Agilent Technologies Turbo-V 6000 User manual

Turbo-V 6000
Model 969-9081
Model 969-9082
87-900-838-01(D)
JULY 2006
(I) MANUALE DI ISTRUZIONI
(D) BEDIENUNGSHANDBUCH
(F) NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E) MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P) MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S) BRUKSANVISNING
(N) INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.

Turbo-V 6000

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................7
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................10
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................13
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................16
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................19
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................22
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................25
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................28
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................31
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................34
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................37
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................40
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................43
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................46
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................49
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................52
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................52
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................53
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................55
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................55
VENT DEVICE INSTALLATION ..................................................................................................56
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................56
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................57
Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................57
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................57
OIL FILL .......................................................................................................................................58
WATER COOLING CONNECTION .............................................................................................58
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..........................................................59
PREVENTIVE MAINTENANCE ...................................................................................................59
ACCESSORIES ...........................................................................................................................59

ISTRUZIONI PER L'USO
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Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per
una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
,PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!

ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-838-01(D)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si
ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-
vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da
parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati
o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V6000 sono pompe turbomolecola-
ri per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (14000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V6000
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
,PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità
delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate
le seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con-
dizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni in-
formazione, si prega di contattare il locale rappresentante della
Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad
urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple-
tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-
mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-
nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
,PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-
mento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

ISTRUZIONI PER L'USO
3 87-900-838-01(D)
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V6000 devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9491, 969-9591) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa deve essere installata in posizione verticale,
con una inclinazione massima rispetto all’asse verticale di 10°.
La pompa può rimanere poggiata sui suoi piedi, o essere so-
spesa tramite la flangia di ingresso.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti ne-
cessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 500 Morsetto doppio
con filettatura M16
12 80 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M16
12 80 Nm
Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi, questi ultimi van-
no fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M12 posti
in corrispondenza dei piedi di appoggio. Questi fori sono posti
su di un cerchio con diametro 550 mm (21,6 pollici).
La pompa viene inviata con l’olio di lubrificazione in un conteni-
tore separato, per cui prima dell’uso occorre riempire la coppa
dell’olio. Per informazioni dettagliate sulla procedura da seguire
vedere l’appendice “Technical Information”.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopom-
pa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
ATTENZIONE!
Per evitare danni alla pompa il livello dell’olio di lubrificazione
non deve mai scendere al di sotto del livello MIN durante il
funzionamento della pompa stessa
ATTENZIONE!
Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
,PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V6000 non richiedono alcuna ma-
nutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da per-
sonale autorizzato.
L’olio di lubrificazione deve essere cambiato ogni sei mesi o
quando diventa opaco o di colore scuro. Vedere “Technical
Information” per la relativa procedura.
,PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scol-
legare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa
aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto
del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della
pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella
guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-
te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-
sa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della
spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu-
ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve
essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del di-
spositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il
processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei
termini e condizioni contrattuali di vendita.
,PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio-
ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
NO!

GEBRAUCHSANLEITUNG
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Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
,GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!

GEBRAUCHSANLEITUNG
5 87-900-838-01(D)
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-
lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-
tung - auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemä-
ßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisier-
ten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Gel-
tung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V6000 handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-
wendungen zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gas-
haltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssig-
stoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 14000 U/Min) erreicht,
die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird.
Die V6000-Turbopumpen enthalten keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungs-
zwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits hinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
,GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-
ter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
ACHTUNG !
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden
an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die
genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-
fert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponen-
ten, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit blo-
ßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen
anderen geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre aus-
gesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver-
schmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
,GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes dürfen die Pumpen dieser Baureihe
nur mit spezifisch geeigneten Geräten angehoben und trans-
portiert werden.
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Informationen: siehe Schema in "Technical Information".

GEBRAUCHSANLEITUNG
6 87-900-838-01(D)
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V6000 dürfen nur mit
den Varian-Spezial-Controllern (Serie 969-9491, 969-9591) be-
nutzt werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen
werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die Turbopum-
pen müssen in vertikaler Position und mit einer maximalen Nei-
gung von 10° zur vertikalen Achse installiert werden. Dabei kann
die Pumpe auf ihren Standfüßen ruhend installiert oder über den
Flansch am Pumpeneingang in schwebender Position ange-
schlossen werden. Installieren Sie die Turbopumpe in einer stabi-
len Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe
an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment
von 20000 Nm um die eigene Achse aushält. Turbopumpen mit
einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfa-
chen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen wer-
den. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemm-
schellen und der Anzugsmoment für die jeweiligen Flanschgrößen
und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGS-
MOMENT
ISO 500 Doppelklemme mit M
16 Gewinde
12 80 Nm
Einzelschelle mit M-
16 Gewinde
12 80 Nm
Wenn die Pumpen auf ihren Standfüßen ruhend installiert werden
sollen, müssen in diese über die dafür vorgesehenen M12-
Gewindebohrungen angeschlossen werden. Diese Bohrungen
sind auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 550 mm (21,6
Zoll) angebracht. Die Pumpen werden mit in einem separaten
Behälter befindlichen Schmieröl ausgeliefert, das vor Inbetriebset-
zung der Pumpe in die Ölwanne gegeben werden muß. Weitere
Angaben zur Installation finden Sie im Anhang “Technical Informa-
tion”. Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der entsprechenden Steuereinheit enthalten. Dieses
Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck sein.
ACHTUNG!
Um eine Beschädigung der Pumpe auszuschließen, darf der
Schmierölstand während des Pumpenbetriebs nicht unter den
vorgesehenen Mindeststand MIN absinken.
ACHTUNG!
Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden können.
,GEFAHR!
Zum Pumpen von giftigen, leicht entflammbaren oder radioakti-
ven Gasen müssen die für das jeweilige Medium vorgeschrie-
benen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen
Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V6000 sind wartungsfrei. Eventu-
elle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge-
führt werden. Das Schmieröl muß alle 6 Monate oder aber bei
sichtbarer Trübung ausgewechselt werden. Ölwechsel: siehe
"Technical Information".
,GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " Varian Ad-
vanced Exchange Service" in Anspruch genommen werden, der
Ihnen als Austausch für die beschädigte Pumpe eine generalüber-
holte Pumpe der gleichen Bauart zur Verfügung stellen wird.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die Fa. Varian geschickt werden.
Eine Kopie dieses Formulars muß den Frachtpapieren beige-
legt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-
Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts -
d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak-
tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
,GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf keinen Fall und
aus keinem Grunde in die Eingangsöffnung der Turbo-
pumpe gefaßt werden; aus dem gleichen Grunde dürfen
keine Gegenstände in diese Öffnung gegeben werden. Es
wird der Einsatz eines Schutzgitters (Sonderzubehör)
empfohlen. Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers
oder eines Metallbalges auf der Eingangsöffnung muß die
Turbo
p
um
p
e am Unterteil befesti
g
t we
r
den
NEIN !

MODE D’EMPLOI
7 87-900-838-01(D)
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
,DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !

MODE D’EMPLOI
8 87-900-838-01(D)
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-
sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement
cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication sup-
plémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian
décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobserva-
tion totale ou partielle des instructions données, d'utilisation
incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations
non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations
nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V6000 sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à l’utilisation
dans les secteurs liés à l’industrie des semi-conducteurs et
elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type
de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées
pour le pompage de liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (14000 tr/mn maxi), animée par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V6000 sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par
conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide
"propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications né-
cessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisa-
tion de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se
trouvent dans l'appendice "Technical Information"
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
,DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas
effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-
dures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endom-
mager sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés
du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-
pecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-
biantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher,
les mains nues, les éléments devant être exposés au vide.
Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
,DANGER!
Vu son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des instru-
ments de levage et de déplacement appropriés.
ATTENTION!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la
connexion de la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés
aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), aux poussières, aux
gaz de combat ni dans des milieux explosifs ou à risque élevé
d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respec-
ter les conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

MODE D’EMPLOI
9 87-900-838-01(D)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se
reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes
turbomoléculaires de la série Turbo-V6000 ne doivent être
utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série
969-9491, 969-9591) et elles doivent être connectées à une
pompe primaire (voir schéma dans "Technical Information").
La turbopompe doit être installée en position verticale avec une
inclinaison maximale de 10° par rapport à l’axe vertical. La
pompe peut rester en appui sur ses pieds ou être suspendue à
l’aide de la bride d’entrée. Fixer la turbopompe dans une posi-
tion stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une
contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 20000 Nm
autour de son axe. La turbopompe à bride d'entrée ISO doit
être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou
simples. Le tableau suivant décrit le nombre de colliers néces-
saires ainsi que le couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE COLLIER N. COUPLE DE
SERRAGE
ISO 500 Collier double à file-
tage M16
12 80 Nm
Collier simple à file-
tage M16
12 80 Nm
Au cas où la pompe soit placée en appui sur ses pieds, ces
derniers doivent être ancrés au plan d’appui à l’aide des trous
filetés M12 placés en correspondance des pieds d’appui. Ces
trous sont placés sur un cercle d’un diamètre de 550 mm (21,6
pouces). La pompe est livrée avec l’huile de lubrification dans
un récipient séparé et avant toute utilisation il faut remplir le
carter d’huile. Pour plus de détails sur cette procédure, se re-
porter à l’appendice “Technical Information”.
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la
turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de
contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant
d'utiliser la pompe.
ATTENTION!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
ATTENTION!
Pour éviter tout dommage à la pompe, pendant son fonction-
nement le niveau de l’huile de lubrification ne doit jamais des-
cendre en dessous du niveau MIN.
ATTENTION!
Éviter tous chocs ou déplacements brusques de la turbopompe lors-
qu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les coussinets.
,DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V6000 n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé. L’huile de lubrification doit être changée tous les six
mois ou lorsqu’elle devient opaque ou de couleur foncée.
Consulter “Technical Information” pour la procédure à suivre.
,DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé-
brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du
rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service répa-
rations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service"
qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la
pompe endommagée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara-
tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par-
venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" an-
nexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-
pédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales en la matière.
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc-
tive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com-
munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé-
nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par
un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.
,DANGER!
Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais intro-
duire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet dans la
bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le filet de
protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un amortisseur
de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible sur la bouche
d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa base.
NON !

INSTRUCCIONES DE USO
10 87-900-838-01(D)
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
,¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!

INSTRUCCIONES DE USO
11 87-900-838-01(D)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V6000 son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío,
capaces de bombear cualquier tipo de gas o de compuesto
gaseoso. No son idóneas para bombear líquidos o partículas
sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (14000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de alto rendimiento. Las bombas Turbo-
V6000 no poseen ningún agente contaminante y por lo tanto
son adecuadas para aplicaciones que requieren un vacío’
“limpio”.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
,¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bom-
ba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se
ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
La bomba se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga la bomba y de no someterla a choques o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
La bomba no puede dañarse permaneciendo simplemente
expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja
mantenerla cerrada hasta que se instale en el sistema para
evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
,¡PELIGRO!
La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.
¡ATENCIÓN!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

INSTRUCCIONES DE USO
12 87-900-838-01(D)
Cuando haya campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse aplicando pantallas oportunas. Para más detalles
véase el anexo “Technical Information”. Las bombas
turbomoleculares de la serie Turbo-V6000 han de utilizarse
sólo con uno de los controladores Varian específicos (serie
969-9491, 969-9591) y han de conectarse a una bomba
primaria (véase esquema en “Technical Information”). La
turbobomba ha de instalarse en posición vertical, con una
inclinación máxima respecto al eje vertical de 10”. La bomba
puede permanecer apoyada en sus patas, o colgarse mediante
la brida de entrada. Fijar la turbobomba en una posición
estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una
contrabrida fija capaz de resistir a un par de 20000 Nm
alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ISO
ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o
mordazas sencillas. La tabla siguiente describe el número de
mordazas necesarias y al par de apriete al que apretarlas.
BRIDA TYPO DE MORDAZA N° PAR DE
ARRIETE
ISO 500 Mordaza doble con
roscado M16
12 80 Nm
Mordaza sencilla
con roscado M16
12 80 Nm
En caso de que la bomba se apoye sobre sus patas, éstas se
fijarán a la superficie de apoyo utilizando los orificios roscados
M12 haciéndolos coincidir con la pata de apoyo. Estos orificios
están colocados en un círculo con diámetro de 550 mm (21,6
pulgadas). La bomba se envía con el aceite de lubricación a un
recipiente separado, por lo tanto antes de usarla hay que llenar
el cárter del aceite. Para una información detallada sobre el
procedimiento que hay que realizar véase el anexo “Technical
Information”. Para la instalación de los opcionales, véase
“Technical Information”.
UTILIZACIÓN
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
¡ATENCIÓN!
Para enviar aire a la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo ni
partículas. La presión de entrada a través de la puerta
específica deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión
atmosférica).
¡ATENCIÓN!
Para evitar daños a la bomba el nivel del aceite de lubricación
no ha de descender nunca por debajo del nivel MIN durante el
funcionamiento de la misma.
¡ATENCIÓN!
Evitar golpes o desplazamientos bruscos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos podrían dañarse.
,¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cualquier gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V6000 no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por
personal autorizado. El aceite de lubricación ha de cambiarse cada
seis meses o cuando se vuelve opaco o de color oscuro. Véase
“Technical Information” para el procedimiento correspondiente.
,¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la
bomba abriendo la válvula específica y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y a que la temperatura superficial
de la bomba esté por debajo de 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
advanced exchange service, es imprescindible cumplimentar y
remitir a la oficina de ventas local la ficha de “Seguridad y Salud”
adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma
se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, hacerlo
respetando las normas nacionales específicas.
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en obser-
vancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada.
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto con
el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa fabricante o
un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del
producto, después de haber efectuado una verificación de los
términos y condiciones contractuales de venta.
,¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja usar la red de protección
(opcional). Si se usa un amortiguador de vibraciones o un
fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre
la turbobomba a la base.
¡NO!

INSTRUÇÕES PARA O USO
13 87-900-838-01(D)
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
,PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!

INSTRUÇÕES PARA O USO
14 87-900-838-01(D)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador
deve ler atentamente o presente manual de instruções e
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções,
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas
nacionais específicas.
As bombas da série Turbo-V6000 são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são apropriadas bombear líquidos ou partículas
sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (14000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V6000
são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são
adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Nos parágrafos a seguir estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas
no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
,PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, podem causar danos à
aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
esta apresentar sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e para não submetê-la a choques ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a directriz
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para
evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
,PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento.
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de pretecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.

INSTRUÇÕES PARA O USO
15 87-900-838-01(D)
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V6000 devem ser
utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos
(série 969-9491, 969-9591) e devem ser ligadas a uma bomba
primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba
pode ser instalada em posição vertical, com uma inclinação máxima
de 10° em relação ao eixo vertical. A bomba pode apoiar nos seus
pés, ou ficar suspensa através da flange de entrada. Fixar a
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de
20000 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de
entrada ISO, deve ser fixada à câmara de vácuo através de bornes
duplos ou simples. A tabela a seguir descreve, para cada dimensão
de flange e tipo de borne, o número de bornes e o torque de aperto
necessários.
FLANGE TIPO DE BORNE N. TORQUE DE
APERTO
ISO 500 Borne duplo com
rosca M16
12 80 Nm
Borne simples com
rosca M16
12 80 Nm
Se a bomba apoiar nos seus pés, estes deverão ser fixados ao plano
de apoio utilizando os furos rosqueados M12 colocados em
correspondência com os pés referidos. Estes furos são posicionados
num anel com diâmetro de 550 mm (21,6 polegadas). A bomba é
expedida com o óleo de lubrificação num recipiente separado,
portanto, antes da utilização, é preciso encher o colector do óleo.
Para maiores detalhes a respeito do procedimento a executar, ver o
apêndice "Technical Information". Para a instalação dos acessórios
opcionais, ver "Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
ATENÇÃO!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
ATENÇÃO!
Durante o funcionamento da bomba, para evitar danos à
mesma, o nível do óleo de lubrificação nunca deve descer
abaixo do nível MÍN.
ATENÇÃO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando
está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos.
,PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V6000 não requerem qualquer
manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por
pessoal autorizado.
O óleo de lubrificação deve ser trocado de seis em seis meses
ou quando estiver opaco ou com uma cor escura. No que diz
respeito ao procedimento relativo, consultar “Technical
Information”.
,PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar
ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa
ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser
colocada na embalagem da bomba antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua elimi-
nação respeitando as normas nacionais específicas.
ELIMINAÇÃO
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.
O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directi-
va CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a opor-
tuna verificação dos termos e condições do contrato de venda.
,PERIGO!
Para evitar lesões às pessoas, nunca colocar, por
qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de
entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de
protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de
vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de
entrada, fixar sempre a turbobomba à base.
NÄO!