Agilent Technologies MS 120 Major Installation and operating manual

MS 120
Major Maintenance
Model:
X3702
-64000
X3702
-64010
X3702
-64100
G2571-64000
Service and Repair Manual
87
-900-155-01 (A.00)
02
/2021

MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2021
No part of this manual may be reproduced
in any form or by any means (including
electronic storage and retrieval or
translation into a foreign language)
without prior agreement and written
consent from Agilent Technologies, Inc. as
governed by United States and
international copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-155-01 (A.00)
Edition
Edition 02/2021
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this document
is provided “as is,” and is subject to
being changed, without notice, in future
editions. Further, to the maximum extent
permitted by applicable law, Agilent
disclaims all warranties, either express
or implied, with regard to this manual
and any information contained herein,
including but not limited to the implied
warranties of merchantability and fitness
for a particular purpose. Agilent shall not
be liable for errors or for incidental or
consequential damages in connection
with the furnishing, use, or performance
of this document or of any information
contained herein. Should Agilent and the
user have a separate written agreement
with warranty terms covering the
material in this document that conflict
with these terms, the warranty terms in
the separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software described
in this document are furnished under a
license and may be used or copied only in
accordance with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the performance of
a U.S. Government prime contract or
subcontract, Software is delivered and
licensed as “Commercial computer
software” as defined in DFAR 252.227-
7014 (June 1995), or as a “commercial
item” as defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as defined
in FAR 52.227-19 (June 1987) or any
equivalent agency regulation or contract
clause. Use, duplication or disclosure of
Software is subject to Agilent
Technologies’ standard commercial
license terms, and non-DOD Departments
and Agencies of the U.S. Government will
receive no greater than Restricted Rights
as defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will receive
no greater than Limited Rights as defined
in FAR 52.227-14 (June 1987) or DFAR
252.227-7015 (b)(2) (November 1995), as
applicable in any technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating procedure,
practice, or the like that, if not correctly
performed or adhered to, could result in
damage to the product or loss of important
data. Do not proceed beyond a CAUTION
notice until the indicated conditions are
fully understood and met.
A WARNING notice denotes a hazard. It
calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in personal injury or death.
Do not proceed beyond a WARNING
notice until the indicated conditions are
fully understood and met.
CAUTION
WARNING

MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00) 3
MS 120 Major Maintenance

MS 120 Major Maintenance
4MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00)

MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00) 5
Contents
1 Introduzione 7
Informazioni Generali 8
Prescrizioni di sicurezza 11
2 Gebrauchsanleitung15
Allgemeine Hinweise 16
Sicherheitsvorschriften 20
3 Mode d’emploi 25
Indications générales 26
Prescriptions de sécurité 29
4 Instructions for Use 33
General Information 34
Safety rules 37
5 Major Maintenance 41
Necessary Tooling 42
Troubleshooting 43
MS120 Special Maintenance Tool Kit 45
Procedure 46
Final Test 98
Spare Parts List 100

Contents
6MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00)

MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual
7
1
Introdu
zione
Informazioni Generali 8
Simboli usati 10
Prescrizioni di sicurezza 11

Informazioni Generali
8MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00)
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve
leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo
dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali
responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso
improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati
o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Nessun altro tipo di operazione dovrà essere fatto senza aver prima contattato
il Servizio Assistenza Agilent. Le informazioni fornite non intendono
sostituire, integrare o modificare qualsiasi norma, prescrizione, decreto,
direttiva o legge a carattere specifico in vigore nel luogo in cui avviene
l’installazione.
I consigli rivolti al personale addetto all’installazione e alla manutenzione
presuppongono che lo stesso sia esperto e preparato nell’affrontare qualsiasi
problematica di manutenzione, sia meccanica che elettrica. Per qualsiasi
dubbio o informazioni non riportate su questo manuale si prega di contattare
il nostro servizio assistenza, comunicando sempre: modello (Model), numero
di serie (Serial), anno di costruzione, riportati sulla targhetta di
identificazione.
Figura 1 Targhetta di identificazione

Informazioni Generali
MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00) 9
Le MS120 Single Stage Rotary Vane Pumps sono delle pompe rotative
monostadio a palette, a tenuta in bagno d'olio, azionate da motore elettrico
pilotato da inverter. Queste pompe da alto vuoto sono adatte esclusivamente
al pompaggio di aria e piccole quantità di vapor d’acqua. L’aspirazione di altri
tipi di gas o di vapori deve essere preventivamente dichiarata alla Agilent che,
se del caso, rilascerà la conformità all’impiego specifico.
Il motore elettrico flangiato è accoppiato a mezzo di giunto elastico. Il
raffreddamento viene assicurato da una potente ventola centrifuga.
In aspirazione è presente un filtro a rete per proteggere la pompa da corpi
solidi di diametro maggiore di 4,7 mm. Inoltre, una valvola di ritegno integrata
impedisce la risalita dell’olio ed il rientro dell’aria nella camera da svuotare
durante la fase d’arresto.
Nel serbatoio è inserito un sistema di separazione delle nebbie d’olio dall’aria
di scarico (residuo max. 2PPM/ peso equivalenti a 2,4 mg/m3).
L’olio abbattuto viene recuperato in modo automatico dalla pompa.
Lo zavorratore, impedisce la condensazione all’interno della pompa quando si
aspirano piccole quantità di vapore.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a
garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

Informazioni Generali
10 MS 120 Major Maintenance Service and Repair Manual / 87-900-155-01 (A.00)
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Simboli usati
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le illustrazioni:
Simboli
Descrizione
Simboli
Descrizione
Superficie calda “Pericolo di
scottature se vengono toccate le
parti calde”
Sicurezza elettrica
Emissione di sostanze nocive Pericolo di incendio
Non disperdere nell’ambiente Leggere il manuale d’uso
Attacco in aspirazione Attacco allo scarico