MKS 649B User manual

MKS TYPE 649B (ROHS COMPLIANT)
PRESSURE CONTROLLER WITH
INTEGRAL MASS FLOW METER
User Manual
PART 1023590-001 REV- C
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2 649B USER MANUAL
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3 649B USER MANUAL
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Table of Contents
List of Figures and Tables ......................................................................................................................... 7
1Warranty ............................................................................................................................................... 8
2Safety ................................................................................................................................................... 9
2.1 Safety Information ....................................................................................................................... 9
2.1.1 Symbols Used in This Instruction Manual ............................................................................ 9
2.1.2 Symbols Found on the Unit................................................................................................ 10
2.1.3 Safety Procedures and Precautions .................................................................................. 11
2.2Sicherheitshinweise .................................................................................................................. 13
2.2.1 In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole ......................................................... 13
2.2.2 Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole ............................................................... 14
2.2.3 Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen ........................................................... 15
2.3Informations de Sécurité ........................................................................................................... 17
2.3.1 Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation .................................................................. 17
2.3.2 Symboles figurant sur l'unité .............................................................................................. 18
2.3.3 Mesures de sécurité et précautions ................................................................................... 19
2.4Medidas de Seguridad .............................................................................................................. 21
2.4.1 Símbolos usados en este manual de instrucciones .......................................................... 21
2.4.2 Símbolos hallados en la unidad ......................................................................................... 22
2.4.3 Procedimientos y precauciones de seguridad ................................................................... 23
2.5安全に関する情報 ..................................................................................................................... 25
2.5.1 本取扱説明書のマーク ....................................................................................................... 25
2.5.2 本機器のマーク .................................................................................................................. 26

4 649B USER MANUAL
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2.5.3 安全対策について .............................................................................................................. 27
2.6장치 안전 정보 ........................................................................................................................... 29
2.6.1 본 지침 매뉴얼에 사용되는 기호들 .................................................................................... 29
2.6.2 장치에 표시된 기호들 ......................................................................................................... 30
2.6.3 안전 절차 및 예방조치 ........................................................................................................ 31
3Chapter 3 General Information ........................................................................................................... 33
3.1 Introduction................................................................................................................................ 33
3.1.1 Design Features of the Integral Mass Flow Meter ............................................................. 33
3.1.2 Cleanliness Features ......................................................................................................... 34
3.2 How This Manual is Organized ................................................................................................. 34
3.2.1 Manual Conventions .......................................................................................................... 35
3.3 Customer Support ..................................................................................................................... 35
4Chapter 4 Installation ......................................................................................................................... 36
4.1 How To Unpack the Type 649 Unit ........................................................................................... 36
4.1.1 Opening the Package ........................................................................................................ 36
4.1.2 Unpacking Checklist .......................................................................................................... 36
4.2Interface Cables ........................................................................................................................ 37
4.2.1Generic Shielded Cable Description .................................................................................. 37
4.3Product Location and Requirements ......................................................................................... 38
4.4Dimensions................................................................................................................................ 39
4.4.1 Front and Back Views ........................................................................................................ 39
4.4.2 Side View ........................................................................................................................... 41

5 649B USER MANUAL
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4.4.3 Bottom View ....................................................................................................................... 41
4.5Dimensions................................................................................................................................ 42
4.5.1 Fittings ................................................................................................................................ 42
4.5.2 Mounting Hardware ............................................................................................................ 42
4.5.3 Gas Pressure ..................................................................................................................... 42
4.5.4 Installing the Unit ............................................................................................................... 43
4.6Electrical Information ................................................................................................................. 43
4.6.1 I/O Connector ..................................................................................................................... 43
4.7Initial Configuration ................................................................................................................... 46
5Chapter 5 Overview ............................................................................................................................ 47
5.1 General Information .................................................................................................................. 47
5.1.1 Pressure Control Range .................................................................................................... 47
5.1.2 Flow Range ........................................................................................................................ 47
5.1.3 A Typical Control System ................................................................................................... 48
5.2 How The 649 Pressure Controller Works ................................................................................. 48
5.3 Flow Measurement Overview .................................................................................................... 49
5.3.1 Flow Path ........................................................................................................................... 49
5.3.2 Measurement Technique ................................................................................................... 49
5.4 Tuning the 649B Pressure Controller ........................................................................................ 50
5.4.1 Proportional Term .............................................................................................................. 50
5.4.2 Integral Term ...................................................................................................................... 51
5.4.3 Tuning the 649B Controller ................................................................................................ 51
5.5 Priority of Commands ................................................................................................................ 54
5.6 Trip Points ................................................................................................................................. 55

6 649B USER MANUAL
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TYPE OF USER MANUAL
5.6.1Action of the Trip Points ..................................................................................................... 55
5.7 Applications with a Large Differential Pressure ........................................................................ 56
5.8 Labels ........................................................................................................................................ 56
6Chapter 6 Operation ........................................................................................................................... 57
6.1 How To Check the Pressure Transducer Zero ......................................................................... 57
6.2 How To Adjust the Pressure Transducer Span ......................................................................... 58
6.3 How To Zero the Integral Mass Flow Meter .............................................................................. 58
6.4 How To Tune the 649B Controller ............................................................................................ 59
6.5 How To Adjust the Trip Point Values ........................................................................................ 59
6.6 How To Select the Trip Point Action ......................................................................................... 61
6.7 How To Use Trip Points as Error Indicators .............................................................................. 62
6.8 How To Change the Pressure Output Signal Range ................................................................ 64
7Chapter 7 Maintenance ...................................................................................................................... 66
7.1 General Information .................................................................................................................. 66
7.2 Zero Adjustment ........................................................................................................................ 66
Appendix .................................................................................................................................................. 67
Appendix A: Product Specifications .................................................................................................. 67
Appendix B: Model Code Explanation ............................................................................................... 70
Appendix C: Valve Orifice Selection.................................................................................................. 73
Index ........................................................................................................................................................ 76

7 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
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List of Figures and Tables
Figure 1: Front View ................................................................................................................................ 40
Figure 2: Rear View ................................................................................................................................. 40
Figure 3: Side View .................................................................................................................................. 41
Figure 4: Bottom View ............................................................................................................................. 42
Figure 5: Downstream Pressure Control ................................................................................................. 43
Figure 6: Top View ................................................................................................................................... 47
Figure 7: Location of Flow Meter Adjustments ........................................................................................ 48
Figure 8: Effects of the Proportional Control Term .................................................................................. 50
Figure 9: Effects of the Integral Control Term ......................................................................................... 51
Figure 10: Controller Response with Initial P Term and I Term Values .................................................. 52
Figure 11: Controller Response with Increased P Term ......................................................................... 53
Figure 12: Controller Response with Increased I Term ........................................................................... 53
Figure 13: Serial Number Label ............................................................................................................... 56
Figure 14: Jumper Positions on the Transducer Board ........................................................................... 62
Figure 15: Valve Orifice Index Number ................................................................................................... 74
Table 1: Connector Pin Assignments ...................................................................................................... 44
Table 2: - Initial Configuration .................................................................................................................. 46
Table 3: - Highest Pressure for Zero Adjustment of the Pressure Transducer ....................................... 58
Table 4: - Valve Orific Sizes .................................................................................................................... 73
Table 5 - Valve Orifice Index Number ..................................................................................................... 74

8 649B USER MANUAL
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1 Warranty
MKS Instruments, Inc. (MKS) warrants that for one (1) year from the date of shipment the equipment,
which is described above and manufactured by MKS, shall be free from defects in materials and
workmanship.
For the period commencing with the date of shipment of this equipment and ending one (1) year later,
MKS will, at its option, either repair or replace any part which is defective in materials or workmanship
without charge to the purchaser. The foregoing shall constitute the exclusive and sole remedy of the
purchaser for any breach of MKS of this warranty.
The purchaser, before returning any equipment covered by this warranty, which is asserted to be
defective by the purchaser, shall make specific written arrangements with respect to the responsibility
for shipping the equipment and handling any other incidental charges with the MKS Sales
Representative or distributor from which the equipment was purchased or, in the case of a direct
purchase from MKS, with the MKS home office in Andover, Massachusetts, USA.
This warranty does not apply to any equipment which has not been installed and used in accordance
with the specifications recommended by MKS for the proper and normal use of the equipment. MKS
shall not be liable under any circumstances for indirect, special, consequential, or incidental damages
in connection with, or arising out of, the sale, performance, or use of the equipment covered by this
warranty.
MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated periodically (typically) every 6
to 12 months) to ensure accurate readings. When a product is returned to MKS for this periodic re-
calibration it is considered normal preventative maintenance not covered by any warranty.
THIS WARRANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES, EXPRESSED OR
IMPLIED, INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED
WARRANTY OF FITNESS FOR A PARTICULAR PURPOSE, AND ANY WARRANTY AGAINST
INFRINGEMENT OF ANY PATENT.

9 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2 Safety
2.1 Safety Information
The following general safety precautions must be observed during all phases of operation of this
instrument. Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual
violates safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by
the equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the customer’s failure to comply with
these requirements.
2.1.1 Symbols Used in This Instruction Manual
The following are definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the
manual.
NOTE
The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a
procedure, practice, condition, or the like, which is essential to
highlight.
CAUTION
The CAUTION sign denotes a hazard. It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like, which, if not correctly performed or
adhered to, could result in damage to or destruction of all or part of the
product.
WARNING
The WARNING sign denotes a hazard. It calls attention to a procedure,
practice, condition, or the like, which, if not correctly performed or
adhered to, could result in injury to personnel.
DANGER
The DANGER sign Indicates an imminently hazardous situation that, if
not avoided, will result in death or serious injury.

10 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2.1.2 Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
ON (Supply)
IEC 417, No. 5007
OFF (Supply)
IEC 417, No. 5008
Earth (ground)
IEC 417, No. 5017
Protective earth
(ground)
IEC 417, No. 5019
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020
Equipotentiality
IEC 417, No. 5021
Direct current
IEC 417, No. 5031
Alternating current
IEC 417, No. 5032
Both direct and
alternating current
IEC 417, No. 5019
Class II equipment
IEC 417, No. 5172-a
Three phase
alternating current
IEC 617-2, No. 020206
Caution refers to
acompanying
documents
ISO 3864, No. B.3 1
Caution risk of
electric shock
ISO 3864, No. B.3 6
Caution hot surface
IEC 417, No. 5021

11 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2.1.3 Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phase of operation of this instrument.
Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual violates
safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the customer’s failure to comply with these
requirements.
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument. Return the
instrument to an MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all safety
features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not remove instrument covers. Component replacement and internal
adjustments must be made by qualified service personnel only.
KEEP AWAY FROM LIVE CIRCUITS
Do not replace components with power cable connected. Under certain conditions, dangerous voltages
may exist even with the power cable removed. To avoid injuries, always disconnect power and
discharge circuits before touching them.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety
precautions, completely purge the instrument when necessary, and ensure that the material used is
compatible with sealing materials.
PURGE THE INSTRUMENT
After installing the unit, or before its removal from a system, be sure to purge the unit completely with a
clean dry gas to eliminate all traces of the previously used flow material.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn to protect
personnel. To purge this instrument properly, it must be purged in both the horizontal base down and
horizontal base up configurations as defined in SEM spec. Device has trapped volume in pressure
sensor where gas which is higher than air but still hazardous can accumulate.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been
specifically certified for such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the
intended use of the instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer's directions.

12 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
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CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Before proceeding to instrument setup, carefully check all plumbing connections to the instrument to
ensure leak-tight installation.
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
This unit should never be operated at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the
product specifications for the maximum allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, a suitable burst disc should be installed in the vacuum
system to prevent system explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants of any kind to enter the unit before or during use. Contamination such as
dust, dirt, lint, glass chips, and metal chips may permanently damage the unit.
ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS
Temperature-controlled unit will only meet specifications when sufficient time is allowed for the unit to
meet, and stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the unit until the
warmup is complete.

13 649B USER MANUAL
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2.2 Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät
2.2.1 In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole ual
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in dieser
Betriebsanleitung.
HINWEIS
Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige
Gegebenheit aufmerksam.
VORSICHT
Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es
macht auf einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung
bzw. ungenügende Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder
Zerstörung des Gerätes oder von Teilen des Gerätes führen kann.
WARNUNG!
Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das Bedienpersonal
hin. Es macht auf einen Arbeitsablauf, eine Arbeitsweise, einen Zustand
oder eine sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße
Ausführung bzw. ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen
führen kann.
GEFAHR
Das DANGER-Zeichen weist auf eine unmittelbar gefährliche Situation
hin, die, wenn sie nicht vermieden wird, zum Tod oder zu schweren
Verletzungen führen wird.

14 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
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2.2.2 Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät angebracht
sein können.
Ein (Energie)
IEC 417, No.5007
Aus (Energie))
IEC 417, No.5008
Erdanschluss
IEC 417, No.5017
Schutzleiteranschluss
IEC 417, No.5019
Masseanschluss
IEC 417, No.5020
Aquipotentialanschluss
IEC 417, No 5021
Gleichstrom
IEC 417, No.5031
Wechselstrom
IEC 417, No.5032
Gleich- oder
Wechselstrom
IEC 417, No.5019
Durchgängige
doppelte oder
verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a
Dreileiter-
Wechselstrom
(Drehstrom)
IEC 617-2, No.020206
Warnung vor einer
Gefahrenstelle
(Achtung,
Dokumentation
beachten)
ISO 3864, No.B.3 1
Warnung vor
gefährlicher
elektrischer Spannung
ISO 3864, No.B.3 6
Höhere Temperatur an
leicht zugänglichen
Teilen
IEC 417, No.5021

15 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2.2.3 Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes zu
befolgen. Eine Missachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards,
und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc. haftet
nicht für Missachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.
NIEMALS TEILE AUSTAUSCHEN ODER ÄNDERUNGEN AM GERÄT VORNEHMEN!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine
eigenmächtigen Änderungen am Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und Reparatur an
den MKS- Kalibrierungs- und -Kundendienst ein. Nur so wird sichergestellt, dass alle
Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
WARTUNG NUR DURCH QUALIFIZIERTE FACHLEUTE!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von
qualifizierten Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
VORSICHT VOR STROMFÜHRENDEN LEITUNGEN!
Ersetzen Sie keine Komponente von Geräten, die an Netzstrom angeschlossen sind. Unter Umständen
kann gefährliche Spannung auch dann bestehen, wenn das Netzanschlusskabel von der
Strmversorgung entfernt wurde. Um Verletzungen vorzubeugen sollten zuerst alle Geräte von der
Stromversorgung getrennt und alle Stromkreusläufe entladen werden.
VORSICHT BEIM ARBEITEN MIT GEFÄHRLICHEN STOFFEN!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muss der Bediener die entsprechenden
Sicherheitsvorschriften genauestens einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen, sowie
sicherstellen, dass der Gefahrstoff die am Gerät verwendeten Materialien, insbesondere Dichtungen,
nicht angreift.
SPÜLEN DES GERÄTES MIT GAS!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muss das Gerät unter Einsatz eines
reinen Trockengases vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu
entfernen.
ANWEISUNGEN ZUM SPÜLEN DES GERÄTES
Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.
GERÄT NICHT ZUSAMMEN MIT EXPLOSIVEN STOFFEN, GASEN ODER DÄMPFEN BENUTZEN!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in der
Nähe von) explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für diesen
Zweck zugelassen ist.

16 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
ANWEISUNGEN ZUM INSTALLIEREN DER ARMATUREN!
Alle Anschlussstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen, und mit
dem geplanten Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das Anziehen und
Abdichten, muss gemäß den Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
VERBINDUNGEN AUF UNDICHTIGKEITEN PRÜFEN!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.
GERÄT NUR UNTER ZULÄSSIGEN ANSCHLUSSDRÜCKEN BETREIBEN!
Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe
Produktspezifikationen) übersteigen.
GEEIGNETE BERSTSCHEIBE INSTALLIEREN!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete Berstscheibe in
das Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem
Systemdruck zu vermeiden.
VERUNREINIGUNGEN IM GERÄT VERMEIDEN!
Stellen Sie sicher, dass Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des
Betriebs in das Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter oder
Metallspäne können das Gerät dauerhaft beschädigen oder Prozess- und Messwerte verfälschen.
BEI GERÄTEN MIT TEMPERATURKONTROLLE KORREKTE ANWÄRMZEIT EINHALTEN!
Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit zum
Erreichen und Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und
Nulleinstellungen sollten daher nur nach Abschluss des Anwärmvorgangs durchgeführt werden.

17 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
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2.3 Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit
massique
2.3.1 Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans ce manuel.
REMARQUE
L'indication REMARQUE signale une information importante.
Elle attire l'attention sur une procédure, une pratique, une
condition, ou toute autre situation, présentant un intérêt
particulier.
ATTENTION
L'indication ATTENTION signale un danger pour l'appareil. Elle
attire l'attention sur une procédure d'exploitation, une pratique,
ou toute autre situation, présentant un risque de dégât ou de
destruction partielle ou totale du produit, en cas d'exécution
incorrecte ou de non-respect des consignes.
AVERTISSEMENT
L'indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le
personnel. Elle attire l'attention sur une procédure, une pratique,
une condition, ou toute autre situation présentant un risque
d'accident pour le personnel, en cas d'exécution incorrecte ou
de non-respect des consignes.
DANGER
Le panneau DANGER indique une situation dangereuse
imminente qui, si elle n’est pas évitée, entraînera la mort ou des
blessures graves.

18 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2.3.2 Symboles figurant sur l'unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.
Marche (sous tension)
IEC 417, No.5007
Arrêt (hors tension)
IEC 417, No.5008
Terre (masse)
IEC 417, No.5017
Terre de protection
(masse)
IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020
quipotentialité
IEC 417, No.5021
Courant continu
IEC 417, No.5031
Courant alternatif
IEC 417, No.5032
Courant continu et
alternatif
IEC 417, No.5019
Matériel de classe II
IEC 417, No.5172-a
Courant alternatif
triphasé
IEC 617-2, No.020206
Attention : se reporter
à la documentation
ISO 3864, No.B.3 1
Attention : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3 6
Attention : surface
brûlante
IEC 417, No.5021

19 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
2.3.3 Mesures de sécurité et précautions
Observer les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d'exploitation de
cet appareil. Le non-respect des ces précautions ou des avertissements du manuel constitue une
violation des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et peut compromettre la protection
assurée par l'appareil. MKS Instruments, Inc. rejette toute responsabilité en cas de non-respect des
consignes par les clients.
PAS DE REMPLACEMENT DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer de pièces de remplacement ni effectuer des modifications non autorisées sur l'appareil.
Renvoyer l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou réparation afin
de garantir le l'intégrité des dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de sortir les composants du boîtier ou faire des
réglages internes. Le dépannage est réservé au personnel qualifié.
ÉLOIGNEMENT DES CIRCUITS SOUS-TENSION
Ne pas remplacer de composants lorsqu’un câble d’alimentation est branché. Dans certaines
conditions, des tensions dangereuses peuvent être présentes même après le retrait du câble
d’alimentation. Pour éliminer tout risque de blessure, procéder toujours à la déconnexion et décharger
les circuits avant tout contact physique.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable du respect des mesures de
sécurité appropriées, de la purge complète de l'appareil quand elle s’avère nécessaire, et doit s’assurer
que les produits utilisés sont compatibles avec les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son retrait d'un système, purger l'unité complètement avec un
gaz propre et sec afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation. Le personnel doit porter des gants de
protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en cas
d'homologation spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS ET PROCÉDURES DE SERRAGE APPROPRIÉS
Tous les équipements de l'appareil doivent être conformes à ses spécifications, et compatibles avec
l'utilisation prévue de l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux directives du
fabricant.

20 649B USER MANUAL
PART 1023590-001 REV- C
TYPE OF USER MANUAL
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir l'étanchéité
de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux
spécifications de l'unité pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté
dans le système à vide, afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des
produits contaminants tels que des poussières et des fragments de tissu, de verre et de métal peuvent
endommager l'unité de manière permanente.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á RÉGULATION DE
TEMPÉRATURE
Les unités à régulation de température sont conformes à leurs spécifications uniquement quand on leur
laisse un temps suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas
remettre à zéro ou calibrer l'unité tant que l'échauffement n'est pas terminé.