MKS P250A User manual

Type P250A / IM250A High Flow
Rate
Mass Flow Controller
Instruction Manual
2 Tech Drive
Suite 201
Andover, MA 01810
978.645.5500
978.557.5100 FAX
www.mksinst.com
1041806-001 Rev C
10/13

WARRANTY
Type P250A / IM250A Mass Flow Controller
MKS Instruments, Inc. (MKS) warrants that for one (1) year from the date of
shipment the equipment described above (the “equipment”) manufactured by MKS
shall be free from defects in materials and workmanship.
For the period commencing with the date of shipment of this equipment and ending
one (1) year later, MKS will, at its option, either repair or replace any part which is
defective in materials or workmanship or with respect to the date-related operations
warranty without charge to the purchaser. The foregoing shall constitute the
exclusive and sole remedy of the purchaser for any breach by MKS of this
warranty.
The purchaser, before returning any equipment covered by this warranty, which is
asserted to be defective by the purchaser, shall make specific written arrange-
ments with respect to the responsibility for shipping the equipment and handling
any other incidental charges with the MKS sales representative or distributor from
which the equipment was purchased or, in the case of a direct purchase from MKS,
with the MKS home office in Andover, Massachusetts, USA.
This warranty does not apply to any equipment which has not been installed and
used in accordance with the specifications recommended by MKS for the proper
and normal use of the equipment. MKS shall not be liable under any circumstances
for indirect, special, consequential, or incidental damages in connection with, or
arising out of, the sale, performance, or use of the equipment covered by this
warranty.
MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated
periodically (typically every 6 to 12 months) to ensure accurate readings. When a
product is returned to MKS for this periodic re-calibration it is considered normal
preventative maintenance not covered by any warranty.
THIS WARRANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES,
EXPRESSED OR IMPLIED, INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF
MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED WARRANTY OF FITNESS FOR A
PARTICULAR PURPOSE, AND ANY WARRANTY AGAINST INFRINGEMENT OF
ANY PATENT.

1041806-001 Rev C
10/13
Type P250A / IM250A High Flow Rate
Mass Flow Controller
2 Tech Drive
Suite 201
Andover, MA 01810
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ii
Copyright © 2013 by MKS Instruments, Inc.
All rights reserved. No part of this work may be reproduced or transmitted in any form or by any means,
electronic or mechanical, including photocopying and recording, or by any information storage or retrieval
system, except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments, Inc.
Printed in the United States of America
DeviceNet™ is a trademark of Open DeviceNet Vendor Association, Inc., Coral Springs, FL
Swagelokand VCRare registered trademarks of Swagelok Marketing Company, Solon, OH

Table of Contents
iii
Table of Contents
Mass Flow Device Safety Information .............................................................................................................1
Symbols Used in This Instruction Manual ....................................................................................................................1
Symbols Found on the Unit...........................................................................................................................................1
Safety Procedures and Precautions................................................................................................................................2
Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät.................................................................................................3
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole.....................................................................................................3
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole............................................................................................................3
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen .......................................................................................................4
Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit massique .........................................5
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation..............................................................................................................5
Symboles figurant sur l'unité.........................................................................................................................................5
Mesures de sécurité et précautions................................................................................................................................6
Medidas de seguridad del dispositivo de flujo de masa..................................................................................7
Símbolos usados en este manual de instrucciones.........................................................................................................7
Símbolos hallados en la unidad .....................................................................................................................................7
Procedimientos y precauciones de seguridad ................................................................................................................8
マスフロー機器の安全に関する情報......................................................................................................................9
本取扱説明書のマーク...................................................................................................................................................9
本機器のマーク...............................................................................................................................................................9
安全対策について ..........................................................................................................................................................9
질량 유량 장치 안전 정보 ................................................................................................................................13
본지침 매뉴얼에 사용되는 기호들 .........................................................................................................................13
장치에 표시된 기호들 ...............................................................................................................................................13
안전 절차 및예방조치 ..............................................................................................................................................13
.....................................................................................................................................................................................15
How This Manual is Organized......................................................................................................................17
Chapter One: General Information ..............................................................................................................18
Introduction.................................................................................................................................................................18
How the MFC Works..................................................................................................................................................18
Operation of the MFC with Gases other than Nitrogen...............................................................................................19
Chapter Two: Installation..............................................................................................................................22
Unpacking the P250A Mass Flow Controller..............................................................................................................22
Verifying Use Requirements Prior to Installation .......................................................................................................22
Understanding Dimensional Constraints.....................................................................................................................23
Performing MFC Installation.......................................................................................................................................28

Table of Contents
iv
Chapter Three: Operation.............................................................................................................................30
Analog 9-pin / 15-pin Interface Operation ..................................................................................................................30
4-20 mA IO 15-pin Interface Operation ......................................................................................................................34
DeviceNet Interface Operation....................................................................................................................................36
RS485 Interface Operation..........................................................................................................................................40
Profibus Interface Operation........................................................................................................................................42
General Operational Functions....................................................................................................................................45
Chapter Four: Maintenance and Troubleshooting .....................................................................................50
General Information ....................................................................................................................................................50
Zeroing the MKS P250A High Flow Rate Mass Flow Controller...............................................................................50
Customer Support........................................................................................................................................................55
Repair ..........................................................................................................................................................................55
Troubleshooting...........................................................................................................................................................56
Chapter Five: Diagnostic Interface Setup, Configuration, and Operation...............................................62
Step 1: Install the Java™ Plug-In ................................................................................................................................62
Step 2: Configure TCP/IP Settings for Communication to P250A..............................................................................63
Step 3: Connect to the P250A High Flow Rate Mass Flow Controller .......................................................................65
Monitor Mode..............................................................................................................................................................66
Setup Mode..................................................................................................................................................................71
Appendix A: Product Specifications.............................................................................................................80
Performance Specifications.........................................................................................................................................80
Physical Specifications................................................................................................................................................80
Environmental Specifications......................................................................................................................................81
Electrical Specifications ..............................................................................................................................................81
Appendix B: Model Code Explanation.........................................................................................................84
Model Code Description..............................................................................................................................................84
Appendix C: Health and Safety Form..........................................................................................................88

List of Figures
v
List of Figures
Figure 1: Front View of the P250A MFC.........................................................................................................24
Figure 2: Bottom View of the P250A MFC......................................................................................................24
Figure 3: End View of the P250A MFC ...........................................................................................................25
Figure 4: Top View of the P250A MFC (DeviceNet Interface) .......................................................................25
Figure 5: Front View of the IM250A MFC ......................................................................................................26
Figure 6: Bottom View of the IM250A MFC...................................................................................................26
Figure 7: End View of the IM250A MFC.........................................................................................................27
Figure 8: Top View of the IM250A MFC (Analog Interface)..........................................................................27
Figure 9: Serial Number Label..........................................................................................................................28
Figure 10: DeviceNet Connector Pin Diagram.................................................................................................36
Figure 11: Devicenet Baud Rate Switch...........................................................................................................38
Figure 12: Devicenet MAC ID Switches..........................................................................................................38
Figure 13: RS485 Baud Rate Switch ................................................................................................................41
Figure 14: RS485 MACID Switches ................................................................................................................41
Figure 15: Profibus (female DSUB) Connector Pin Diagram ..........................................................................42
Figure 16: Profibus (male DSUB) Power Connector Pin Diagram. .................................................................43
Figure 17: Effects of the Proportional Term (Low Proportional Term) ...........................................................45
Figure 18: Effects of the Proportional Term (High Proportional Term)...........................................................46
Figure 19: Effects of the Integral Term (Low Integral Term) ..........................................................................46
Figure 20: Effects of the Integral Term (High Integral Term)..........................................................................46
Figure 21: Java Download Window..................................................................................................................63
Figure 22: Java License Agreement..................................................................................................................63
Figure 23: Java Installation Window ................................................................................................................63
Figure 24: Windows XP Shell Command Prompt............................................................................................64
Figure 25: Windows XP Shell Command Window..........................................................................................64
Figure 26: Windows XP Shell Command Window (HostIP) ...........................................................................65
Figure 27: P250A Embedded Interface (Monitor Mode / Device Page)...........................................................66
Figure 28: P250A Embedded Interface (Monitor Mode / Plot Page) ...............................................................68
Figure 29: P250A Embedded Interface (Monitor Mode / Diagnostics Page)...................................................69
Figure 30: P250A Embedded Interface (Monitor Mode / Configuration Page) ...............................................70
Figure 31: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Configuration Page) ...................................................71
Figure 32: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Device Page)...............................................................72
Figure 33: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Device Page) Creating A New Gas Instance..............73
Figure 34: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Device Page) Changing Full Scale Flow Range.........73
Figure 35: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Plot Page) ...................................................................74
Figure 36: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Configuration Page) ...................................................75
Figure 37: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Optional PC Page)......................................................77
Figure 38: P250A Embedded Interface (Setup Mode / Plot Page) Enabled Optional Input.............................79

List of Tables
vi
List of Tables
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit............................................................................................1
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole ..............................................................................3
Tableau 3: Définition des symboles sur l'unité...................................................................................................5
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad................................................................................7
表5: 本機器に使用されているマークについて ...................................................................................................... 9
표6: 장치에 표시된 기호들의 정의 ..............................................................................................................13
Table 7: MKS Interface Cables........................................................................................................................ 30
Table 8: Analog I/O 9-pin DSUB Pinouts (Model Code A) ............................................................................31
Table 9: Analog I/O 15-pin DSUB Pinouts (Model Code B)...........................................................................32
Table 10: 4-20 mA I/O 15-pin DSUB Pinouts (Model Code G)......................................................................34
Table 11: DeviceNet Connector Pinouts (Model Code 6)................................................................................36
Table 12: DeviceNet Network Status LED Indicators .....................................................................................37
Table 13: RS485 Connector Pinouts (Model Code 5)......................................................................................40
Table 14: RS485 Module Status LED Indicators.............................................................................................40
Table 15: Profibus Communications Connector Pinout...................................................................................42
Table 16: Profibus Power Connector Pinout ....................................................................................................43
Table 17: MFC Troubleshooting Chart ............................................................................................................56

Mass Flow Device Safety Information
vii
List of References
The documents listed below are referenced throughout this manual.
[1] “DeviceNet Specification, Volume I: DeviceNet Communication Model and Protocol”, Open DeviceNet
Vendors Association, Inc. Release 2.0.
[2] “DeviceNet Specification, Volume II: DeviceNet Profiles and Object Library”, Open DeviceNet
Vendors Association, Inc. Release 2.0.
[3] “Sensor/Actuator Network Common Device Model”, SEMI Standards Document E54.1-0097.
[4] “Sensor/Actuator Network Communications Standard for DeviceNet”, SEMI Standards Draft Document
E54.4-0097.
[5] “Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Devices”, SEMI Standards Draft
Document #2253C.
[6] “Sensor/Actuator Network Standard”, SEMI Standards Document E54-0097.
[7] SEMI E17-00-0060 Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests
[8] SEMI E18-00-0091 Guideline for Temperature Specifications of the Mass Flow Controller
[9] SEMI E27-00-0092 Standard for Mass Flow Controller and Mass Flow Meter Linearity
[10] SEMI E28-00-0092 Guideline for Pressure Specifications of the Mass Flow Controller
[11] SEMI E52-00-0611 Practice for Referencing Gases and Gas Mixtures Used in Digital Mass Flow
Controllers
[12] SEMI E56-00-1296 Test Method for Determining Accuracy, Linearity, Repeatability, Short Term
Reproducibility, Hysteresis, and Dead Band of Thermal Mass Flow Controllers
[13] SEMI E80-00-0299 Test Method Determining Attitude Sensitivity of Mass Flow Controllers

Mass Flow Device Safety Information
viii
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Mass Flow Device Safety Information
1
Mass Flow Device Safety Information
Symbols Used in This Instruction Manual
Definitions of WARNING, CAUTION, and NOTE messages used throughout the manual.
Warning
The WARNING sign denotes a hazard. It calls attention to a procedure, practice,
condition, or the like, which, if not correctly performed or adhered to, could result
in injury to personnel.
Caution
The CAUTION sign denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure,
practice, or the like, which, if not correctly performed or adhered to, could result in
damage to or destruction of all or part of the product.
Note
The NOTE sign denotes important information. It calls attention to a procedure, practice,
condition, or the like, which is essential to highlight.
Symbols Found on the Unit
The following table describes symbols that may be found on the unit.
Table 1: Definition of Symbols Found on the Unit
|
On (Supply)
IEC 417, No. 5007
Off (Supply)
IEC 417, No. 5008
Earth (ground)
IEC 417, No. 5017
Protective Earth (ground)
IEC 417, No. 5019
Frame or Chassis
IEC 417, No. 5020
Equipotentiality
IEC 417, No. 5021
Direct Current
IEC 417, No. 5031
Alternating Current
IEC 417, No. 5032
Both Direct and Alternating Current
IEC 417, No. 5033-a
Class II Equipment
IEC 417, No. 5172-a
Three Phase
Alternating Current
IEC 617-2, No. 020206
Caution (refer to accompanying
documents)
ISO 3864, No. B.3.1
Caution, Risk of Electric Shock
ISO 3864, No. B.3.6
Caution, Hot Surface
IEC 417, No. 5041

Mass Flow Device Safety Information
2
Safety Procedures and Precautions
Observe the following general safety precautions during all phase of operation of this instrument.
Failure to comply with these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual violates
safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by the
equipment. MKS Instruments, Inc. assumes no liability for the customer’s failure to comply with these
requirements.
DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT
Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument. Return the instrument to an
MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all safety features are maintained.
SERVICE BY QUALIFIED PERSONNEL ONLY
Operating personnel must not remove instrument covers. Component replacement and internal adjustments must be
made by qualified service personnel only.
KEEP AWAY FROM LIVE CIRCUITS
Do not replace components with power cable connected. Under certain conditions, dangerous voltages may exist even
with the power cable removed. To avoid injuries, always disconnect power and discharge circuits before touching them.
USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS
If hazardous materials are used, users must take responsibility to observe the proper safety precautions, completely purge
the instrument when necessary, and ensure that the material used is compatible with sealing materials.
PURGE THE INSTRUMENT
After installing the unit, or before its removal from a system, be sure to purge the unit completely with a clean dry gas to
eliminate all traces of the previously used flow material.
USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING
This instrument must be purged under a ventilation hood, and gloves must be worn to protect personnel.
DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT
To avoid explosion, do not operate this product in an explosive environment unless it has been specifically certified for
such operation.
USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES
All instrument fittings must be consistent with instrument specifications, and compatible with the intended use of the
instrument. Assemble and tighten fittings according to manufacturer's directions.
CHECK FOR LEAK-TIGHT FITTINGS
Before proceeding to instrument setup, carefully check all plumbing connections to the instrument to ensure leak-tight
installation.
OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES
This unit should never be operated at pressures higher than the rated maximum pressure (refer to the product
specifications for the maximum allowable pressure).
INSTALL A SUITABLE BURST DISC
When operating from a pressurized gas source, a suitable burst disc should be installed in the vacuum system to prevent
system explosion should the system pressure rise.
KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS
Do not allow contaminants of any kind to enter the unit before or during use. Contamination such as dust, dirt, lint, glass
chips, and metal chips may permanently damage the unit.
ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE-CONTROLLED UNITS
Temperature-controlled unit will only meet specifications when sufficient time is allowed for the unit to meet, and
stabilize at, the designed operating temperature. Do not zero or calibrate the unit until the warm up is complete.

Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät
3
Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät
In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole
Bedeutung der mit WARNUNG!, VORSICHT! und HINWEIS gekennzeichneten Absätze in dieser
Betriebsanleitung.
Warnung!
Das Symbol WARNUNG! weist auf eine Gefahr für das Bedienpersonal hin. Es
macht auf einen Arbeitsablauf, eine Arbeitsweise, einen Zustand oder eine
sonstige Gegebenheit aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw.
ungenügende Berücksichtigung zu Verletzungen führen kann.
Vorsicht!
Das Symbol VORSICHT! weist auf eine Gefahr für das Gerät hin. Es macht auf
einen Bedienungsablauf, eine Arbeitsweise oder eine sonstige Gegebenheit
aufmerksam, deren unsachgemäße Ausführung bzw. ungenügende
Berücksichtigung zu einer Beschädigung oder Zerstörung des Gerätes oder von
Teilen des Gerätes führen kann.
Hinweis
Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bezüglich eines
Arbeitsablaufs, einer Arbeitsweise, eines Zustands oder einer sonstige Gegebenheit
aufmerksam.
Erklärung der am Gerät angebrachten Symbole
Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen, die am Gerät angebracht sein können.
Tabelle 2: Bedeutung der am Gerät angebrachten Symbole
|
Ein (Energie)
IEC 417, No.5007
Aus (Energie)
IEC 417, No.5008
Erdanschluss
IEC 417, No.5017
Schutzleiteranschluss
IEC 417, No.5019
Masseanschluss
IEC 417, No.5020
Aquipotentialanschluss
IEC 417, No.5021
Gleichstrom
IEC 417, No.5031
Wechselstrom
IEC 417, No.5032
Gleich- oder Wechselstrom
IEC 417, No.5033-a
Durchgängige doppelte oder
verstärkte Isolierung
IEC 417, No.5172-a
Dreileiter-Wechselstrom (Drehstrom)
IEC 617-2, No.020206
Warnung vor einer Gefahrenstelle
(Achtung, Dokumentation beachten)
ISO 3864, No.B.3.1
Warnung vor gefährlicher
elektrischer Spannung
ISO 3864, No.B.3.6
Höhere Temperatur an leicht
zugänglichen Teilen
IEC 417, No.5041

Sicherheitshinweise für das Massenflussgerät
4
Sicherheitsvorschriften und Vorsichtsmaßnahmen
Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind während allen Betriebsphasen dieses Gerätes zu
befolgen. Eine Missachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser
Betriebsanleitung verletzt die für dieses Gerät und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards,
und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Gerät wirkungslos machen. MKS Instruments, Inc.
haftet nicht für Missachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden.
Niemals Teile austauschen oder Änderungen am Gerät vornehmen!
Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder ähnlichen Teilen, und nehmen Sie keine eigenmächtigen Änderungen am
Gerät vor. Schicken Sie das Gerät zwecks Wartung und Reparatur an den MKS-Kalibrierungs- und -Kundendienst ein.
Nur so wird sichergestellt, dass alle Schutzvorrichtungen voll funktionsfähig bleiben.
Wartung nur durch qualifizierte Fachleute!
Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von qualifizierten
Fachleuten durchgeführt werden, niemals vom Bedienpersonal.
Vorsicht vor stromführenden Leitungen!
Ersetzen Sie keine Komponente von Geräten, die an Netzstrom angeschlossen sind. Unter Umständen kann gefährliche
Spannung auch dann bestehen, wenn das Netzanschlusskabel von der Strmversorgung entfernt wurde. Um Verletzungen
vorzubeugen sollten zuerst alle Geräte von der Stromversorgung getrennt und alle Stromkreusläufe entladen werden.
Vorsicht beim Arbeiten mit gefährlichen Stoffen!
Wenn gefährliche Stoffe verwendet werden, muss der Bediener die entsprechenden Sicherheitsvorschriften genauestens
einhalten, das Gerät, falls erforderlich, vollständig spülen, sowie sicherstellen, dass der Gefahrstoff die am Gerät
verwendeten Materialien, insbesondere Dichtungen, nicht angreift.
Spülen des Gerätes mit Gas!
Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System muss das Gerät unter Einsatz eines reinen Trockengases
vollständig gespült werden, um alle Rückstände des Vorgängermediums zu entfernen.
Anweisungen zum Spülen des Gerätes
Das Gerät darf nur unter einer Ablufthaube gespült werden. Schutzhandschuhe sind zu tragen.
Gerät nicht zusammen mit explosiven Stoffen, Gasen oder Dämpfen benutzen!
Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen, darf dieses Gerät niemals zusammen mit (oder in der Nähe von)
explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden, sofern es nicht ausdrücklich für diesen Zweck zugelassen ist.
Anweisungen zum Installieren der Armaturen!
Alle Anschlussstücke und Armaturenteile müssen mit der Gerätespezifikation übereinstimmen, und mit dem geplanten
Einsatz des Gerätes kompatibel sein. Der Einbau, insbesondere das Anziehen und Abdichten, muss gemäß den
Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden.
Verbindungen auf Undichtigkeiten prüfen!
Überprüfen Sie sorgfältig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen.
Gerät nur unter zulässigen Anschlussdrücken betreiben!
Betreiben Sie das Gerät niemals unter Drücken, die den maximal zulässigen Druck (siehe Produktspezifikationen)
übersteigen.
Geeignete Berstscheibe installieren!
Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasquelle gearbeitet wird, sollte eine geeignete Berstscheibe in das
Vakuumsystem installiert werden, um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem Systemdruck zu vermeiden.
Verunreinigungen im Gerät vermeiden!
Stellen Sie sicher, dass Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch während des Betriebs in das
Instrumenteninnere gelangen können. Staub- und Schmutzpartikel, Glassplitter oder Metallspäne können das Gerät
dauerhaft beschädigen oder Prozess- und Messwerte verfälschen.
Bei Geräten mit Temperaturkontrolle korrekte Anwärmzeit einhalten!
Temperaturkontrollierte Geräte arbeiten nur dann gemäß ihrer Spezifikation, wenn genügend Zeit zum Erreichen und
Stabilisieren der Betriebstemperatur eingeräumt wird. Kalibrierungen und Nulleinstellungen sollten daher nur nach
Abschluss des Anwärmvorgangs durchgeführt werden.

Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit massique
5
Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit
massique
Symboles utilisés dans ce manuel d'utilisation
Définitions des indications AVERTISSEMENT, ATTENTION, et REMARQUE utilisées dans ce manuel.
Avertissement
L'indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le personnel. Elle
attire l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou toute
autre situation présentant un risque d'accident pour le personnel, en cas
d'exécution incorrecte ou de non-respect des consignes.
Attention
L'indication ATTENTION signale un danger pour l'appareil. Elle attire
l'attention sur une procédure d'exploitation, une pratique, ou toute autre
situation, présentant un risque de dégât ou de destruction partielle ou totale
du produit, en cas d'exécution incorrecte ou de non-respect des consignes.
Remarque
L'indication REMARQUE signale une information importante. Elle attire
l'attention sur une procédure, une pratique, une condition, ou toute autre situation,
présentant un intérêt particulier.
Symboles figurant sur l'unité
Le tableau suivant décrit les symboles pouvant apparaître sur l'unité.
Tableau 3: Définition des symboles sur l'unité
|
Marche (sous tension)
IEC 417, No.5007
Arrêt (hors tension)
IEC 417, No.5008
Terre (masse)
IEC 417, No.5017
Terre de protection (masse)
IEC 417, No.5019
Masse
IEC 417, No.5020
Equipotentialité
IEC 417, No.5021
Courant continu
IEC 417, No.5031
Courant alternatif
IEC 417, No.5032
Courant continu et alternatif
IEC 417, No.5033-a
Matériel de classe II
IEC 417, No.5172-a
Courant alternatif triphasé
IEC 617-2, No.020206
Attention : se reporter
à la documentation
ISO 3864, No.B.3.1
Attention : risque de
choc électrique
ISO 3864, No.B.3.6
Attention : surface brûlante
IEC 417, No.5041

Informations de sécurité pour appareils de mesure/contrôle de débit massique
6
Mesures de sécurité et précautions
Observer les précautions générales de sécurité suivantes pendant toutes les phases d'exploitation de cet
appareil. Le non-respect des ces précautions ou des avertissements du manuel constitue une violation
des normes de sécurité relatives à l'utilisation de l'appareil et peut compromettre la protection assurée
par l'appareil. MKS Instruments, Inc. rejette toute responsabilité en cas de non-respect des consignes
par les clients.
PAS DE REMPLACEMENT DE PIÈCES OU DE MODIFICATION DE L'APPAREIL
Ne pas installer de pièces de remplacement ni effectuer des modifications non autorisées sur l'appareil. Renvoyer
l'appareil à un centre de service et de calibrage MKS pour tout dépannage ou réparation afin de garantir le l'intégrité des
dispositifs de sécurité.
DÉPANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ
Le personnel d'exploitation ne doit pas essayer de sortir les composants du boîtier ou faire des réglages internes. Le
dépannage est réservé au personnel qualifié.
ÉLOIGNEMENT DES CIRCUITS SOUS-TENSION
Ne pas remplacer de composants lorsqu’un câble d’alimentation est branché. Dans certaines conditions, des tensions
dangereuses peuvent être présentes même après le retrait du câble d’alimentation. Pour éliminer tout risque de blessure,
procéder toujours à la déconnexion et décharger les circuits avant tout contact physique.
PRÉCAUTION EN CAS D'UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX
Si des produits dangereux sont utilisés, l'utilisateur est responsable du respect des mesures de sécurité appropriées, de la
purge complète de l'appareil quand elle s’avère nécessaire, et doit s’assurer que les produits utilisés sont compatibles
avec les matériaux d'étanchéité.
PURGE DE L'APPAREIL
Après l'installation de l'unité, ou avant son retrait d'un système, purger l'unité complètement avec un gaz propre et sec
afin d'éliminer toute trace du produit de flux utilisé précédemment.
UTILISATION DES PROCÉDURES APPROPRIÉES POUR LA PURGE
Cet appareil doit être purgé sous une hotte de ventilation. Le personnel doit porter des gants de protection.
PAS D'EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF
Pour éviter toute explosion, ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif, sauf en cas d'homologation
spécifique pour une telle exploitation.
UTILISATION D'ÉQUIPEMENTS ET PROCÉDURES DE SERRAGE APPROPRIÉS
Tous les équipements de l'appareil doivent être conformes à ses spécifications, et compatibles avec l'utilisation prévue de
l'appareil. Assembler et serrer les équipements conformément aux directives du fabricant.
VÉRIFICATION DE L'ÉTANCHÉITÉ DES CONNEXIONS
Vérifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir l'étanchéité de l'installation.
EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D'ENTRÉE NON DANGEREUSES
Ne jamais utiliser des pressions supérieures à la pression nominale maximum (se reporter aux spécifications de l'unité
pour la pression maximum admissible).
INSTALLATION D'UN DISQUE D'ÉCHAPPEMENT ADAPTÉ
En cas d'exploitation avec une source de gaz pressurisé, installer un disque d'échappement adapté dans le système à vide,
afin d'éviter une explosion du système en cas d'augmentation de la pression.
MAINTIEN DE L'UNITÉ À L'ABRI DES CONTAMINATIONS
Ne pas laisser des produits contaminants pénétrer dans l'unité avant ou pendant l'utilisation. Des produits contaminants
tels que des poussières et des fragments de tissu, de verre et de métal peuvent endommager l'unité de manière
permanente.
RESPECT DU TEMPS D'ÉCHAUFFEMENT APPROPRIÉ POUR LES UNITÉS Á RÉGULATION DE TEMPÉRATURE
Les unités à régulation de température sont conformes à leurs spécifications uniquement quand on leur laisse un temps
suffisant pour atteindre d'une manière stable la température d'exploitation. Ne pas remettre à zéro ou calibrer l'unité tant
que l'échauffement n'est pas terminé.

Medidas de seguridad del dispositivo de flujo de masa
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Medidas de seguridad del dispositivo de flujo de masa
Símbolos usados en este manual de instrucciones
Definiciones de los mensajes de advertencia, precaución y de las notas usados en el manual.
Advertencia
El símbolo de advertencia indica la posibilidad de que se produzcan daños
personales. Pone de relieve un procedimiento, práctica, estado, etc. que en caso
de no realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños personales.
Precaución
El símbolo de precaución indica la posibilidad de producir daños al equipo.
Pone de relieve un procedimiento operativo, práctica, etc. que en caso de no
realizarse o cumplirse correctamente puede causar daños o la destrucción total
o parcial del equipo.
Nota
El símbolo de notas indica información de importancia. Este símbolo pone de relieve
un procedimiento, práctica o condición cuyo conocimiento es esencial destacar.
Símbolos hallados en la unidad
La tabla siguiente contiene los símbolos que puede hallar en la unidad.
Tabla 4: Definición de los símbolos hallados en la unidad
|
Encendido
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5007
Apagado
(alimentación eléctrica)
IEC 417, N° 5008
Puesta a tierra
IEC 417, N° 5017
Protección a tierra
IEC 417, N° 5019
Caja o chasis
IEC 417, N° 5020
Equipotencialidad
IEC 417, N° 5021
Corriente continua
IEC 417, N° 5031
Corriente alterna
IEC 417, N° 5032
Corriente continua y alterna
IEC 417, N° 5033-a
Equipo de clase II
IEC 417, N° 5172-a
Corriente alterna trifásica
IEC 617-2, N° 020206
Precaución. Consulte los documentos
adjuntos
ISO 3864, N° B.3.1
Precaución.
Riesgo de descarga eléctrica
ISO 3864, N° B.3.6
Precaución. Superficie caliente
IEC 417, N° 5041

Medidas de seguridad del dispositivo de flujo de masa
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Procedimientos y precauciones de seguridad
Las medidas generales de seguridad descritas a continuación deben observarse durante todas las etapas
de funcionamiento del instrumento. La fP250A de cumplimiento de dichas medidas de seguridad o de
las advertencias específicas a las que se hace referencia en otras partes de este manual, constituye una
violación de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del instrumento y podría anular
la protección proporcionada por el equipo. Si el cliente no cumple dichas precauciones y advertencias,
MKS Instruments, Inc. no asume responsabilidad legal alguna.
NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE EL INSTRUMENTO
No instale piezas que no sean originales ni modifique el instrumento sin autorización. Para asegurar el correcto funcionamiento de
todos los dispositivos de seguridad, envíe el instrumento al Centro de servicio y calibración de MKS toda vez que sea necesario
repararlo o efectuar tareas de mantenimiento.
LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS ÚNICAMENTE POR TÉCNICOS AUTORIZADOS
Los operarios no deben retirar las tapas del instrumento. El reemplazo de los componentes y las tareas de ajuste deben ser realizadas
únicamente por personal autorizado.
MANTÉNGASE ALEJADO DE LOS CIRCUITOS ACTIVOS
No reemplace componentes con el cable de alimentación eléctrica conectado. En algunos casos, puede haber presente alto voltaje aun
con el cable de alimentación eléctrica desconectado. Para evitar lesiones personales, desconecte siempre el cable y descargue los
circuitos antes de entrar en contacto con los mismos.
TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES TÓXICOS
Cuando se utilicen materiales tóxicos, es responsabilidad de los operarios tomar las medidas de seguridad correspondientes, purgar
totalmente el instrumento cuando sea necesario y comprobar que el material utilizado sea compatible con los materiales de sellado.
PURGUE EL INSTRUMENTO
Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema, purgue completamente la unidad con gas limpio y seco para eliminar todo
resto de la sustancia líquida empleada anteriormente.
USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA
El instrumento debe purgarse debajo de una campana de ventilación y deben utilizarse guantes protectores.
NO HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO EN AMBIENTES CON RIESGO DE EXPLOSIÓN
Para evitar que se produzcan explosiones, no haga funcionar este instrumento en un ambiente con riesgo de explosiones, excepto
cuando el mismo haya sido certificado específicamente para tal uso.
USE ACCESORIOS ADECUADOS Y REALICE CORRECTAMENTE LOS PROCEDIMIENTOS DE AJUSTE
Todos los accesorios del instrumento deben cumplir las especificaciones del mismo y ser compatibles con el uso que se debe dar al
instrumento. Arme y ajuste los accesorios de acuerdo con las instrucciones del fabricante.
COMPRUEBE QUE LOS ACCESORIOS SEAN A PRUEBA DE FUGAS
Antes de proceder con la instalación del instrumento, inspeccione cuidadosamente todas las conexiones de las tuberías para comprobar
que hayan sido instaladas a prueba de fugas.
HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO CON PRESIONES DE ENTRADA SEGURAS
No haga funcionar nunca el instrumento con presiones superiores a la máxima presión nominal (en las especificaciones del
instrumento hallará la presión máxima permitida).
INSTALE UNA CÁPSULA DE SEGURIDAD ADECUADA
Cuando el instrumento funcione con una fuente de gas presurizado, instale una cápsula de seguridad adecuada en el sistema de vacío
para evitar que se produzcan explosiones cuando suba la presión del sistema.
MANTENGA LA UNIDAD LIBRE DE CONTAMINANTES
No permita el ingreso de contaminantes en la unidad antes o durante su uso. Los productos contaminantes tales como polvo, suciedad,
pelusa, lascas de vidrio o virutas de metal pueden dañar irreparablemente la unidad.
CALIENTE ADECUADAMENTE LAS UNIDADES CONTROLADAS POR MEDIO DE TEMPERATURA
Las unidades controladas por medio de temperatura funcionarán de acuerdo con las especificaciones sólo cuando se las caliente
durante el tiempo suficiente para permitir que lleguen y se estabilicen a la temperatura de operación indicada. No calibre la unidad y
no la ponga en cero hasta que finalice el procedimiento de calentamiento.

マスフロー機器の安全に関する情報
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マスフロー機器の安全に関する情報
本取扱説明書のマーク
本マニュアルでは警告、注意、ポイントのマークを用いて重要な事項を記載しています。
警告
この表示を無視して誤った取り扱い (手順や使用方法、条件など) をすると、人が重傷
を負う可能性が想定される内容を示しています。必ずお読みください。
注意
この表示を無視して誤った取り扱い (手順や使用方法など) をすると、 製品が損傷する
可能性が想定される内容を示しています。必ずお読みください。
ポイント
この表示は手順や使用方法、条件などに関する重要な情報が記載されていることを示
しています。必ずお読みください。
本機器のマーク
以下の表では、本機器に使用されているマークについて説明いたします。
表5: 本機器に使用されているマークについて
|
オン (電源)
IEC 417, No. 5007
オフ (電源)
IEC 417, No. 5008
接地 (アース)
IEC 417, No. 5017
保護接地 (アース)
IEC 417, No. 5019
フレームまたはシャーシ
IEC 417, No. 5020
等電位
IEC 417, No. 5021
直流
IEC 417, No. 5031
交流
IEC 417, No. 5032
直流と交流
IEC 417, No. 5033-a
クラス 2 機器
IEC 417, No. 5172-a
三相交流
IEC 617-2, No. 020206
注意 (付属書を参照)
ISO 3864, No. B.3.1
注意 (感電の危険あり)
ISO 3864, No. B.3.6
注意 (表面が熱くなっています)
IEC 417, No. 5041
安全対策について
本機器を使用する際は、必ず以下の安全対策を守ってください。これらの安全対策や本マニュアルの
警告を無視すると、機器本来の用途の安全基準を侵害することになり、機器が提供する保護機能が
損なわれる可能性があります。MKS Instruments, Inc. は、顧客側の安全対策の不履行に対して
は一切責任を負いかねます。
勝手に部品を変えたり、本体を改造しないこと
本機器に代用部品を使用したり、不正な改造を加えないでください。すべての安全システムを正しく機能させるた
めの修理やメンテナンスが必要な場合は、本機器を MKS Calibration and Service Center まで戻してください。

マスフロー機器の安全に関する情報
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修理は必ず専門の修理サービスを利用すること
オペレータは絶対に本機器を分解しないでください。部品の交換や内部の調整は必ず専門の修理サービスを利
用してください。
電流が通じている回路から切断すること
電源ケーブルを接続したままで部品を交換しないでください。特定の状況では、電源ケーブルを取り外した状態
でも危険な電圧が残っている場合があります。感電などの事故を防ぐため、回路に触れる前に必ず電源から切
断し、放電してください。
危険な材料を使用する場合は慎重に機器を使用すること
危険な材料を使用する場合は、使用者は各自の責任の元で適切な安全対策を講じてください。必要に応じて
本機器を浄化してください。また、使用する材料に対するシーリング材の耐久性を確認してください。
機器を浄化すること
本機器を取り付けた後やシステムから取り外す前に、きれいな乾燥ガスで本機器を浄化し、使用した材料を完
全に取り除いてください。
浄化する場合は適切な手順で行うこと
本機器の浄化は換気フードの下で行う必要があります。また、浄化作業を行う人は必ず手袋を着用してください。
爆発の危険性のある環境で機器を使用しないこと
爆発が起きるのを防ぐため、本機器を爆発の危険性のある環境で使用しないでください。ただし、そのような環境
での使用が特別に保証されている場合は除きます。
適切な金具類を使用し、手順に従って金具の締めを行うこと
金具類は本機器の仕様と一致し、機器本来の用途に適合したものである必要があります。金具類の取り付け
や締めは、製造業者の指示に従ってください。
液体の漏れがないよう接続箇所を確認すること
本機器を設定する前に、すべての配管の接続を慎重に確認し、液体が漏れないようにしてください。
安全なインレット圧力で使用すること
定格の最大圧力を超える圧力の下で本機器を絶対に使用しないでください (最大許容圧力については仕様書
を参照)。
適切なバーストディスクを取り付けること
圧力のかかったガスを使用する場合は、万一システムが爆発した場合にシステムの圧力が上昇するのを防ぐため、
真空システムに適切なバーストディスクを取り付けてください。
本機器に異物やゴミが混入しないようにすること
本機器の使用前または使用中に、ほこりやゴミ、繊維、ガラスの破片、金属片などの異物やゴミが混入しないよ
うにしてください。本機器が損傷する可能性があります。
温度調整された機器を十分に温めてから使用すること
温度調整された機器が適切な作動温度にならないうちに使用すると、仕様通りの動作をしないことがあります。
本機器が十分に温まるまでは目盛りをゼロに合わせたり、較正しないでください。