Agilent Technologies MS40+ User manual

vacuum technologies
MS40+
Single Stage
Rotary Vane Pumps
Model 949-9225
Model 949-9240
Model 949-9241
87-901-008-01(A)
NOVEMBER 2008
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.

MS40+
SINGLE STAGE
ROTARY VANE PUMPS

ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG .................................................................................................3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................5
INSTRUCTIONS FOR USE.................................................................................................7
TECHNICAL INFORMATION ..............................................................................................9
SECTION I .....................................................................................................................................9
TECHNICAL DESCRIPTION.........................................................................................................9
VACUUM SEALS...........................................................................................................................9
ANTI-SUCKBACK DEVICE............................................................................................................9
TECHNICAL DATA......................................................................................................................10
Dimensions........................................................................................................................11
SAFETY PRECAUTIONS............................................................................................................12
TRANSPORT AND INSTALLATION............................................................................................12
PRELIMINARY OPERATIONS....................................................................................................12
SECTION II ..................................................................................................................................13
CONNECTION TO THE ELECTRIC SUPPLY ............................................................................13
CONNECTIONS TO THE INLET AND EXHAUST FLANGES ....................................................13
STARTING AND RUNNING THE PUMP.....................................................................................13
STOPPING THE PUMP...............................................................................................................13
SAFETY RULES..........................................................................................................................13
WARNING Notes .....................................................................................................14
CAUTION Notes ..........................................................................................................14
MAINTENANCE ACTIONS..........................................................................................................15
OIL AND FILTER CARTRIDGE REPLACEMENT PROCEDURES............................................16
Oil Change Procedure.......................................................................................................16
Filter Cartridge Replacement Procedure...........................................................................16
LUBRICANTS ..............................................................................................................................16
PUMP ELECTRONIC CONTROLLER.........................................................................................18
Technical Specifications....................................................................................................18
Input/Output Communications:..........................................................................................18
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................19
J2 – Serial Port ..................................................................................................................19
Communication Format .....................................................................................................19
Communication Protocol....................................................................................................19
Windows Meaning .............................................................................................................21
Electronic Self-test.............................................................................................................21
Rotor Lock Test..................................................................................................................21
Oil Level Check..................................................................................................................21
ACCESSORIES...........................................................................................................................22

ISTRUZIONI PER L’USO
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INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professiona-
le. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente
manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizio-
nale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparec-
chiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali
responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale
non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Le MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sono delle
pompe rotative monostadio a palette, a tenuta in bagno
d'olio, azionate da motore elettrico trifase.
Queste pompe da alto vuoto sono adatte al pompaggio
di gas non corrosivi.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore duran-
te l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate
sono fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore
su una procedura o una pratica specifica che, se non
eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi le-
sioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di pro-
cedure che, se non osservate, potrebbero causare danni
all'apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate
dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe
non devono essere superate le seguenti condizioni am-
bientali:
−temperatura: da -20 °C a +70 °C
−umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite
locale.
Il peso dell’imballo, comprensivo della pompa, è, al
massimo, di circa 35 Kg.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare partico-
lare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non
sottoporla ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE
85/399 per la tutela dell'ambiente.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo sem-
plicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque
di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.
NOTA
La pompa è fornita con alcuni accessori standard:
•1 connettore "D" a 9 contatti per I/O (femmina)
(escluso il modello 949-9241)
•1 connettore "D" a 9 contatti per RS232 (maschio)
(escluso il modello 949-9241)
•Molla di ritenuta per presa IEC320
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti
ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di
incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispet-
tate le seguenti condizioni ambientali:
−temperatura: da +12 °C a +40 °C
−umidità relativa: 0 - 95% (non condensante)
−valore di IP.
PERICOLO!
Per proteggere contro corto-circuiti o sovraccarichi, si
deve installare un interruttore automatico sulla linea
d’alimentazione principale verso i dispositivi Varian, di
capacità adeguata (vedere la tabella seguente):
P/N Capacità Interruttore
949-9225 10A
949-9240 10A
949-9241 10A
ATTENZIONE!
Prima di avviare la pompa, verificare il livello dell’olio.
PERICOLO!
Togliere i tappi di protezione posti sulle flange di aspira-
zione e scarico prima di ogni successiva operazione.
L’aria contenuta all’interno della pompa, in caso di ac-
censione involontaria, può proiettarli violentemente con-
tro l’operatore e ferirlo.

ISTRUZIONI PER L’USO
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PERICOLO!
Durante l'installazione, prestare la massima attenzione
che la flangia di aspirazione sia collegata alla camera da
evacuare e che la flangia di scarico non sia tappata (ve-
dere la figura seguente).
La pompa non deve essere usata come compressore.
La massima pressione interna al contenitore dell'olio non
deve superare 1,5 bar (abs).
L'inosservanza di queste precauzioni può causare danni
alla macchina ed all'operatore.
ATTENZIONE!
Controllare che la tensione di alimentazione corrisponda
al campo di valori indicati sulla targhetta del controller.
Collegare la pompa all’alimentazione.
USO
L'accensione della pompa non richiede particolari mano-
vre; è sufficiente collegarla all’alimentazione elettrica
agendo sull’interruttore bipolare.
PERICOLO!
La pompa è progettata per operare con fluidi neutri o
non corrosivi. È assolutamente vietato l'impiego con so-
stanze potenzialmente esplosive o infiammabili.
MANUTENZIONE
Il personale addetto alla condotta ed alla manutenzione
della pompa deve essere ben addestrato e deve avere
un'approfondita conoscenza delle norme antinfortunisti-
che.
PERICOLO!
Le alte tensioni possono causare morte al contatto. Ope-
rare sempre con la massima cautela e secondo le nor-
me antinfortunistiche in vigore.
PERICOLO!
Quando la macchina è alimentata prestare attenzione
per la presenza di parti in movimento e di alta tensione.
PERICOLO!
Nel caso si debba procedere ad operazioni di manuten-
zione della pompa al termine di un prolungato periodo di
esercizio, è necessario lasciarla raffreddare, poichè la
temperatura esterna può superare i 60 °C.
PERICOLO!
Escludere sempre l'alimentazione della pompa prima di
compiere operazioni di manutenzione. Apporre specifici
cartelli di avvertenza: APPARECCHIATURA IN
MANUTENZIONE - NON INSERIRE L'ALIMENTAZIO-
NE, in corrispondenza dell'interruttore di alimentazione.
Al termine ripristinare i dispositivi di sicurezza.
PERICOLO!
Non effettuare la sostituzione dell’olio subito dopo
l’arresto della macchina, in quanto la temperatura dello
stesso può essere elevata.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per ripara-
zioni è indispensabile compilare e far pervenire al locale
ufficio vendite la scheda "Health and Safety Certifica-
tion" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia
della stessa deve essere inserita nell'imballo della pom-
pa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procede-
re alla sua eliminazione nel rispetto delle normative na-
zionali specifiche.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di-
rettiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-
spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
Flangia di scarico
Flangia di aspirazione

GEBRAUCHSANLEITUNG
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ALLGEMEINE HINWEISE
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch be-
stimmt. Vor dem Gebrauch soll der Benutzer dieses
Handbuch sowie alle weiteren von Varian mitgelieferten
Zusatzinformationen genau lesen. Bei vollständiger bzw.
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Hinweise, un-
sachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Miss-
achtung der nationalen Bestimmungen übernimmt Firma
Varian keinerlei Haftung.
Die Pumpen MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps
sind dichte ölbadgeschmierte einstufige Flügelzellen-
pumpen, die von einem Dreiphasenstrommotor betätigt
werden.
Diese Hochvakuumpumpen eignen sich für das Pumpen
von nicht korrosiven Gasen.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen In-
formationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Verwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte techni-
sche Informationen sind im Anhang "Technical Informa-
tion" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits-
hinweise folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Diese Warnung weist auf gefährliche Arbeitsschritte hin,
die bei unsachgemäßer Durchführung das Risiko von
Personenschäden bergen.
ACHTUNG!
Diese Warnung weist auf Arbeitsschritte hin, die das Ri-
siko von Schäden am Gerät bergen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die
aus dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Während des Transports und der Lagerung der Pumpen
sollen die folgenden Umgebungsbedingungen gegeben
sein:
−Temperatur: -20 °C bis +70 °C
−Relative Feuchtigkeit: 0 – 95 % (niederschlagsfrei)
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-
digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Das Verpackungsgewicht beträgt, einschließlich der
Pumpe, maximal 36 kg.
Beim Auspacken ist darauf zu achten, dass die Pumpe
nicht fallengelassen oder Stößen oder Vibrationen aus-
gesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial ist ordnungsgemäß zu ent-
sorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der
EG-Richtlinie 85/399 für den Umweltschutz.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, nicht beschädigt werden. Sie sollte je-
doch bis zur Installation an der Anlage geschlossen blei-
ben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
ANMERKUNG
Die Pumpe wird mit einigen Standardzubehörteilen ge-
liefert:
•1 9-Stift-Stecker "D" für I/O (Steckbuchse) (mit Au-
snahme der 949-9241-model)
•1 9-Stift-Stecker "D" für RS232 (Stecker) (mit Aus-
nahme der 949-9241-model)
•Rückhaltefeder für Anschluss IEC320
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen installiert und/oder
benutzt werden, die ungeschützt vor Witterungsbedin-
gungen (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven
Gasen sind und in denen Explosions- oder erhöhte
Brandgefahr besteht.
Während des Betriebs sollen die folgenden Umge-
bungsbedingungen gegeben sein:
−Temperatur: +12 °C bis +40 °C
−Relative Feuchtigkeit: 0 - 95% (niederschlagsfrei)
−IP Wert.
GEFAHR!
Zum Schutz vor Kurzschlüssen oder Überlastungen
muss ein automatischer Schalter in die Hauptspeisungs-
leitung zu den Varian-Vorrichtungen installiert werden
(siehe folgende Tabelle):
P/N Leistung des Schutzschalters
949-9225 10A
949-9240 10A
949-9241 10A
ACHTUNG!
Vor Inbetriebnahme der Pumpe muss der Ölstand kon-
trolliert werden.
GEFAHR!
Vor Aufnahme jeglicher Arbeiten sind die Schutzkappen
an den Saug- und Druckflanschen zu entfernen. Die im
Pumpeninnern enthaltene Luft könnte diese bei unbeab-
sichtigter Einschaltung gegen den Bediener schleudern.

GEBRAUCHSANLEITUNG
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GEFAHR!
Bei der Installation ist unbedingt darauf zu achten, dass
der Saugflansch an die zu entleerende Kammer ange-
schlossen ist und der Ablassflansch nicht verschlossen
ist (siehe nachstehende Abbildung).
Die Pumpe darf nicht als Verdichter verwendet werden.
Der Druck im Ölbehälter darf nicht größer als 1,5 bar
(abs) sein.
Bei Nichtbeachtung dieser Anweisungen besteht Scha-
densgefahr für das Gerät und die Bedienperson.
ACHTUNG!
Vergewissern Sie sich, dass die Versorgungsspannung
mit dem Wertbereich auf dem Typenschild des Kontrol-
lers übereinstimmt.
Die Pumpe an das Versorgungsnetz anschließen.
GEBRAUCH
Die Einschaltung der Pumpe erfordert keine speziellen
Schritte, sie braucht nur durch Betätigung des zweipoli-
gen Schalters an den Strom angeschlossen zu werden.
GEFAHR!
Die Pumpe ist für den Betrieb mit neutralen und nicht
korrosiven Fluiden konzipiert. Der Einsatz mit potentiell
explosions- oder feuergefährlichen Substanzen ist
streng verboten.
WARTUNG
Das für den Betrieb und die Wartung zuständige Perso-
nal soll geschult sein und über eine solide Kenntnis der
Unfallschutzvorschriften verfügen.
GEFAHR!
Hochspannungen können bei Kontakt tödliche Folgen
haben. Es ist stets mit größter Vorsicht und gemäß den
geltenden Unfallschutzvorschriften vorzugehen.
GEFAHR!
Bei eingeschaltetem Gerät ist auf Bewegungs- und
Hochspannungsteile zu achten.
GEFAHR!
Falls die Pumpe im Anschluss an den Betrieb gewartet
werden soll, ist abzuwarten, bis sie abgekühlt ist, da ihre
Oberfläche eine Temperatur von 60 °C überschreiten
kann.
GEFAHR!
Vor Wartungsarbeiten ist die Pumpe stets energiefrei zu
schalten. Am Netzschalter sind spezielle Warnschilder
“INSTANDHALTUNG AM GERÄT – NICHT
EINSCHALTEN” anzubringen. Nach Abschluss der Ar-
beiten sind die Sicherheitseinrichtungen wieder zu akti-
vieren.
GEFAHR!
Keine Ölwechsel unmittelbar nach Stillsetzung des Ge-
rätes vornehmen, da die Öltemperatur sehr hoch sein
kann.
ANMERKUNG
Bevor dem Hersteller eine Pumpe zur Reparatur zurück-
gesandt wird, ist das Formular “Sicherheit und Gesund-
heit” in der Anlage zum vorliegenden Handbuch
auszufüllen und der lokalen Verkaufsstelle zuzustellen.
Eine Kopie des Formulars ist der Pumpenverpackung
vor dem Versand beizulegen.
Bei eventueller Verschrottung einer Pumpe ist diese
entsprechend der einschlägigen nationalen Vorschriften
zu entsorgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE"-Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts – d.
h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer – kontaktie-
ren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
Ablassflansch
Saugflansch

MODE D'EMPLOI
5/22 87-901-008-01(A)
INFORMATION GÉNÉRALE
Cet appareil a été conçu en vue d'une utilisation profes-
sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentive-
ment cette notice ainsi que toute autre information
fournie par Varian avant de l'utiliser. Varian décline toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions fournies, d'utilisation incorrecte de la part du
personnel non formé, d'opérations non autorisées ou
d'un emploi contraire aux réglementations nationales
spécifiques.
MS40+ Single Stage Rotary Vane Pumps sont des pom-
pes rotatives monoétages, à palettes, étanches en bain
d'huile, actionnées par un moteur électrique triphasé.
Ces pompes à haut vide sont adaptées au pompage de
gaz non corrosifs.
Les paragraphes suivants fournissent toute l‘information
nécessaire pour garantir la sécurité de l'opérateur pen-
dant l'utilisation de l'appareil. Des renseignements plus
détaillés se trouvent dans l'appendice «Technical infor-
mation».
Cette notice utilise les signes conventionnels sui-
vants:
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opéra-
teur sur une procédure ou une manœuvre spéciale dont
la mauvaise exécution risque de provoquer de graves
lésions.
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareil.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants,
isolés du texte.
EMMAGASINAGE
Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes,
veiller à respecter les conditions environnementales sui-
vantes:
−température: de -20 °C à +70 °C
−humidité relative: 0 - 95 % (sans condensation)
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection
spécial; si l'on constate des marques de dommages
pouvant s'être produites pendant le transport, contacter
aussitôt le bureau de vente local.
Le poids total de l'emballage avec la pompe est
d’environ 35 kg maximum.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller
tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas jeter l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive
CEE 85/399 en matière de protection de l'environne-
ment.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant sim-
plement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon
conseillé de la garder dans son emballage jusqu'au
moment de sa mise en place sur le système afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
NOTE
La pompe est équipée de certains accessoires standard:
•1 connecteur “D” à 9 broches pour E/S (femelle)
(l’exclusion du modèle 949-9241)
•1 connecteur “D” à 9 broches pour RS232 (mâle)
(l’exclusion du modèle 949-9241)
•Ressort de maintien pour prise IEC320
INSTALLATION
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),
à des poussières, à des gaz agressifs ainsi que dans
des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respec-
ter les conditions environnementales suivantes:
−Température: de +12 °C à +40 °C
−Humidité relative: 0 - 95 % (sans condensation)
−Valeur d'IP.
DANGER!
Pour protéger contre les courts-circuits ou les surintensi-
tés, il faut installer un disjoncteur automatique sur la li-
gne d’alimentation principale vers les dispositifs Varian,
de capacité adéquate (voir tableau ci-dessous):
P/N Ampérage du disjoncteur
949-9225 10A
949-9240 10A
949-9241 10A
ATTENTION!
Avant toute utilisation de la pompe, vérifier le niveau de
l’huile.
DANGER!
Avant toute autre opération, retirer les bouchons de pro-
tection placés sur les brides d'aspiration et de vidange.
En cas de mise en marche inopinée de l'appareil, l'air
contenu à l'intérieur de la pompe peut les projeter contre
l'opérateur et le blesser.