Agilent Technologies TPS-compact X3580-64000 User manual

TPS-compact
Models:
X3580-64000, X3580-64001, X3580-64002, X3580-64003, X3580-64004,
X3580-64005, X3580-64006, X3580-64007, X3580-64010, X3580-64011,
X3580-64012, X3580-64013, X3580-64014, X3580-64015, X3580-64016,
X3580-64017, X3580-64020, X3580-64021, X3580-64022, X3580-64023,
X3580-64024, X3580-64025, X3580-64026, X3580-64027
Manuale di istruzioni
Instruksjon manual
Bedienungshandbuch
Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi
Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones
Podrecznik instrukcji
Manual de istruções
Návod k použití
Bedrijfshandleiding
Návod na obsluhu
Istrukstionsbog
Priročnik za navodila
Bruksanvisning
User Manual
87-901-010-01 (F)
11/2015

TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2015
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Manual Part Number
Publication Number: 87-901-010-01 (F)
Edition
Edition 11/2015
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
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1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
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disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
CAUTION
WARNING

TPS-compact
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 3/312
TPS-compact

TPS-compact
4/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)

Contents
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 5/312
Contents
1
Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 18
Preparazione per l’installazione 19
Installazione 20
Uso22
Manutenzione 25
Smaltimento 26
2
Gebrauchsanleitung27
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28
Allgemeine Informationen 29
Lagerung 32
Vor der Installation 33
Installation 35
Gebrauch 37
Wartung 40
Entsorgung 41

Contents
6/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
3
Mode d’emploi 43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage 48
Préparation pour l'installation 49
Installation 51
Utilisation 53
Entretien 56
Mise au rebut 57
4
Manual de istrucciones 59
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60
Información general 61
Almacenamiento 64
Preparación para la instalación 65
Instalación 67
Uso69
Mantenimiento 72
Eliminación 73
5
Manual de Istruções 75
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 76
Informações gerais 77
Armazenagem 80

Contents
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 7/312
Preparação para a instalação81
Instalação 83
Utilização 85
Manutenção 88
Eliminação 89
6
Bedrijfshandleiding 91
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 92
Algemene informatie 93
Opslag 96
Uitpakken 97
Installatie 99
Gebruik 101
Onderhoud 104
Afvalverwerking 105
7
Istruktionsbog 107
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 108
Generel Information 109
Opbevaring 112
Forberedelse før installation 113
Installation 114
Anvendelse 116
Vedligeholdelse 119

Contents
8/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Bortskaffelse 120
8
Bruksanvisning 121
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar122
Allmän Information 123
Förvaring 126
Förberedelser för installationen 127
Installation 128
Använding 130
Underhåll 133
Bortskaffning 134
9
Instruksjon Manual 135
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 136
Generell informasjon137
Lagring 140
Klargjøre til installasjon 141
Installasjon 142
Bruk 144
Vedlikehold 147
Kassering 148
10
Ohjekäsikirja 149
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 150
Yleisiä tietoja 151

Contents
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 9/312
Varastointi 154
Valmistelut asennusta varten155
Asennus 157
Käyttö 159
Huolto 162
Hävittäminen 163
11
Felhasználói Kézikönyv 165
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 166
Általános információ167
Tárolás 170
Előkészítés telepítésre 171
Telepítés 173
Használat 175
Karbantartás 178
Megsemmisítés 179
12
Podrecznik Instrukcji 181
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych182
Ogólne informacje 183
Magazynowanie186
Przygotowanie do instalacji 187
Instalacja 188
Użytkowanie 190

Contents
10/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Konserwacja 193
Przetworstwo odpadow 194
13
Návod k Použití 195
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 196
Všeobecné informace 197
Uskladnění 200
Příprava k instalaci 201
Instalace 202
Použití 204
Údržba 207
Likvidace 208
14
Návod na Obsluhu 209
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 210
Všeobecné informácie 211
Uchovávanie 214
Príprava na inštaláciu 215
Inštalácia 217
Použitie 219
Údržba 222
Likvidácia 223
15
Priročnik za Navodila 225
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226

Contents
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 11/312
Splošne informacije 227
Shranjevanje 230
Priprava za montažo 231
Montaža 232
Uporaba 234
Vzdrževanje 237
Odlaganje opadkov 238
16
Instructions for Use 239
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240
General Information 241
Storage 244
Preparation for Installation 245
Installation 246
Use248
Maintenance 251
Disposal 252
17
Technical Information 253
Description of the TPS-Compact 255
Technical Specification 261
TPS-Compact Outline 263
Interconnections 272
RS 232/RS 485 Communication Description 286

Contents
12/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Window Protocol 289
Service Options 299
Orderable Parts 305

TPS-compact User Manual
13/312
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Simboli usati 17
Immagazzinamento 18
Preparazione per l’installazione 19
Installazione 20
Uso 22
Accensione ed Uso del TPS-compact 23
Arresto del TPS-compact 24
Arresto di Emergenza 25
Manutenzione 25
Smaltimento 26
Traduzione delle istruzioni originali

1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 15/312
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata
dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è capace di
pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il
TPS-compact è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi
adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è
possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite
un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.

1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
AVVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 17/312
Simboli usati
I seguenti simboli sono utilizzati in modo coerente in tutte le
illustrazioni:
Pericolo “Riferirsi a
installazione /
funzionamento”
Conduttore di
protezione
Superficie calda “Pericolo
di scottature se vengono
toccate le parti calde”
ON - Avviamento
(Alimentazione)
Pericolo, rischio di scossa
elettrica
OFF - Arresto
(Alimentazione)
AVVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi. La pompa è
progettata per un elevato trasferimento di N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in
cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al
supporto tecnico Agilent per informazioni.

1
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
18/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
§durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
§temperatura: da –20 °C a +70 °C
§umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
§il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
§il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 12 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
rinviare il sistema di pompaggio in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di
contattare il locale rappresentante della Agilent.

Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
1
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F) 19/312
Preparazione per l’installazione
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di
disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il
TPS-compact e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere
l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e
risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.

1
Istruzioni per l’uso
Installazione
20/312 TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (F)
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
§pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
§temperatura: da + 5 °C a +35 °C
§umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio deve
essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il
TPS-compact in posizione stabile collegando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla
camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La
seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto, il numero di
morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
AVVERTENZA!
Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile
interruzione dell’alimentazione.