MKS nPC PCA0 User manual

1003195-001
Revision A, 3/08
Instruction Manual
Ninety Industrial Way
Wilmington
MA 01887
Main: 978.284.4000
Fax: [phone]
www.mksinst.com
MKS Type πPCTM
PCA & P99A
Digital Pressure Controller
Instruction Manual

WARRANTY
Type πPCTM Equipment
MKS Instruments, Inc. (MKS) warrants that for one year from the date of shipment the
equipment described above (the “equipment”) manufactured by MKS shall be free from
defects in materials and workmanship and will correctly perform all date-related
operations, including without limitation accepting data entry, sequencing, sorting,
comparing, and reporting, regardless of the date the operation is performed or the date
involved in the operation, provided that, if the equipment exchanges data or is otherwise
used with equipment, software, or other products of others, such products of others
themselves correctly perform all date-related operations and store and transmit dates and
date-related data in a format compatible with MKS equipment. THIS WARRANTY IS
MKS’ SOLE WARRANTY CONCERNING DATE-RELATED OPERATIONS.
For the period commencing with the date of shipment of this equipment and ending one
year later, MKS will, at its option, either repair or replace any part which is defective in
materials or workmanship or with respect to the date-related operations warranty without
charge to the purchaser. The foregoing shall constitute the exclusive and sole remedy of
the purchaser for any breach by MKS of this warranty.
The purchaser, before returning any equipment covered by this warranty, which is
asserted to be defective by the purchaser, shall make specific written arrangements with
respect to the responsibility for shipping the equipment and handling any other incidental
charges with the MKS sales representative or distributor from which the equipment was
purchased or, in the case of a direct purchase from MKS, with the MKS home office in
Wilmington, Massachusetts, USA.
This warranty does not apply to any equipment which has not been installed and used in
accordance with the specifications recommended by MKS for the proper and normal use
of the equipment. MKS shall not be liable under any circumstances for indirect, special,
consequential, or incidental damages in connection with, or arising out of, the sale,
performance, or use of the equipment covered by this warranty.
MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated periodically
(typically every 6 to 12 months) to ensure accurate readings. When a product is returned
to MKS for this periodic re-calibration it is considered normal preventative maintenance
not covered by any warranty.
THIS WARRANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES,
EXPRESSED OR IMPLIED, INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF
MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED WARRANTY OF FITNESS FOR A
PARTICULAR PURPOSE, AND ANY WARRANTY AGAINST INFRINGEMENT OF ANY
PATENT.
3-08 1003195-001

1003195-001
Rev A, 3/08
MKS Type πPCTM
PCA & P99A
Digital Pressure Controller
Instruction Manual

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system, except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments, Inc.
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DeviceNet™ is a trademark of Open DeviceNet Vendor Association, Inc., Coral Springs, FL
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Protected under the following U. S. Patents: No. 5,461,913, 6,810,308, 7,000,465, or International Patents and
Patents pending.

Table of Contents
i
Table of Contents
List of Figures................................................................................................................................................... iii
List of Tables......................................................................................................................................................v
List of References............................................................................................................................................ vii
Pressure Transducer Safety Information ........................................................................................................1
Symbols Used in This Instruction Manual ....................................................................................................................1
Symbols Found on the Unit...........................................................................................................................................1
Safety Procedures and Precautions................................................................................................................................1
Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer..........................................................................................3
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole .....................................................................................................3
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole............................................................................................................3
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen .......................................................................................................3
Informations relatives à la sécurité concernant le transducteur de pression...............................................5
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation..............................................................................................................5
Symboles figurant sur l'unité.........................................................................................................................................5
Mesures de sécurité et précautions ................................................................................................................................5
Medidas de seguridad del transductor de presión..........................................................................................7
Símbolos usados en este manual de instrucciones.........................................................................................................7
Símbolos hallados en la unidad .....................................................................................................................................7
Procedimientos y precauciones de seguridad ................................................................................................................7
Chapter One: General Information ................................................................................................................9
Introduction ...................................................................................................................................................................9
How This Manual is Organized...................................................................................................................................11
Customer Support........................................................................................................................................................12
Chapter Two: Installation and Configuration .............................................................................................13
Unpacking the πPC......................................................................................................................................................13
Product Location and Requirements............................................................................................................................14
Dimensions..................................................................................................................................................................15
Device Information (Labels, Display, Communication, Mounting, Leak Integrity)....................................................22
Installation and Startup Procedure...............................................................................................................................27
Chapter Three: Ethernet Interface Setup and Configuration....................................................................31
Step 1: Install the Java™ Plugin (for single IP address) .............................................................................................31
Step 2: Setup Network for Communication Through Ethernet ...................................................................................32
Chapter Four: Embedded Web-Based GUI and Diagnostics.....................................................................41
Logging On To Your πPC...........................................................................................................................................41
Monitor Mode..............................................................................................................................................................41
Setup Mode..................................................................................................................................................................46
Chapter Five: Overview .................................................................................................................................57
General Information ....................................................................................................................................................57
How the πPC Pressure Controller Works....................................................................................................................59
Tuning the πPC Pressure Controller............................................................................................................................ 61

Table of Contents
ii
Operation of the πPC PC99 Model with Gases other than Nitrogen (Multi Gas)........................................................67
Versions of the πPC (Electrical Interface Related, i.e. Pinouts, cables, etc.) ..............................................................68
Interface Cables for Analog I/O ..................................................................................................................................71
Overview of the Analog πPC Operation......................................................................................................................73
Overview of πPC DeviceNet Digital Operation ..........................................................................................................75
DeviceNet Protocol......................................................................................................................................................76
Overview of πPC RS-485 Digital Operation...............................................................................................................77
RS-485 Protocol ..........................................................................................................................................................77
Chapter Six: Maintenance.............................................................................................................................79
General Information ....................................................................................................................................................79
Zero Adjustment..........................................................................................................................................................79
Chapter Seven: Troubleshooting ..................................................................................................................85
Troubleshooting Chart.................................................................................................................................................85
Appendix A: Product Specifications for the PC90 Model ..........................................................................91
Physical Specifications................................................................................................................................................91
Performance Specifications .........................................................................................................................................91
Environmental Specifications......................................................................................................................................92
Mechanical Specifications..........................................................................................................................................92
Electrical Specifications .............................................................................................................................................92
Appendix B: Model Code Explanation for the PC90 Model ......................................................................95
Model Code Description..............................................................................................................................................95
Appendix C: Product Specifications for the PC99 Model ..........................................................................99
Physical Specifications................................................................................................................................................99
Performance Specifications .........................................................................................................................................99
Environmental Specifications....................................................................................................................................100
Mechanical Specifications........................................................................................................................................100
Electrical Specifications ...........................................................................................................................................101
Appendix D: Model Code Explanation for the PC99 Model....................................................................105
Model Code Description............................................................................................................................................105
Appendix E: Valve Orifice Selection ..........................................................................................................109
General Information ..................................................................................................................................................109
How to Verify the Orifice Selection..........................................................................................................................110

List of Figures
iii
List of Figures
Figure 1: 4-VCR Front View – DeviceNet .......................................................................................................15
Figure 2: 4-VCR Front View – 9-Pin D RS-485...............................................................................................16
Figure 3: 4-VCR Front View – 15-Pin D Analog.............................................................................................16
Figure 4: 4-VCR Left and Right Side Views – DeviceNet...............................................................................17
Figure 5: 4-VCR Left and Right Side Views – 9-Pin D RS-485 ......................................................................17
Figure 6: 4-VCR Left and Right Side Views – 15-Pin D Analog.....................................................................18
Figure 7: 4-VCR Top View (15-Pin D Analog Shown) ...................................................................................18
Figure 8: 4-VCR Bottom View.........................................................................................................................18
Figure 9: C or W Seal Front View – DeviceNet ...............................................................................................19
Figure 10: C or W Seal Front View – 9-Pin D RS-485 .....................................................................................19
Figure 11: C or W Seal Front View – 15-Pin D Analog....................................................................................20
Figure 12: C or W Seal Left and Right Views – DeviceNet..............................................................................20
Figure 13: C or W Seal Left and Right Side Views – 9-Pin D RS-485 .............................................................21
Figure 14: C or W Seal Left and Right Side Views – 15-Pin D Analog............................................................21
Figure 15: C and W Seal Top View (DeviceNet Shown) ..................................................................................21
Figure 16: C and W Seal Bottom View .............................................................................................................22
Figure 17: Labels for the πPC (PC99 and PC90)...............................................................................................22
Figure 18: Push Button Display Readouts .........................................................................................................23
Figure 19: Embedded GUI, Device Page in Monitor Mode (DeviceNet PC90 shown) ....................................42
Figure 20: Embedded GUI, Device Page in Monitor Mode (DeviceNet PC99 shown) ....................................42
Figure 21: Embedded GUI, Plot Page in Monitor Mode (PC90 shown) ...........................................................44
Figure 22: Embedded GUI, Diagnostics Page (PC99 shown) ...........................................................................45
Figure 23: Embedded GUI, Configuration Page in Monitor Mode (DeviceNet πPC shown) ...........................46
Figure 24: Embedded GUI, Device Page in Setup Mode (DeviceNet PC90 shown) ........................................47
Figure 25: Embedded GUI, Device Page in Setup Mode (DeviceNet PC99 shown) ........................................48
Figure 26a: Embedded GUI, Multi Gas, Creating A New Gas Instance (PC99 only).......................................48
Figure 25b: Embedded GUI, Multi Range, Changing the Full Scale Flow Range (PC99 only) .......................49
Figure 27: Embedded GUI, Plot Page in Setup Mode (DeviceNet PC90 shown) .............................................50
Figure 28: Embedded GUI, Plot Page in Setup Mode (Analog)........................................................................50
Figure 29: Embedded GUI, Configuration Page in Setup Mode (DeviceNet PC99 shown) .............................51
Figure 30: Embedded GUI, Configuration Page in Setup Mode (Analog PC99 shown)...................................51
Figure 31: Embedded GUI, Optional PC Page in Setup Mode (Analog πPC Only) .........................................53
Figure 32: Embedded GUI, Plot Page with Enabled Optional Input (Analog PC99 Shown)............................54
Figure 33: Embedded GUI, DNet Settings Page in Setup Mode (PC99 shown) ...............................................55
Figure 34: πPC Controller in Downstream Control Position (PC90 or PC99) ..................................................59
Figure 35: πPC Controller in Upstream Control Position (PC90 only) .............................................................60
Figure 36: Effects of the Proportional Control ..................................................................................................61
Figure 37: Effects of the Integral Control..........................................................................................................62
Figure 38: Controller Response with Initial Kp and Ki term values..................................................................64

List of Figures
iv
Figure 39: Controller Response with New Kp and Ki term values ...................................................................65
Figure 40: Controller Response with New Kp and Ki term values ...................................................................66
Figure 41: DeviceNet Connector Pin Diagram.................................................................................................. 70
Figure 42: Orifice Selection Graph ................................................................................................................. 111

List of Tables
v
List of Tables
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit.............................................................................................1
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole...............................................................................3
Tableau 3: Définition des symboles sur l'unité ...................................................................................................5
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad.................................................................................7
Table 5: DeviceNet Network Status LED Indicators........................................................................................24
Table 6: RS-485 Module Status LED Indicators ..............................................................................................25
Table 7: Pinout, PC90 Model, 15 Pin Analog I/O ............................................................................................68
Table 8: Pinout, PC99 Model, 15 Pin Analog I/O ............................................................................................69
Table 9: Pinout, πPC, RS-485, 9 Pin Digital I/O..............................................................................................70
Table 10: DeviceNet Connector Pinout ............................................................................................................70
Table 11: Interface Cables ................................................................................................................................71
Table 12: Highest Pressures Suggested for Proper Zero Adjustment ...............................................................81
Table 13: Troubleshooting Chart......................................................................................................................85
Table 14: Valve Orifice Size...........................................................................................................................109
Table 15: Valve Orifice Index Number ..........................................................................................................110

List of Tables
vi
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List of References
vii
List of References
The documents listed below are referenced throughout this manual.
[1] “DeviceNet Specification, Volume I: DeviceNet Communication Model and Protocol”, Open DeviceNet
Vendors Association, Inc. Release 2.0. ERRATA 4.0
[2] “DeviceNet Specification, Volume II: DeviceNet Profiles and Object Library”, Open DeviceNet
Vendors Association, Inc. Release 2.0. ERRATA 4.0
[3] “Sensor/Actuator Network Common Device Model”, SEMI Standards Document E54.1-0097.
[4] “Sensor/Actuator Network Communications Standard for DeviceNet”, SEMI Standards Draft Document
E54.4-0097.
[5] “Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Devices”, SEMI Standards Draft
Document #2253C.
[6] “Sensor/Actuator Network Standard”, SEMI Standards Document E54-0097.
[7] SEMI Standards Document E52-95.

List of References
viii
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Pressure Transducer Safety Information
1
Pressure Transducer Safety Information
Symbols Used in This Instruction Manual
Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual.
Warning The WARNING sign denotes a hazard to personnel. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which, if not correctly performed o
r
adhered to, could result in injury to personnel.
Caution The CAUTION sign denotes a hazard to equipment. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the like, which, if not correctly performed or
adhered to, could result in damage to or destruction of all or part of the product.
Note The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a procedure, practice,
condition, or the like, which is essential to highlight.
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit
|
On (Supply)
IEC 417, No. 5007 Off (Supply) IEC 417, No. 5008 Earth (ground) IEC 417, No. 5017 Protective Earth (ground) IEC 417, No. 5019
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020 Equipotentiality IEC 417, No. 5021 Direct Current IEC 417, No. 5031 Alternating Current IEC 417, No. 5032
Both Direct and Alternating Current
IEC 417, No. 5033-a Class II Equipment IEC 417, No. 5172-a Three Phase Alternating Current
IEC 617-2, No. 020206
Caution (refer to accompanying
documents)
ISO 3864, No. B.3.1
Caution, Risk of Electric Shock
ISO 3864, No. B.3.6 Caution, Hot Surface IEC 417, No. 5041
Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this instrument.
Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual violates
safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the customer’s failure to comply with these
requirements.

Pressure Transducer Safety Information
2
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument. Return the instrument to an
MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all safety features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments. Any service must be made by
qualified personnel only. Removing instrument covers voids the warranty for the device.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety precautions, completely purge
the instrument when necessary, and ensure that the material used is compatible with the wetted materials in this product,
including any sealing materials.
PURGE THE INSTRUMENT
After installing the unit, or before removing it from a system, purge the unit completely with a clean, dry gas to eliminate
all traces of the previously used flow material. Purge on install should involve pulling a vacuum on the system to
remove the previous gas (air), flooding with process gas.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn for protection. To purge this
instrument properly, it must be purged in both the horizontal base down and horizontal base up configurations as defined
in SEMI specification. Device has trapped volume in pressure sensor where gas which is lighter than air but still
hazardous can accumulate.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been specifically certified for
such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the intended use of the
instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer's directions.
CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Before proceeding to instrument setup, carefully check all plumbing connections to the instrument to ensure leak-tight
installation.
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
Never operate at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product specifications for the maximum
allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, install a suitable burst disc in the vacuum system to prevent system
explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants to enter the unit before or during use. Contamination such as dust, dirt, lint, glass chips, and
metal chips may permanently damage the unit or contaminate the process.
ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS
Temperature-controlled units will only meet specifications when sufficient time is allowed for the unit to meet, and
stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the unit until the warm up is complete.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer
3
Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in dieser
Betriebsanleitung.
Warnung! Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das Bedienpersonal hin. Es
macht auf einen Arbeitsablauf, eine Arbeitsweise, einen Zustand oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann.
Vorsicht! Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es macht au
f
einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw. ungenügende
Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder Zerstörung des Gerätes oder von
Teilen des Gerätes führen kann.
Hinweis Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige Gegebenhei
t
aufmerksam.
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät angebracht sein können.
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole
|
Ein (Energie)
IEC 417, No.5007 Aus (Energie) IEC 417, No.5008 Erdanschluss IEC 417, No.5017 Schutzleiteranschluss IEC 417, No.5019
Masseanschluss
IEC 417, No.5020 Aquipotentialanschluss IEC 417, No.5021 Gleichstrom IEC 417, No.5031 Wechselstrom IEC 417, No.5032
Gleich- oder Wechselstrom
IEC 417, No.5033-a Durchgängige doppelte oder verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a
Dreileiter-Wechselstrom (Drehstrom)
IEC 617-2, No.020206
Warnung vor einer Gefahrenstelle
(Achtung, Dokumentation beachten)
ISO 3864, No.B.3.1
Warnung vor gefährlicher
elektrischer Spannung
ISO 3864, No.B.3.6
Höhere Temperatur an leicht
zugänglichen Teilen
IEC 417, No.5041
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes zu
befolgen. Eine Missachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards,
und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc.
haftet nicht für Missachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.

Sicherheitshinweise für den Druckmeßumformer
4
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine eigenmächtigen Änderungen am
Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein.
Nur so wird sichergestellt, dass alle Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von qualifizierten
Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal. Bei Entfernung von Geräteabdeckungen erlischt die
Garantie.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muß der Bediener die entsprechenden Sicherheitsvorschriften genauestens
einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen, sowie sicherstellen, daß der Gefahrstoff die im Gerät
verwendeten medienberührenden Materialien, insbesondere Dichtungen, nicht angreift.
Spülen des Gerätes mit Gas!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muß das Gerät unter Einsatz eines reinen Trockengases
vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu entfernen. Für die Spülung bei der
Installierung wird ein Vakuum an das System angelegt, um das (die) vorherige Gas (Luft) zu entfernen und das System
mit Prozessgas zu füllen.
Anweisungen zum Spülen des Gerätes
Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen. Um eine korrekte
Spülung des Gerätes vorzunehmen, müssen Sie dieses in den beiden Konfigurationen horizontale Standfläche nach
unten und horizontale Standfläche nach oben entsprechend den SEMI-Spezifikationen spülen. Im Druckfühler des
Gerätes befindet sich ein Einschlussvolumen, in dem sich Gase, die leichter als Luft, aber dennoch gefährlich sind,
ansammeln können.
Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in der Nähe von)
explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für diesen Zweck zugelassen ist.
Anweisungen zum Installieren der Armaturen!
Alle Anschlußstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen, und mit dem geplanten
Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das Anziehen und Abdichten, muß gemäß den
Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!
Vor der Installierung des Gerätes, überprüfen Sie sorgfältig alle Geräteanschlüsse an Rohrleitungen auf undichte Stellen.
Gerät nur unter zulässigen Anschlußdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe Produktspezifikationen)
übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete Berstscheibe in das
Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen im Gerät vermeiden!
Stellen Sie sicher, daß Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des Betriebs in das
Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter oder Metallspäne können das Gerät
dauerhaft beschädigen oder Prozeß und Meßwerte verfälschen.
Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!
Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit zum Erreichen und
Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und Nulleinstellungen sollten daher nur nach
Abschluß des Anwärmvorgangs durchgeführt werden.

Informations relatives à la sécurité concernant le transducteur de pression
5
Informations relatives à la sécurité concernant le transducteur de
pression
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, MISE EN GARDE, et REMARQUE utilisées dans ce
manuel.
Avertissement Un AVERTISSEMENT signale un danger pour le personnel. Elle attire
l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou toute autre
situation présentant un risque de blessures pour le personnel, en cas
d'exécution incorrecte ou de non-respect des consignes.
Attention Une MISE EN GARDE signale un danger pour l'appareil. Elle attire
l'attention sur une procédure d’emploi, une pratique, ou toute autre situation,
présentant un risque de dégât ou de destruction partielle ou totale du produit,
en cas d'exécution incorrecte ou de non-respect des consignes.
Remarque Une REMARQUE signale une information importante. Elle attire l'attention su
r
une procédure, une pratique, une condition, ou toute autre situation, présentant un
intérêt particulier.
Symboles figurant sur l'unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.
Tableau 3: Définition des symboles sur l'unité
|
Marche (sous tension)
IEC 417, No.5007 Arrêt (hors tension) IEC 417, No.5008 Terre (masse) IEC 417, No.5017 Borne de protection (masse) IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020 Équipotentialité IEC 417, No.5021 Courant continu IEC 417, No.5031 Courant alternatif IEC 417, No.5032
Courant continu et alternatif
IEC 417, No.5033-a Matériel de classe II IEC 417, No.5172-a Courant alternatif triphasé IEC 617-2, No.020206
Mise en garde : se reporter
à la documentation
ISO 3864, No.B.3.1
Mise en garde : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3.6
Mise en garde : surface brûlante
IEC 417, No.5041
Mesures de sécurité et précautions
Observer les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases du fonctionnement
de cet appareil. Le non-respect de ces précautions ou des avertissements du manuel constitue une

Informations relatives à la sécurité concernant le transducteur de pression
6
violation des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et peut compromettre la protection
assurée par l'appareil. MKS Instruments, Inc. dénie toute responsabilité en cas de non-respect des
consignes par les clients.
NE PAS SUBSTITUER DE PIÈCES NI MODIFIER L'APPAREIL
Ne pas susbstituer des pièces ni effectuer des modifications non autorisées sur l'appareil. Renvoyer l'appareil à un centre
de réparation et de calibrage MKS pour toute intervention ou réparation afin de garantir l'intégrité des dispositifs de
sécurité.
FAIRE RÉPARER UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas tenter de remplacer des composants ou d’effectuer des réglages internes. Toute
intervention ne doit être effectuée que par du personnel qualifié. Le retrait des couvercles de l’appareil annule la garantie
du dispositif.
FAIRE PREUVE DE PRUDENCE EN CAS D'UTILISATION AVEC DES MATIÈRES DANGEREUSES
Si des matières dangereuses sont utilisées, l'utilisateur doit prendre des précaution appropriées, purger complètement
l'appareil lorsque cela est nécessaire et s’assurer que les produits utilisés sont compatibles avec les composants
humidifiés de cet appareil, y compris les matériaux d'étanchéité.
PURGER L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son retrait d'un système, purger l'unité complètement avec un gaz propre et sec
afin d'éliminer toute trace du produit de débit usagé. La purge après l’installation devrait consister en une mise sous vide
du système afin d’éliminer le gaz précédent (air), pour que puisse s’écouler à la place le gaz utilisé.
UTILISER LES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation. Il faut porter des gants de protection. Pour purger correctement
l’appareil, ce dernier doit être purgé tant dans les configurations à base inférieure qu’à base supérieure, tel que le stipule
la spécification SEMI. Un certain volume peut être emprisonné dans le capteur de pression de l’appareil où du gaz, plus
léger que l’air mais quand même dangereux, peut s’accumuler.
NE PAS FAIRE FONCTIONNER DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en cas d'homologation
spécifique pour un tel usage.
UTILISER LES BONS RACCORDS ET PROCÉDURES DE SERRAGE
Tous les raccords de l'appareil doivent être conformes à ses spécifications et compatibles avec l'usage prévu de l'appareil.
Assembler et serrer les raccords conformément aux directives du fabricant.
VÉRIFIER L'ÉTANCHÉITÉ DES RACCORDS
Avant de procéder au montage de l’appareil, vérifier avec soin tous les raccordements à l’appareil afin de garantir
l'étanchéité de l'installation.
UTILISER À DES PRESSIONS D'ADMISSION SÛRES
Ne jamais faire fonctionner l’appareil à des pressions supérieures à la pression nominale maximale (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximale permise).
INSTALLER UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
Lors du fonctionnement avec une source de gaz sous pression, installer un disque de rupture adapté dans le système à
vide, afin d'éviter l’explosion du système en cas d'augmentation de la pression.
GARDER L'UNITÉ LIBRE DE TOUT CONTAMINANT
Ne pas laisser des contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Les contaminants tels que la
poussière, la saleté, les peluches, les petits éclats dde verre et de métal peuvent endommager l'unité d'une manière
permanente ou contaminer le processus.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á TEMPÉRATURE CONTRÔLÉE
Les unités à température contrôlée n’atteignent leurs spécifications que lorsqu’on leur laisse suffisamment de temps pour
atteindre d'une manière stable leur température de fonctionnement. Ne pas remettre à zéro ou calibrer l'unité tant que
l'échauffement n'est pas terminé.

Medidas de seguridad del transductor de presión
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Medidas de seguridad del transductor de presión
Símbolos usados en este manual de instrucciones
Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.
Advertencia El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se produzcan daños
personales. Pone de relieve un procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso
de no realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños personales.
Precaución El símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños al equipo.
Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica, etc. que en caso de no
realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños o la destrucción total
o parcial del equipo.
Nota El símbolo de notas indica información de importancia. Este símbolo pone de relieve
un procedimiento, práctica o condición cuyo conocimiento es esencial destacar.
Símbolos hallados en la unidad
La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad
|
Encendido
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5007
Apagado
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5008
Puesta a tierra
IEC 417, N° 5017 Protección a tierra IEC 417, N° 5019
Caja o chasis
IEC 417, N° 5020 Equipotencialidad IEC 417, N° 5021 Corriente continua IEC 417, N° 5031 Corriente alterna IEC 417, N° 5032
Corriente continua y alterna
IEC 417, N° 5033-a Equipo de clase II IEC 417, N° 5172-a Corriente alterna trifásica IEC 617-2, N° 020206
Precaución. Consulte los documentos
adjuntos
ISO 3864, N° B.3.1
Precaución.
Riesgo de descarga eléctrica
ISO 3864, N° B.3.6
Precaución. Superficie caliente
IEC 417, N° 5041
Procedimientos y precauciones de seguridad
Las medidas generales de seguridad descritas a continuación deben observarse durante todas las etapas
de funcionamiento del instrumento. La fMFC de cumplimiento de dichas medidas de seguridad o de las
advertencias específicas a las que se hace referencia en otras partes de este manual, constituye una
violación de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del instrumento y podría anular

Medidas de seguridad del transductor de presión
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la protección proporcionada por el equipo. Si el cliente no cumple dichas precauciones y advertencias,
MKS Instruments, Inc. no asume responsabilidad legal alguna.
NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE EL INSTRUMENTO
No instale piezas que no sean originales ni modifique el instrumento sin autorización. Para asegurar el correcto
funcionamiento de todos los dispositivos de seguridad, envíe el instrumento al Centro de servicio y calibración de MKS
toda vez que sea necesario repararlo o efectuar tareas de mantenimiento.
LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS ÚNICAMENTE POR TÉCNICOS AUTORIZADOS
Los operarios no deben intentar reemplazar los componentes o realizar tareas de ajuste en el interior del instrumento. Las
tareas de mantenimiento o reparación deben ser realizadas únicamente por personal autorizado. Si se retiran las tapas del
instrumento, quedará anulada la garantía del dispositivo.
TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES TÓXICOS
Cuando se utilicen materiales tóxicos, es responsabilidad de los operarios tomar las medidas de seguridad
correspondientes, purgar totalmente el instrumento cuando sea necesario y comprobar que el material utilizado sea
compatible con los materiales humedecidos del instrumento e inclusive, con todos los materiales de sellado.
PURGUE EL INSTRUMENTO
Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema, purgue completamente la unidad con gas limpio y seco para
eliminar todo resto de la sustancia líquida empleada anteriormente. El purgado de la instalación supondrá la creación del
vacío en el sistema para eliminar el gas (aire) previo, inundándolo con gas procesado.
USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA
El instrumento debe purgarse debajo de una campana de ventilación y deben utilizarse guantes protectores. Para purgar
adecuadamente este instrumento, se debe purgar con las configuraciones de base horizontal hacia abajo y de base
horizontal hacia arriba, según se define en la especificación SEMI. El dispositivo tiene un volumen atrapado en el sensor
de presión, donde se puede acumular el gas que es más ligero que el aire, pero aún así peligroso.
NO HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO EN AMBIENTES CON RIESGO DE EXPLOSIÓN
Para evitar que se produzcan explosiones, no haga funcionar este instrumento en un ambiente con riesgo de explosiones,
excepto cuando el mismo haya sido certificado específicamente para tal uso.
USE ACCESORIOS ADECUADOS Y REALICE CORRECTAMENTE LOS PROCEDIMIENTOS DE AJUSTE
Todos los accesorios del instrumento deben cumplir las especificaciones del mismo y ser compatibles con el uso que se
debe dar al instrumento. Arme y ajuste los accesorios de acuerdo con las instrucciones del fabricante.
COMPRUEBE QUE LAS CONEXIONES SEAN A PRUEBA DE FUGAS
Antes de poner en marcha el sistema, inspeccione cuidadosamente las conexiones de tubos con el instrumento para
comprobar que hayan sido instaladas a prueba de fugas.
HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO CON PRESIONES DE ENTRADA SEGURAS
No haga funcionar nunca el instrumento con presiones superiores a la máxima presión nominal (en las especificaciones
del instrumento hallará la presión máxima permitida).
INSTALE UNA CÁPSULA DE SEGURIDAD ADECUADA
Cuando el instrumento funcione con una fuente de gas presurizado, instale una cápsula de seguridad adecuada en el
sistema de vacío para evitar que se produzcan explosiones cuando suba la presión del sistema.
MANTENGA LA UNIDAD LIBRE DE CONTAMINANTES
No permita el ingreso de contaminantes en la unidad antes o durante su uso. Los productos contaminantes tales como
polvo, suciedad, pelusa, lascas de vidrio o virutas de metal pueden dañar irreparablemente la unidad o contaminar el
proceso.
CALIENTE ADECUADAMENTE LAS UNIDADES CONTROLADAS POR MEDIO DE TEMPERATURA
Las unidades controladas por medio de temperatura funcionarán de acuerdo con las especificaciones sólo cuando se las
caliente durante el tiempo suficiente para permitir que lleguen y se estabilicen a la temperatura de operación indicada.
No calibre la unidad y no la ponga en cero hasta que finalice el procedimiento de calentamiento.