
Die Abluft mehrerer Eckventile EVL 025
wird in einem Abluftkanal zusammen-
gefasst, wobei maximal drei Ventile
gleichzeitig schalten.
VK= n × VV× 4,4
VK= 3 × 10 cm³ × 4,4 = 132 cm³
VK= Minimales Volumen des Abluft-
kanals [cm3]
VV= Druckluftvolumen des Ventils
EVL 016 P / PX = 5 cm³
EVL 025 P / PX = 10 cm³
EVL 040 P / PX = 14 cm³
n = Anzahl Ventile, die gleichzeitig
schalten können [–]
4,4 = Druckluftüberdruck–Faktor [–]
Example how to calculate this volume:
The exhaust from several EVL 025 valves
is collected in an exhaust channel. In this
configuration a maximum of 3 valves can
be switched at the same time.
VK= n × VV× 4.4
VK= 3 × 10 cm³ × 4.4 = 132 cm³
VK= Minimum exhaust channel
volume
[ cm3 ]
VV= Compressed air volume of the
valve
EVL 016 P / PX = 5 cm³
EVL 025 P / PX = 10 cm³
EVL 040 P / PX = 14 cm³
n = Number of valves switched at the
same time
[ – ]
4.4 = Compressed air overpressure
factor
[ – ]
Exemple de calcul de ce volume:
L'air d'échappement de plusieurs
EVL 025 est mené dans une canalisation
commune en supposant que trois vannes
au maximum soient actionnées en même
temps.
VK= n × VV× 4,4
VK= 3 × 10 cm³ × 4,4 = 132 cm³
VK= Volume d'échappement
minimum [cm3]
VV= Volume d'air comprimé de la
vanne
EVL 016 P / PX = 5 cm³
EVL 025 P / PX = 10 cm³
EVL 040 P / PX = 14 cm³
n = Nombre de vannes actionnées
simultanément [–]
4,4 = Facteur de surpression d'air
comprimé [–]

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 19
6 Betrieb
6.1 Position des Ventiltellers
in Abhängigkeit des
Versorgungsmediums
6 Operation
6.1 Position of valve plate as
function of the medium
6 Fonctionnement
6.1 Position du clapet en
fonction du média
Position des Ventiltellers
Position of valve plate
Position du clapet
Fig. 6.1
Druckluft
Compressed air
Air comprimé

_
Medium aktiv
Medium active
Média activé
_Medium nicht aktiv
Medium not active
Média pas activé

BP 805 015 BN / B (9911) EVL 016–040 P/PX 20
6.2 Optische Stellungsanzeige 6.2 Optical valve position
indicator
6.2 Indication optique de la
position
Fig. 6.2
Ventil geschlossen
Valve closed
Vanne fermé
e
Ventil geöffnet
Valve open
Vanne ouvert
e