Agilent Technologies TwisTorr 305 FSQ User manual

Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF
User Manual

2 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Notices
Manual Part Number
D0006288
Edition A.00, November 2020
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© Agilent Technologies, Inc. 2020
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Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions
are fully understood and met.
WARNING
CAUTION

Contents
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 3
Contents
1Istruzioni per l’uso 13
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Apertura 26
Fissaggio della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 28
Installazione della flangia ISO-K 29
Collegamento della pompa di pre-vuoto 30
Avvio e funzionamento della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 31
Arresto della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 32

Contents
4 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Arresto di emergenza 32
Manutenzione 33
Vita del rotore 33
Soft Start 34
Pulizia 34
Smaltimento 35
Servizio Post Vendita 36
2Betriebsanleitung 37
Informationen über diese Betriebsanleitung 38
Gültigkeit 38
Definitionen und Terminologie 39
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis 39
Warnsymbole 40
Sicherheit 42
Sachgemäße Verwendung 42
Unsachgemäße Anwendung 43
Schutzausrüstung 44
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 45
Transport und Lagerung 46
Produktbeschreibung 47
Installation 48
Vorbereitung zum Einbau 48
Einrichten 50
Montage von TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 51
Anschluss des Hochvakuumflansches 52
Installation des ISO-K-Flansches 53

Contents
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 5
Anschluss der Vorvakuumpumpe 54
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 55
Stoppen des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 56
Notausschaltung 56
Wartung 57
Rotordauer 57
Sanftanlauf 58
Reinigung 58
Entsorgung 59
Service 60
3Mode d’emploi 61
À propos de ce manuel 62
Validité 62
Définitions et terminologie 63
Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes 63
Symboles d'avertissement 64
Sécurité 66
Utilisation appropriée 66
Utilisation inappropriée 67
Équipements de protection individuelle 68
Consignes de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 69
Transport et entreposage 70
Description du produit 71
Installation 72
Préparation pour l’installation 72
Configuration 74

Contents
6 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Montage de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 75
Raccordement de la bride à vide élevé 76
Installation de la bride ISO-K 77
Raccordement de la bride à vide préliminaire 78
Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 79
Arrêt de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 80
Arrêt d’urgence 80
Entretien 81
Durée de vie du rotor 81
Démarrage progressif 82
Nettoyage 82
Élimination 83
Service 84
4Instrucciones de uso 85
Acerca del manual 86
Validez 86
Definiciones y terminología 87
Definición de Precaución, Advertencia y Nota 87
Símbolos de advertencia 88
Seguridad 90
Uso correcto 90
Uso incorrecto 91
Equipo de protección 92
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 93
Transporte y almacenamiento 94
Descripción del producto 95

Contents
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 7
Instalación 96
Preparación para instalación 96
Puesta en marcha 98
Montaje de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 99
Conexión de la brida de alto vaciado 100
Instalación de la brida ISO-K 101
Conexión de la bomba pre-vaciad 102
Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 103
Parada de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 104
Parada de emergencia 104
Mantenimiento 105
Vida del rotor 105
Arranque suave 106
Limpieza 106
Eliminación 107
Servicio 108
5使用说明109
关于本手册 110
有效性 110
定义与术语 111
小心、警告和注意的定义111
警告符号 112
安全 114
正确使用 114
使用不当 115

Contents
8 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
防护设备 116
涡轮分子泵安全指南 117
运输及存储118
产品描述 119
安装 120
安装准备120
设置122
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的安装 123
高真空法兰的连接124
ISO-K 法兰的安装 125
前真空泵的连接126
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的启动和运行 127
停止 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 128
紧急停止 128
维护 129
转子寿命 129
慢启动130
清洗 130
处置131
服务132

Contents
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 9
6取扱説明書 133
この説明書について 134
有効期 134
定義と用語 135
警告・注意・注の定義 135
警告の記号 136
安全性 138
適切な使用 138
不適切な使用 139
保護用装備 140
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 141
移送＆保管 142
製品説明 143
取り付け 144
取り付けの準備 144
セットアップ 146
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 実装 147
高真空フランジの接続 148
ISO-K フランジの取り付け 149
フォア真空ポンプの接続 150
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF の起動開始と操作 151
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を停止する 152
緊急停止 152
メンテナンス 153
ローターの寿命 153

Contents
10 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
ソフトスタート 154
クリーニング 154
処分 155
サービス 156
7Instructions for Use 157
About this manual 158
Validity 158
Definitions and terminology 159
Definition of Caution, Warning and Note 159
Warning Symbols 160
Safety 162
Proper use 162
Improper use 163
Protective equipment 164
Safety guideline for Turbomolecular Pumps 165
Transport & Storage 166
Product description 167
Installation 168
Preparation for installation 168
Set-up 170
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Mounting 171
Connection of the High Vacuum Flange 172
Installation of ISO-K Flange 173
Connection of the Fore-Vacuum Pump 174
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 175
Stopping the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 176

Contents
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 11
Emergency stop 176
Maintenance 177
Rotor life 177
Soft Start 178
Cleaning 178
Disposal 179
Service 180
8Technical Information 181
Description of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 182
Technical specification 186
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Outline 190
Interconnections 195
Earth (Ground) Connection 196
Pump Operations 197
Inlet screen installation 197
Air Cooling Kit Installation 200
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) 202
Vent Accessories 205
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases 207
Purge Valve Installation 209
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 210
Pump Used in Presence of Magnetic Fields 210
Controller Operations 210
Accessories and Spare Parts 211

Istruzioni per l’uso
12 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 13
1Istruzioni per l’uso
Informazioni su questo manuale 14
Validità 14
Definizioni e terminologia 15
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota 15
Simboli di avvertenza 16
Sicurezza 18
Uso corretto 18
Uso improprio 19
Attrezzatura di protezione 20
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21
Trasporto & Immagazzinamento 22
Descrizione del prodotto 23
Installazione 24
Preparazione per l’installazione 24
Apertura 26
Fissaggio della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 27
Collegamento della flangia per alto vuoto 28
Installazione della flangia ISO-K 29
Collegamento della pompa di pre-vuoto 30
Avvio e funzionamento della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 31
Arresto della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 32
Arresto di emergenza 32
Manutenzione 33
Vita del rotore 33
Soft Start 34
Pulizia 34
Smaltimento 35
Servizio Post Vendita 36

Istruzioni per l’uso
14 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF,
con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e
manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui
l’utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni
specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente
addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite
dall’utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo “Installazione”.
Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo “Technical Information”.
NOTA
1Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che
utilizza la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF possa utilizzarla
in sicurezza e garantire
la perfetta efficienza, per tutta la sua durata.
2Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicaz
ioni ad esso correlate,
in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di
manutenzione.

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 15
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in
colori contrastanti.
AVVERTENZA
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su
passaggi specifici.

Istruzioni per l’uso
16 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Simboli di avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi
della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono.
Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono
apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso
sono i seguenti:
Corrente continua
Non toccare
Dichiarazione
Europea
di Conformità
Pericolo generico
Sito di produzione Spegnimento
Accensione
Messa a terra protettiva

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 17
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo
strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo
manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale
etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Messa a terra protettiva
Non toccare
J1 Connettore principale
Certificazione CE
Certificazione CSA
Limitazione della Certificazione delle Sostante
Pericolose
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche

Istruzioni per l’uso
18 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni, prescritte dalla Direttiva Macchine
2006/42/CE, che sono essenziali per la conformità e il rispetto delle norme di
sicurezza sia in generale che in relazione all'uso specifico della macchina.
La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel
presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase
di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la
sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme
di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da
osservare affinché l’unità funzioni in sicurezza.
Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all’ambito
specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti
essenziali per l’applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di
sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare.
Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna
responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in
cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve
essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di
sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni.
Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o
approvati da Agilent Technologies.
Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un
tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale
autorizzato Agilent.

Istruzioni per l’uso
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 19
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio della
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF.
L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità
e garanzie. L’uso improprio è definito come:
installazione della pompa con materiale di montaggio non
specificato
pompaggio di gas corrosivi e ossidanti senza flusso di spurgo
adeguato (vedere la sezione “Pompa utilizzata con gas corrosivi e
ossidanti”)
pompaggio di gas esplosivi
pompaggio di vapori di condensazione
pompaggio di liquidi
pompaggio di polvere
funzionamento con flusso di gas elevato improprio
funzionamento con pressioni inadeguate per l'alto vuoto
funzionamento con modalità gas selezionata diversa dal gas
effettivamente utilizzato
funzionamento con elevati livelli impropri di apporto termico isolato
funzionamento in campi magnetici elevati impropri
ventilazione con alte velocità di ventilazione inadeguate
utilizzo della pompa del vuoto per generare pressione
funzionamento del dispositivo in aree con radiazioni ionizzanti
funzionamento in aree potenzialmente esplosive
utilizzo del dispositivo in sistemi in cui stress e vibrazioni simili a
impatti o forze periodiche influiscono sul dispositivo.

Istruzioni per l’uso
20 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
Attrezzatura di protezione
L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la
manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di
operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della
legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la
manipolazione della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF e durante l'installazione.
AVVERTENZA
Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la
manutenzione o l’installazione.
•
A seconda della peculiarità del processo, le pompe per vuoto, i componenti o
i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze tossiche,
reattive o radioattive.
•
Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le
riparazioni o in caso di reinstallazione.
AVVERTENZA
Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti
Durante il trasporto manuale delle pompe per vuoto, sussiste il pericolo che
i carichi scivolino e cadano.
•
Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani.
•
Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata
utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto.
•
Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la
direttiva EN 347.